Literatura académica sobre el tema "A-Si:H TFT et µc-Si TFT"

(francuski) La question de l'origine du tsar bulgare Constantin Asen (1257-1277), plus souvent appel? dans l'historiographie moderne Constantin Tich (Tih), a ?t? depuis longtemps pos?e. Les sources susceptibles d'y r?pondre sont peu nombreuses et parfaitement r?pertori?es. A commencer par Constantin Asen lui-m?me qui, dans sa charte d?livr?e au monast?re Saint-Georges pr?s de Skopje, range 'saint Simeon Nemanja, a?eul de mon empire' au nombre des anciens kt?tors de cet ?tablissement. Pour ce qui est des auteurs byzantins, chez Georges Akropolyt?s, son contemporain, ce tsar est ? plusieurs reprises appel? Constantin fils de Tich ou simplement Constantin; un peu plus tard Georges Pachym?re le d?signe une premi?re fois comme Constantin Tich, puis, par la suite, r?guli?rement comme Constantin avec l'int?ressante pr?cision que celui-ci ?tait par sa naissance pour moitie (ex ?miseias) serbe; plus tard encore, Nic?phore Gr?goras, parle d'un puissant seigneur portant le pr?nom de Constantin et le 'nom' (ep?nymon) de Tich. En 1258/59, dans son inscription de kt?tor appos?e dans une ?glise ? Bojana, un certain s?bastocrator Kalojan fait ?tat, en sa qualit? de 'fils du fr?re du tsar' et de 'petit-fils du saint roi Stefan', de liens de parente avec le tsar r?gnant en Bulgarie, Constantin Asen, et le d?funt roi de Serbie, Stefan le Premier Couronne (Prvovencani). Enfin, dans l'historiographie byzantine, il ressort clairement du r?cit relatif a la crise de succession en Bulgarie en 1257 que Constantin n'?tait pas membre de la dynastie des Asen. Jusqu'a pr?sent, le lien de parente de Constantin Tich (Tih) avec le grand joupan de Serbie Stefan Nemanja (1166-1196), plus tard devenu moine et saint sous le nom de Simeon, a ?t? le plus souvent recherch?e ? travers une lign?e f?minine, soit une hypoth?tique fille de Nemanja inconnue des sources, qui aurait ?t? la m?re ce tsar. Cette solution pourrait cependant ne pas ?tre la seule piste envisageable. Pour cela il faut revenir ? la charte de Saint-Georges et au terme d''a?eul (de mon empire)' qui marquant la parente, peut s'appliquer dans des cas d'ascendance directe mais aussi indirecte. Constantin aurait donc pu tout aussi bien afficher a travers celui-ci une parente quelque peu plus ?loigne avec Nemanja, passant par un des fr?res, voire une tr?s hypoth?tique s?ur, de ce dernier. Ainsi, celui que nous appellerions aujourd'hui un 'grand-oncle', a pu ?tre d?sign? dans cette charte comme un 'a?eul (de mon empire)'. Qu'un tel lien de parente, m?me indirect, surtout avec saint Simeon (notamment au vu de l'essor de son culte), c'est-?-dire non seulement l'existence d'une ascendance et d'un droit de succession directs, ait pu ?tre un raison suffisante pour en appeler ? celle-ci est attest?e par l'exemple chronologiquement proche de l'inscription fun?raire du joupan Stefan Prvoslav, appos?e vers 1220, dans laquelle ce dernier est, entre autre, qualifie de 'neveu de saint Simeon Nemanja'. En ce sens, la pr?cision relev?e chez Pachym?re pourrait, elle aussi, sugg?rer, par sa formulation, que Constantin ?tait d'origine serbe par son p?re et non par sa m?re. Cet auteur s'en tenait assur?ment au principe selon lequel l'origine par le p?re ?tait sous-en-tendue, alors que l'origine par la m?re devait ?tre signal?e si n?cessaire. Les meilleurs exemples en sont les passages o? il rapporte, s'agissant du fils du roi de Hongrie Stefan IV, qu'il ?tait d''origine rom?e (r?mogen?s), par sa m?re' la fille de l'empereur Th?odore Ier, et, s'agissant du tsar de Bulgarie Th?odore Svetoslav, qu'il ?tait 'Bulgare par sa m?re, car son p?re Terter ?tait Coman'. Hormis ces remarques de nature g?n?rale, une m?me conclusion concernant l'origine du tsar de Bulgarie Constantin s'impose ?galement ? la lecture du r?cit de Pachym?re. Sa relation des troubles survenus en 1257 lors de la succession au tr?ne de Bulgarie montre qu'en l'absence de descendant male de la lign?e des Asen, les liens de parente et l'origine nationale des pr?tendants ont jou? un r?le cl? dans la r?solution de la question de la l?galit? du pouvoir et, plus g?n?rale, de la crise de succession. On y apprend que le premier candidat Myts?s (Mico), ?tait ? la fois gendre d'Ivan II Asen (1218-1241), ainsi que beau-fr?re de Th?odore II Lascaris (1254-1258) et Bulgare (Boylgaros ?n), et pouvait pr?tendre - ? ce double titre - ? exercer le pouvoir sur les Bulgares, mais que les puissants se sont ranges aux cotes de Constantin, qui ?tait pour moitie serbe (ek Serb?n ex ?miseias to genos echonta). De fait, ne pouvant se pr?valoir de quelque lien de parente avec les Asen et d'un droit quel qu'il soit ? la succession au tr?ne, Constantin a par la suite pris pour ?pouse Ir?ne, fille de Th?odore II Lascaris et ni?ce de Ivan II Asen, ce qui lui a conf?re le m?me droit au tr?ne des Asen qu'a son concurrent Myts?s (ep' is?n eiche to pros t?n toy Asan basileian dikaion t? Mytz?). Et c'est pr?cis?ment le fait que tout en ayant un p?re serbe, et une m?re, par cons?quent bulgare, c'est lui qui a ?t? d?sign? tsar gr?ce ? son prestige de puissant seigneur de Bulgarie, qui a amen? la remarque de Pachym?re. On peut difficilement imaginer que la situation inverse, ? savoir si Constantin avait eu un p?re bulgare et une m?re serbe, aurait pu avoir quelque incidence de nature politique sur le r?sultat de la crise de succession au tr?ne, au point de trouver ensuite un ?cho dans l'historiographie. Dans l'historiographie moderne il a depuis longtemps ?tait avanc? que Tich (Tih) devait ?tre une abr?viation de Tihomir, Tihoslav, Tihota ou Tihotica. Ceci nous am?ne ici ? supposer que le p?re de Constantin s'appelait en fait Tihomir. Il nous appara?t, en effet, en raison d'une similitude, voire identit?, de pr?nom que le fr?re a?n? de Nemanja, dont on pense que le pr?nom ?tait Tihomir et qui a ?t?, en son temps, grand joupan (1163/65-1166), pourrait ?tre un ?l?ment tout particuli?rement int?ressant s'agissant de la question de l'origine du tsar Constantin. Son activit? entre 1166 et 1168, apr?s que son fr?re Stefan Nemanja l'a destitu? du pouvoir, pourrait m?me ?tre rattach?e ? la Skopje byzantine. Par ailleurs, un document de l'archev?que de Ochrid Dimitrius Chomatianos, en date de 1220, fait mention d'un certain archonte de Skopje du nom de Jovan Tihomirov ou Jovan Tihomir (?toy ?I?annoy toy Teichomoiroy) - Tihomir est ici tr?s vraisemblablement un patronyme, puisqu'il est peut probable qu'il s'agisse de deux nom propres - qui, vers la fin du XIIe si?cle, r?gnait quasiment en ma?tre sur la ville. Il est donc permis de supposer l'existence d'un lien de parente entre ce Jovan et, d'une part l'ancien grand joupan Tihomir (fils) et, d'autre part, le tsar de Bulgarie Constantin (oncle ou p?re). Cette construction ne repose toutefois, pour l'essentiel, que sur une similitude de pr?noms. Partant de cette suppos?e parente entre le tsar Constantin et l'archonte de Skopje Jovan Tihomir certains chercheurs ont d?j? avance l'hypoth?se que Constantin est mont? sur le tr?ne bulgare en 1257 en tant que puissant seigneur de Skopje ou gouverneur de la r?gion de Skopje. On note cependant que d'autres chercheurs consid?rent que cette m?me ann?e 1257 a vu une br?ve domination du roi de Serbie Uros sur Skopje. Cette information, qui n'est en fait connue que d'apr?s une seule source tardive, ? savoir la charte du fils d'Uros, Milutin d?livr?e au monast?re de Chilandar en 1299/1300, a ainsi ?t? rapproch?e des ?v?nements mentionn?s dans l'Histoire de Georges Acropolit?s pour l'ann?e 1257, lorsque le roi de Serbie, en tant qu'allie du despote Michel II Ange, a pris Kicevo et d?vast? les environs de Prilep. Or, dans une charte de Milutin d?livr?e au monast?re skopiote - d?j? nomme - de Saint-Georges (Gorg) datant de cette m?me ann?e 1299/1300, le tsar bulgare Constantin figure avant le roi Uros au nombre des anciens kt?tors et donateurs du monast?re. Et il s'entend que les kt?tors sont ici tr?s certainement mentionnes selon l'ordre chronologique de la domination exerc?e sur Skopje. La charte de Constantin d?livr?e au m?me monast?re, dont la date n'est pas conserv?e, ne fait, elle non plus, nullement ?tat d'une charte ant?rieure de Uros. Et Il convient ici de prendre avec r?serve le suppose itin?raire - passant par Skopje et Polog pour atteindre Kicevo et Prilep - de l'exp?dition du roi de Serbie Uros en 1257, car des t?moignages attestent parfaitement l'existence d'un itin?raire alternatif, mais tout aussi important et utilise, allant de Prizren ? Tetovo en logeant les contreforts du massif de la Sara, de sorte qu'il ?tait possible d'atteindre Kicevo depuis les territoires du roi de Serbie sans passer par Skopje. Compte tenu de tout cela, il para?t permis d'accepter la supposition voulant que l'origine du tsar Constantin soit li?e ? Skopje et ? la r?gion de Skopje. Dans les travaux s'?tant int?ress?s ? l'origine du tsar Constantin Tich, la r?ponse ? cette question a ?galement ?t? rattach?e, sur la base de l'inscription de l'?glise de Bojana, ? celle concernant l'origine du s?bastocrator Kalojan. Il ne fait aucun doute que lui non plus n'?tait pas un Asen, car, si cela avait ?t? le cas, il aurait eu le droit de pr?tendre au tr?ne laiss? vacant ? la suite des meurtres de Michel Asen et de Kaliman, or les auteurs byzantins nous apprennent pr?cis?ment que le pouvoir n'avait pas d''h?ritier l?gal' en Bulgarie. Le t?moignage apport? par l'inscription de Bojana, selon laquelle Kalojan est un 'fils du fr?re du tsar' (? savoir le tsar Constantin) et 'petit-fils du saint roi de Serbie Stefan' (? savoir Stefan le Premier Couronn?), semblerait ?tre contradictoire. Cela n'est toutefois le cas que si nous perdons de vue le fait que la notion de parent? induite par 'fils du fr?re' (bratoucad), pouvait ?galement se rapporter ? des personnes appartenant ? diff?rentes g?n?rations. Nonobstant notre connaissance encore insuffisante des d?tails prosopographiques concernant le tsar Constantin Tich et le s?bastocrator Kalojan, ces deux Nemanjic, porteurs de titres particuli?rement ?lev?s, sont deus personnages int?ressants qui attestent parfaitement de la mobilit? horizontale et verticale au sein du monde byzantin, autrement du 'commenwealth byzantin', compris au sens le plus large.

La lign?e des Paphlagoniens, leur conqu?te de la couronne imp?riale, mais aussi leur destruction rapide et totale, repr?sentaient un ph?nom?ne unique dans l'histoire de Byzance du Xle si?cle. Depuis leur premi?re apparition dans les sources byzantines, jusqu'au d?clin final de la famille en 1042, ce n'est qu'une dizaine d'ann?es plus tard, pendant lesquelles les membres de la branche des Paphlagoniens avaient r?ussi ? se soumettre toute une administration de l'Empire, et gr?ce ? la solidarit? familiale, ? parvenir ? une ?norme richesse. Ils ?taient aussi sp?cifiques par le fait qu'ils repr?sentaient un genos clos, une ?lite autosuffisante, les Paphlagoniens par leur politique ont indiqu? l'importance des relations familiales dans l'Empire qui apr?s la mort de Basile II et Constantin VIII ?tait rentr? dans une longue lutte pour la conqu?te de la couronne imp?riale, mais aussi pour la l?gitimit? souveraine qui avait ?t? requise dans la relation avec les membres f?minines de la dynastie mac?donienne, Zo? et Theodora. Le r?gne des Paphlagoniens a ?t? interrompu pendant les r?bellions ? Constantinople en avril 1042, lorsque Michel V a ?t? chass? du tr?ne et aveugl? avec son oncle - le fr?re de sa m?re - le nob?lissime Constantin. La relation de Michel V le Calfat avec le nob?lissime Constantin, leur coop?ration et discordes mutuelles avec l'autre partie de la famille des Paphlagoniens ? la t?te de laquelle se trouvait Jean Orphanotrophe, repr?sentaient le point de d?part du pr?sent ouvrage. Plus pr?cis?ment, la circonstance que Michel V se soit vivement confront? aux membres de la famille des Paphlagoniens, ? laquelle lui-m?me appartenait par la ligne f?minine, imposait une relecture et une nouvelle interpr?tation des sources, afin de tenter de d?passer leurs donn?es contradictoires. Parmi les sources qui d?crivent les ?v?nements depuis le r?gne de Romain III Argyros (1028-1034) lorsque les Paphlagoniens apparaissent pour la premi?re fois dans les sources et lorsque d?bute leur apog?e, jusqu'au d?clin de toute la famille en 1042, l'une des plus importantes est aussi celle de Jean Skylitz?s. Cependant, c'est aussi la plus probl?matique, c'est-?-dire sa d?claration et ses donn?es divergent au premier abord m?me assez visiblement - des donn?es de Michel Psellos Jean Zonaras ou Michel Attaliate. Une lecture plus d?taill?e de Skylitz?s apporte sa d?claration en harmonie, avant tout avec certains d?tails uniques que nous transmet Michel Psellos, mais aussi avec l'image compl?te de l'expansion, du r?gne et du d?clin de la famille de Paphlagoniens. En premier lieu, Skylitz?s souligne l'importance des eunuques influents de Constantin VIII, qui avaient eu un grand r?le ?galement dans la venue au pouvoir de Michel IV, en 1034, de Michel V, en d?cembre 1041, mais aussi dans sa destitution seulement quatre mois plus tard. Le cercle de personnes influents dans la cour de Constantin VIII, a ?t? partiellement repouss? d?j? par la politique familiale de Romain Argyros, ? moins qu'ils ne soient pass?s dans le clan de ce basileus aristocrate, comme cela a ?t? le cas avec l'eunuque Sym?on (pendant le r?gne de Romain, il ?tait le domestique des scholes d'Orient et le pr?tovestiaire qui avait aid? l'ancien ?parque de Constantinople ? acc?der au tr?ne imp?rial). Insatisfait par le r?gne de Romain Argyros, les courtisans influents de la cour de Constantin VIII avaient tent? de voir en la famille des Paphlagoniens une mani?re de reprendre leurs anciennes positions et de reconqu?rir leur ancienne influence. Dirig?s par ces id?es, et jouissant des faveurs et de la confiance de l'imp?ratrice Zo?, sur laquelle ils exer?aient une grande influence, avec son aide ? elle, avec l'Orphanotrophe, ils ont ramen? Michel IV au pouvoir. Jean Skylitz?s et encore plus explicitement Jean Zonaras soulignent leur retour dans le palais imp?rial apr?s la mort de Romain Argyros, c'est-?-dire leur complicit? dans la venueau tr?ne de Michel. D?s la conqu?te du pouvoir, les Paphlagoniens se sont charg? ? placer les membres de leur genos aux plus importantes positions, afin de repousser l'influence des assistants de Romain Argyros, mais aussi les puissants du cercle de Zo?. C'est ainsi que la suite de la cour de l'imp?ratrice Zo? a ?t? remplac?, suite que maintenant ? la place de ses fid?les servantes repr?sentaient les membres f?minines de la famille des Paphlagoniens, les cousines de Michel IV et de l'Orphanotrophe. Pour le duc d'Antioche ? la place de Th?ophylacte Dalass?ne a ?t? plac? le troisi?me fr?re par a?nesse Nik?tas, et lorsque ce dernier est mort, cette m?me ann?e 1034, il a ?t? remplac? par le fr?re suivant Constantin, alors que le plus jeune Georges ?tait devenu pr?tovestiaire ? la place de l'eunuque Sym?on. La commande militaire ? l'ouest avait ?t? confi?e par les Paphlagoniens ? leurs cousins par ligne f?minine: leur beau-fr?re le patrice Etienne Calfat, ?tait le commandant de la flotte, et en 1040, le commandant de Th?ssalonique ?tait le patrice Constantin - vraisemblablement le fils d'Etienne Calfat et le fr?re germain de Michel V. D'une fa?on similaire, les Paphlagoniens propageaient ?galement leur influence dans l'?glise. Comme Romain III Argyros, eux aussi faisaient venir sur les chaires de mitropolites leurs cousins (Antoine Pahys ? Nicom?die), s'attiraient les faveurs des anciens membres du clan de Romain Argyros dans la tentative de faire venir l'Orphanotrophe sur le tr?ne patriarcal (D?m?trios de Kyzikos), ou pla?aient des personnes proches ? eux le plus souvent originaires de Paphlagonie (L?on, l'archev?que de Bulgarie voir aussi l'eunuque Constantin Fagitz?s, Paphlagonien de naissance et membre de leur clan). D?s 1034, probablement pendant la premi?re ann?e de leur r?gne, les fr?res Paphlagoniens ont fait de leur mieux afin d'assurer l'h?ritage de la couronne dans le cadre de leur famille. Le fils d'Etienne Calfat et de leur soeur Maria, Michel, a ?t? proclam? c?sar, comme celui qui h?riterait Michel IV, puisque le seul fr?re qui n'avait pas ?t? eunuque Nik?tas, ?tait mort d?j? en cette ann?e 1034. Pourtant, ce qui manque chez Skylitz?s, Zonaras et Attaliate, est compl?t? par les donn?es de Michel Psellos - de la Chronographie, mais aussi d'un discours du d?but du r?gne de Constantin Monomaque o? Psellos avait donn? un court histoire de l'Empire et des empereurs depuis Basile II jusqu'? Monomaque. Dans les deux lieux Psellos mentionne que Jean l'Orphanotrophe, rapidement avoir s'?tre brouill? avec son neveu Michel Calfat, avait tent? dans le cadre de sa famille ? retrouver nouvel h?ritier de la couronne. Les donn?es des autres ?crivains confirment la querelle de Michel IV et de l'Orphanotrophe avec leur neveu mais aucun d'eux ne l'explique de plus pr?s et ce ne sont que les allusions de Psellos dans ce cas-l?, plut?t claires, qui contribuent ? une meilleure consid?ration des relations dans la famille des Paphlagoniens mais aussi dans le sommet-m?me de l'?tat. Ce n'est qu'apr?s comparaison de leurs donn?es que nous pouvons avoir une id?e plus claire sur les ?v?nements qui se sont d?roul?s de 1034 jusqu'? 1042: d?s la prise du pouvoir, Michel IV et l'Orphanotrophe proclament leur neveu Michel c?sar; un peu plus tard, ils renoncent ? ce dessein, en interdisant ? Michel Calfat m?me d'acc?der au palais; en cherchant un nouvel h?ritier appartenant ? leur lign?e, ils se retournent vers le fr?re de Michel Calfat, Constantin, commandant de Th?ssalonique en 1040, qui avec succ?s avait fait la guerre avec les Bulgares et a re?u le haut titre de magistros; Michel Calfat retrouve le soutien pour la lutte contre l'Orphanotrophe dans le cadre de sa lign?e - ? son c?t? se trouvent les deux plus jeunes fr?res des Paphlagoniens Constantin et Georges apr?s la mort de Michel IV, ils r?ussissent ? repousser l'Orphanotrophe et ? obtenir un accord avec l'imp?ratrice Zo? et son entourage -apr?s quoi Zo? adopte Michel et il devient basileus; Michel V r?gle tout d'abord les comptes avec les adversaires au sein de sa lign?e tandis qu'? son oncle il attribue le haut titre de nob?lissime. Apr?s cela ils se l?vent ouvertement contre l'imp?ratrice Zo?; apr?s avoir chass? Zo? une r?volte ?clate ? Constantinople, ? la t?te de cette r?volte se trouvent les puissants de l'?poque de Constantin VIII, repouss?s par les politiques familiales de Romain Argyros et des Paphlagoniens. Ils tirent de son couvent la princesse Theodora, la proclament imp?ratrice et, m?fiants envers Zo? ils cr?vent les yeux ? Michel V et au nob?lissime Constantin. Craignant de confier le pouvoir ? l'imp?ratrice Zo? - dont les accords politiques leur ont caus? la perte de leurs positions - ils r?ussissent ? r?aliser leur influence ? travers le r?gne commun des deux s?urs; apr?s avoir renvers? les Paphlagoniens, les organisateurs du soul?vement gagnent de nouveau les plus hauts rangs dans l'arm?e: Nicolas, l'eunuque le plus puissant de Constantin VIII devient de nouveau le domestique des scholes d'Orient, Constantin Kabasilas, substitu? au tout d?but du r?gne des Paphlagoniens, devient le domestique des scholes d'Occident. Le nob?lissime Constantin, que Michel Attaliate surnomme ? tort le patradelps?z de Michel V, a ?t? renvoy? ? Constantinople uniquement dans le but de d?couvrir l'abri du tr?sor pr?s de son oikos pr?s des Saints Ap?tres o? ont ?t? dissimul?s, selon Skylitz?s presque 1700 kilogrammes d'or.

AbstractSingle crystalline Si thin films on insulating substrates (SOI) have a variety of potential applications to such as high mobility TFT and to high efficiency and low cost solar cells. Since the SOI is limited to a thin layer, it is needed to develop a low temperature epitaxial growth technology to form active layers thicker than several micorns at low temperatures. The purpose of this study is to develop a deposition technique of single crystalline Si thin films by a reactive CVD method [1] at temperatures less than 600○C utilizing gas-phase reaction (SiH4, F2). Deposition of Si films was performed on a single crystalline Si (100) wafer. Substrate-temperature was varied between 100 and 700○C, reaction-pressure 1 and 500mTorr, flow-rate between SiH4/F2 = 1/1 and 1/3, and the geometry of the substrate and the gas-outlet were optimized. First, it was found that deposition rate was sensitive to the distance between the gas-outlet and the substrate and to the total pressure. For four different combinations of pressures, 250 and 500 mTorr and distances, 50 and 150 mm. The deposition took place only for the combination of 500 mTorr and 50 mm, and otherwise the deposition rate was significantly lower or etching of Si wafer was observed. The deposition rate for gas flow ratio, SiH4/F2 of 1/1 was 1.7 nm/s at a substrate-temperature of 400○C, while for higher F2 flow rate ratio, SiH4/F2 = 1/2 and 1/3, the deposition rates were 8.3×10-3 nm/s and etching, respectively. Raman measurements show that crystallinity depends on the substrate-temperature; broad amorphous signal appears at 300, microcrystalline signal at 300 and 500○C and sharp crystalline at 400○C. RHEED observation shows a halo-pattern of amorphous-Si at 200○C, a mixed pattern of streak and spot without 2×1 superstructure at 300○C, a 2×1 streak-pattern at 400○C and a spot-pattern at 500○C. The reason of the narrow temperature window for epitaxial layer is a characteristic feature of low temperature epitaxy as reported before [2]. It is noteworthy the deposition rate of epitaxy obtained in this work is quite high, 1.7 nm/s even at 400○C. These observations are ascribed to the gas phase reaction between SiH4 and F2 and successive surface reactions. The SiH4 and F2 cause an exothermic reaction in the gaseous phases to generate radicals such as SiHx, H and F. The SiHx acts as a film precursor and others act as etchant. Under the conditions which radical density ratio SiHx/F increases, therefore, the deposition rate decreases or etching occurs. The material properties also will be discussed in relation to the growth mechanism. [1]J. Hanna et al., J. Non-Crst. Solids 114 (1989) 172-174 [2]T. Kitagawa, M. Kondo et al, Appl. Surf. Sci. 159-160 (2000) 30-34

ABSTRACTSolar cell using profiled poly-Si:H by HWCVD as i-layer in the configuration SS/n-µSi:H(PECVD)/i-poly-Si:H(HWCVD)/p-µc-Si:H(PECVD)/ITO showed 3.7% efficiency. A current of 23.6 mA/cm2 was generated in only 1.5 µm thick poly-Si:H i-layer grown at ∼5Å/s. TFTs made with the poly-Si:H films (grown at ≥ 9Å/s) exhibited remarkable stability to long duration of 23 hours of gate bias stress of ∼lMV/cm. A saturation mobility of 1.5 cm2/Vs for the TFT has been achieved. Films made at low hydrogen dilution (Poly2) showed device quality (purely intrinsic nature, ambipolar diffusion length of 568 nm, only (220) oriented growth and low ESR defect density of <1017/cm3with complete absence of signal due to conduction electrons) but with an incubation phase of amorphous initial growth, whereas the films made at high hydrogen dilution (Polyl) had a polycrystalline initial growth, though with higher defect density, incorporated oxygen and randomly oriented grains. Poly2 films are compact and hydrogen bonding is at compact Si-H sites manifested as 2000 cm−1IR vibration and high temperature hydrogen evolution peak. Exchange interaction of spins and spin pairing are observed while increasing defects in such a compact structure. A new approach has been used to integrate these two regimes of growth to make profiled poly-Si:H layers. The new layers show good electronic properties as well as complete elimination of incubation phase.

Dans le but de développer un modèle compact spécifique aux transistors en couches minces (TFT) à base de silicium amorphe ou microcristallin, nous présentons dans ce manuscrit nos études sur l'optimisation des modèles compacts et des méthodes d'extraction des paramètres et, surtout, différents phénomènes présents dans la physique de ces TFTs. Nous proposons une méthode plus robuste d'extraction des paramètres, qui, différemment des méthodes conventionnelles, ne néglige pas la résistance d'accès, diminuant ainsi la subjectivité du procédé de l'extraction. La résistance d'accès dans les différentes structures a été analysée. Pour la structure top-gate coplanar, nous nous sommes focalisés sur des raisons géométriques pour montrer la dépendance de la résistance d'accès en tension de grille. Pour la structure bottom-gate staggered, nous avons introduit l'approche de transport-diffusion au modèle de current crowding, en prouvant la dépendance en tension de grille et en courant en raison de la diffusion des électrons. Le comportement dynamique a été étudié en couplant mesures expérimentales et simulations par éléments finis, en associant les capacités intrinsèques des TFTs avec le temps de retard d'allumage. Nous avons observé l'évolution temporelle du canal lors de sa création ou de sa disparition et nous avons ainsi proposé un modèle qui décrit sa propagation dans un TFT. Nous avons enfin étudié le phénomène de vieillissement des TFTs et nous avons mis en évidence la localisation de la dégradation et de la relaxation dans un TFT sous un stress électrique avec la tension de drain non-nulle.