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Thèses sur le sujet « Kapazitive Sensorik »

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Weber, Christian. « Entwicklung eines Verfahrens zur Anhaftungserkennung und Trennung von Einflussgrößen bei kapazitiven Näherungsschaltern mit Hilfe der Impedanzspektroskopie ». Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz, 2017. https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A23485.

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Résumé :
Kapazitive Sensoren, insbesondere kapazitive Näherungsschalter, werden aufgrund ihrer Fähigkeit nahezu beliebige Materialien detektieren zu können bereits seit vielen Jahrzehnten in unterschiedlichsten Applikationen der industriellen Messtechnik eingesetzt. Aufgrund ihrer kompakten Bauform, ihrer hohen Robustheit und ihres vergleichsweise günstigen Preises werden diese Sensoren auch heute noch in vielen Anwendungen eingesetzt. Wegen ihrer hohen Empfindlichkeit auf jegliche Änderung der elektrischen Eigenschaften in der Umgebung der Messelektrode werden kapazitive Näherungsschalter bei der berührungslosen Erkennung von Grenzständen eingesetzt, wobei der Sensor an der Außenseite eines nicht-leitenden Behälters angebracht ist. In den letzten Jahren sind die Anforderungen an die Sensorik immer weiter gestiegen. Statt einfacher Näherungsschalter, die ein binäres Schaltsignal ausgeben, werden heute zunehmend Sensoren gefordert, die ähnlich kompakt sind und die Sensorkapazität als Prozesswert ausgeben. Dadurch können potenziell neue Anwendungsfelder erschlossen werden. Insbesondere bei der Erkennung hoch-leitfähiger Medien sind Anhaftungen, die sich im Bereich der Messelektrode auf der Behälterinnenseite absetzen, problematisch. Die von den Sensoren gemessene Kapazität ist für das Vorhandensein einer leitfähigen Anhaftung und den tatsächlichen Vollzustand nahezu identisch, was zu Fehlauslösungen des Sensors führen kann. Es existieren bereits Ansätze leitfähige Anhaftungen auszublenden, wie beispielsweise die Verwendung kurzer Impulse als Anregungssignal. Allerdings sind die bei diesen Verfahren auftretenden großen Messfrequenzen ungünstig für das Sensorverhalten bezüglich der elektromagnetischen Verträglichkeit. Weiterhin können alternative Messprinzipien, wie beispielsweise Wirbelstromverfahren, verwendet werden. Bei diesen Verfahren ist jedoch die minimale Leitfähigkeit des Mediums, das detektiert werden kann, begrenzt. Ziel dieser Arbeit ist die Entwicklung eines Verfahrens zur Anhaftungserkennung bei kapazitiven Näherungsschaltern, das zusätzlich Informationen über das zu detektierende Medium liefert. Mit Hilfe der Impedanzspektroskopie gekoppelt mit analytischen und numerischen Modellierungsverfahren wird ein aus drei Parametern bestehendes vereinfachtes Modell entwickelt, das die zuverlässige Unterscheidung von Voll- Leer- und Anhaftungszustand ermöglicht. Einer dieser Parameter, der Gesamtwiderstand, erlaubt Rückschlüsse auf die Leitfähigkeit des zu detektierenden Mediums. Dieses neue Verfahren hat das Potenzial auch in komplexeren Applikationen Anwendung zu finden.
Capacitive sensors, especially capacitive proximity switches, are used in many applications because of their ability to detect almost any material. These sensors are still commonly used today due to their compact design, their high robustness and their comparatively low price. Because of their high sensitivity to changes of the electrical properties of materials in vicinity of the measurement electrode, capacitive proximity switches can be used for contactless limit level sensing. The sensor is often mounted on the outside of the liquid container. In recent years, requirements in regard to sensor performance have increased. Instead of just outputting a binary signal, capacitive proximity switches are expected to also output their measured capacitance, which could potentially open new fields of application. When detecting highly conductive fluids, soiling on the inside of the container in vicinity of the measurement electrode is problematic. The measured capacitance of a conductive film and the actual limit level are almost identical, which can cause false positive detection of a limit level. There are already various approaches to compensate for conductive soiling in vicinity of the measurement electrode, one of which includes the usage of short impulses for excitation. However, the high frequencies involved in these methods can cause problems with respect to electromagnetic compatibility. In addition, alternative measurement principles, like the eddy current principle, can be used. However, this principle imposes constraints on the minimum conductivity of the material to be detected. In this work, a technique to distinguish between conductive soiling and the actual fill level, which also allows to extract information about the material to be detected, is developed. Using impedance spectroscopy combined with analytical and numerical modelling, a model consisting of three parameters is developed. The model allows to reliably distinguish between actual limit level and conductive soiling. The overall resistance supplied by the model can be used as a measure for the conductivity of the material to be detected. The technique has the potential to be used in demanding applications.
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2

Hiller, Karla. « Technologieentwicklung für kapazitive Sensoren mit bewegten Komponenten ». Doctoral thesis, Universitätsbibliothek Chemnitz, 2004. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200401375.

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Résumé :
This work is a contribution to technology development of capacitive microsensors with moved components, such as vacuum pressure sensors and angular rate sensors. It describes the sensor principles, Si microfabrication technologies and test results of prototypes
Die Arbeit liefert einen Beitrag zur Technologieentwicklung für kapazitive mikromechanische Sensoren mit bewegten Komponenten (z.B. Vakuumsensoren und Drehratensensoren). Es werden Sensorprinzipien, Herstellungstechnologien und Testergebnisse von Prototypen beschrieben
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3

Marschner, Christian. « Messverfahren zur Eliminierung von Erdungseinflüssen bei kapazitiven Detektoren und ihre Anwendung zur Sitzbelegungserkennung in Kraftfahrzeugen ». [S.l. : s.n.], 2004. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=971978085.

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Fleischer, Erik Schuhmann Thomas. « Integration von kapazitiven Abstandssensoren in ein vollständig magnetisch gelagertes Turbogebläse sowie Implementierung von Regelungstrategien basierend auf stochastischer Zustandsschätzung ». [S.l. : s.n.], 2007.

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5

Bechen, Benjamin. « Systematischer Entwurf analoger Low-Power-Schaltungen in CMOS anhand einer kapazitiven Sensorauslese ». Stuttgart Fraunhofer-IRB-Verl, 2007. http://d-nb.info/988795590/04.

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6

Keutel, Thomas [Verfasser]. « Energiewandlung aus hochohmigen kapazitiven Stromquellen für die Versorgung drahtloser Sensorik aus dem elektrostatischen Feld von Hochspannungsleitungen / Thomas Keutel ». Aachen : Shaker, 2013. http://d-nb.info/1063266459/34.

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Wolfram, Heiko. « Implementation Issues on MEMS - A Study on System Identification ». Universitätsbibliothek Chemnitz, 2005. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200501442.

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Résumé :
A nonlinear identification scheme is provided for a LTI-system with a feedback-nonlinearity, which depends on the input and LTI-system output. This is especially the case for MEMS, where the electrostatic field depends on the displacement and input voltage. The fact, that the algorithm only requires a matrix inversion and singular value decomposition, makes it possible to use the identification scheme for online-estimation. There is also no other a-priori knowledge about the system, except the order, needed.
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Fleischer, Erik. « Integration von kapazitiven Abstandssensoren in ein vollständig magnetisch gelagertes Turbogebläse sowie Implementierung von Regelungstrategien basierend auf stochastischer Zustandsschätzung ». Master's thesis, Universitätsbibliothek Chemnitz, 2007. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200700589.

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Résumé :
Aktive Magnetlager ermöglichen berührungsfreies Lagern und begrenztes Bewegen von Rotoren. Die für einen stabilen Betrieb notwendige Lageregelung erfordert genaue und schnelle Messsysteme. Die bisher verwendeten Messsysteme erfordern zusätzlichen Bauraum. In dieser Arbeit wird ein integriertes, kapazitives Messsystem für Radiallager vorgestellt, durch das die axiale Baulänge des Rotors reduziert und Dislokationseffekte vermieden werden können. Es wurde dadurch eine höhere Regelungsdynamik erreicht. Außerdem wurde ein erweitertes Kalman-Filter mit nichtlinearer Kraftberechnung implementiert, um die Lageregelung mit verrauschten Messsignalen stabil betreiben zu können. Die Verbesserung der Lageregelung durch das integrierte Messsystem und das Kalman-Filter werden anhand von Versuchsergebnissen verdeutlicht.
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Hoffmann, Almuth Margaretha Gabriele [Verfasser], Steffen [Akademischer Betreuer] Hardt et Michael [Akademischer Betreuer] Baßler. « Kapazitiver Sensor zur präzisen Ortsbestimmung von Phasengrenzen in mikrofluidischen Strukturen / Almuth Margaretha Gabriele Hoffmann ; Steffen Hardt, Michael Baßler ». Darmstadt : Universitäts- und Landesbibliothek Darmstadt, 2018. http://d-nb.info/1154932052/34.

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Hoffmann, Almuth [Verfasser], Steffen [Akademischer Betreuer] Hardt et Michael [Akademischer Betreuer] Baßler. « Kapazitiver Sensor zur präzisen Ortsbestimmung von Phasengrenzen in mikrofluidischen Strukturen / Almuth Margaretha Gabriele Hoffmann ; Steffen Hardt, Michael Baßler ». Darmstadt : Universitäts- und Landesbibliothek Darmstadt, 2018. http://d-nb.info/1154932052/34.

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Kotarsky, Ulf. « Hochauflösender mikromechanischer Sensor zur Erfassung von Oberflächenprofilen ». Doctoral thesis, Universitätsbibliothek Chemnitz, 2005. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200500132.

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Résumé :
In der vorliegenden Arbeit wird die Entwicklung von ausschließlich elektrostatisch arbeitenden Sensor-Aktor-Arrays zur Oberflächenprofilbestimmung an Mikroteilen beschrieben. Ein wesentliches Merkmal der Strukturen ist ihr großer Eigenzustellbereich von bis zu 20 Mikrometer. Die Auswertung atomarer Kräfte ermöglicht Wegauflösungen im Nanometerbereich. Auf Grund der geringen Abmessungen durch die mikromechanische Fertigung des Sensorelements und der integrierten Sensor-Aktorfunktion sind Anordnungen als Zeilenarray möglich. Die Entwicklung richtet sich auf Strukturen, welche in klassischer Oberflächentechnologie gefertigt werden können. Durchgeführte experimentelle Tests wurden mit Sensoren in Silizium-bulk-Mikromechanik (SCREAM) realisiert. Der Schwerpunkt der Arbeit behandelt die Charakterisierung der Sensorelemente und damit verbundene Layoutverbesserungen, wie das Einbringen von Feldstoppern und die Nutzbarkeit des Sensors zur Profilbestimmung von Oberflächen unter Beachtung industrieller Anforderungen. Vorteile des Einsatzes eines solchen Sensor-Aktor-Arrays liegen in der Miniaturisierung und dem vergleichsweise großen Eigenzustellbereich jedes einzelnen Sensors. Dadurch ist es möglich, technische Oberflächen, welche im Eigenzustellbereich des Sensorarrays liegen, ohne das Nachregeln einer übergeordneten Positioniereinheit im Profil zu bestimmen. Es wird gezeigt, wie die angewandte kapazitive Wirkungsweise des Sensors mit den sehr kleinen Nutzkapazitäten im Beisein von großen Parasitärkapazitäten zur Signalauswertung genutzt werden kann.
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Wolfram, Heiko. « Model Building, Control Design and Practical Implementation of a High Precision, High Dynamical MEMS Acceleration Sensor ». Universitätsbibliothek Chemnitz, 2005. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200501921.

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Résumé :
This paper presents the whole process of building up a high precision, high dynamical MEMS acceleration sensor. The first samples have achieved a resolution of better than 500 micro g and a bandwidth of more than 200 Hz. The sensor fabrication technology is shortly covered in the paper. A theoretical model is built from the physical principles of the complete sensor system, consisting of the MEMS sensor, the charge amplifier and the PWM driver for the sensor element. The mathematical modeling also covers problems during startup. A reduced order model of the entire system is used to design a robust control with the Mixed-Sensitivity H-infinity Approach. Since the system has an unstable pole, imposed by the electrostatic field and time delay, caused by A/D-D/A conversation delay and DSP computing time, limitations for the control design are given. The theoretical model might be inaccurate or lacks of completeness, because the parameters for the theoretical model building vary from sample to sample or might be not known. A new identification scheme for open or closed-loop operation is deployed to obtain directly from the samples the parameters of the mechanical system and the voltage dependent gains. The focus of this paper is the complete system development and identification process including practical tests in a DSP TI-TMS320C3000 environment.
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Boll, Dmitriy [Verfasser], Walter [Akademischer Betreuer] Lang, Walter [Gutachter] Lang et Steffen [Gutachter] Paul. « Herstellung und Charakterisierung eines flexiblen kapazitiven Sensors für die Überwachung von kohlenfaservertärkten Polymeren / Dmitriy Boll ; Gutachter : Walter Lang, Steffen Paul ; Betreuer : Walter Lang ». Bremen : Staats- und Universitätsbibliothek Bremen, 2017. http://d-nb.info/115492582X/34.

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Wibbeler, Jürgen. « Frequenzselektive Vibrationssensoren mit spannungsgesteuerter Resonanzabstimmung in Oberflächenmikromechanik ». Doctoral thesis, Universitätsbibliothek Chemnitz, 2003. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200301366.

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Résumé :
Basic resonator structures for frequency-selective capacitive vibration sensors which exploit their mechanical resonance peak for spectral selectivity are developed and analyzed. As an important capability, the stuctures offer voltage-controlled frequency tuning realized by electrostatic principles. Direct electrostatic tuning based on displacement-dependent electrostatic forces as well as tuning by stress-stiffening based on constant electrostatic forces are discussed. The sensor structures are designed for fabrication using common silicon surface microtechnologies. Experimental tests of both mentioned tuning principles are carried out at structures fabricated using a surface technology known as SCREAM. A considerable part of the work focusses on nonlinear oscillations of the mechanical resonator at large amplitudes arising in resonance. Dimensioning rules for minimum nonlinear disturbance are derived from a detailed analysis of the Duffing oscillator. Various capacitive principles for signal detection and electrostatic frequency tuning are evaluated in terms of nonlinearity. A novel type of specially shaped electrode systems offering linear properties within an amplitude range of 10 micrometers, so-called curved comb capacitors, is developed for fabrication in SCREAM technology
In der vorliegenden Arbeit werden Grundstrukturen frequenzselektiver kapazitiver Vibrationssensoren entwickelt und analysiert, deren spektrale Selektionswirkung durch Ausnutzung ihrer mechanischen Resonanzüberhöhung entsteht. Wesentliches Merkmal der Strukturen ist ihre spannungsgesteuerte Abstimmbarkeit, die auf elektrostatischen Prinzipien beruht. Es werden die direkte elektrostatische Frequenzabstimmung, basierend auf positionsabhängigen Feldkräften, sowie das Prinzip des Stress-Stiffening, basierend auf einer konstanten elektrostatischen Kraft, diskutiert. Die Entwicklung konzentriert sich auf Sensorstrukturen, die in klassischen Oberflächentechnologien gefertigt werden können. Experimentelle Tests der beiden genannten Abstimmprinzipien werden anhand von Strukturen in oberflächennaher Silizium-bulk-Mikromechanik (SCREAM) durchgeführt. Schwerpunkt der Arbeit sind nichtlineare Schwingungen der mechanischen Resonatorkomponente bei großen Amplituden, die durch die Resonanzüberhöhung entstehen. Für den Sonderfall des Duffing-Schwingers werden Dimensionierungsregeln zur Minimierung der Nichtlinearitäten entwickelt. Kapazitive Prinzipien zur Detektion bzw. elektrostatischen Abstimmung werden hinsichtlich ihrer Linearität geprüft. Es werden neuartige Elektrodensysteme für die SCREAM-Technologie, sogenannte Kurvenkammsysteme entwickelt, die bei Schwingamplituden bis zu 10 Mikrometer linear arbeiten
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Fendri, Ahmed. « Impedimetric Sensor System for Edible Oil Quality Assessment ». Universitätsverlag Chemnitz, 2019. https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A37173.

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Résumé :
The repeated usage of frying oil is hazardous due to the degradation caused by chemical reactions, which happen while heating. The total polar compounds and the free fatty acids are the main two chemical parameters affected by frying. These parameters increase significantly with the use of oil for frying and are reported as reasons for causing serious illnesses like heart diseases. For this purpose, sensor systems for oil quality assessment are necessary. In fact, changes of the composition due to frying leads to variation of its dielectric parameters. This can be measured using a capacitive sensor and the measurement of its impedance change. The main challenge thereby is that the impedance changes are very small and stray capacitances have a big influence on the measurements. In this context, this work proposes a sensor system with high accuracy able to detect the small changes that occur in the resistance and capacitance under influence of stry capacitances. Theoretical and simulation studies are carried out for different cap acitive sensors as well as meas urement procedures of its cornp lex imp edance. The sensor should provide a high sensitivity to relative perrnittivity and the electrical conductiv ity, and at the same time a small size and a high reproducibility. Interdigital electrodes sensor with a suitable design fulfils all these requirements. A deep consideration of stray capacitances is needed to realize an accurate sensor system. For t hese reasons, the design of the measurement circuit is crucial within this work. We propose, a measurernent circuit based on a combinat ion of the method of capacitance to voltage conversion and the phase shift measurement method. By cornbining both rnethods together it is possible to rneasure accurate ly the complex irnpedance of edible oil. Experimental results show that measurement systern is capable to detect small changes of dielectric parameters, which are correlated to the chemical parameters.
Die mehrfach wiederholte Verwendung von Frittieröl ist aufgrund der Qualitätsver­ schlechterung, die während des Erhitzens auftreten durch chemische Reaktionen verursacht wird, gefährlich für die Gesundheit. Die totale polaren Kompon enten und die freien Fettsäuren sind die zwei wichtigsten chemischen Komponenten, die wesentlich durch das Braten beeinflusst werden. Diese Komponenten erhöhen sich signifikant mit der Wiederverwendung von Bratöl und verursachen u. a. ernste Herzkrankheiten. Diese Arbeit zielt darauf hin, ein mobiles, kostengünstiges, einfach zu verwenden­ des Sensorsystem für die Abschätzung der Ölqualität zu entwickeln. Das System charakterisiert die Veränderung der elektrischen Parameter des Öls durch Messung der Änderung seiner komplexen elektrischen Eigenschaft en. In dieser Arbeit wurde ein Sensorelement mit interdigitalen Elektroden entwickelt, der eine hohe Empfindlichkeit auf die relative Permittivität und die elektrischen Leitfähigkeit des Öls hat und dabei einer hohe Reproduzierbarkeit erzielen kann. Es wird ein Messverfahren vorgeschlagen, das auf der Wandlung in einer Spannung und einer Phasenverschiebung basiert. Sowohl durch theoretische Überlegungen als auch durch Simulationen konnte belegt werden, dass die Kombination beider Metho­ den eine akkurate Messung der Komplexem Imped anz hochdielektrischer Materia lien ermöglichen kann. Experiment elle Ergebnisse zeige n, dass das Messsystem in der Lage ist , kleine Änderungen der dielektrischen Parameter zu erfassen, die mit den chemischen Ölparamtern stark korrelieren.
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Forke, Roman. « Mikromechanisches kraftgekoppeltes Sensor-Aktuator-System für die resonante Detektion niederfrequenter Schwingungen ». Doctoral thesis, Universitätsbibliothek Chemnitz, 2013. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-100498.

Texte intégral
Résumé :
Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung und Charakterisierung eines mikromechanischen kraftgekoppelten Schwingsystems für die resonante Detektion niederfrequenter Schwingungen. Es wird ein neuartiges Prinzip vorgestellt, das es ermöglicht, niederfrequente Vibrationen frequenzselektiv zu erfassen. Mittels Amplitudenmodulation wird das niederfrequente Signal in einen höheren Frequenzbereich umgesetzt. Durch Ausnutzung der mechanischen Resonanzüberhöhung wird aus dem breitbandigen Signal ein schmales Band herausgefiltert, die anderen Frequenzbereiche werden unterdrückt. Auf diese Weise wird direkt die spektrale Information des niederfrequenten Signals gewonnen. Eine Fourier-Transformation ist hierbei nicht notwendig. Die Abstimmung des Sensors erfolgt über eine Wechselspannung und führt dadurch zu einer einfachen Auswertung. Die Schwerpunkte der Arbeit liegen in den theoretischen Untersuchungen zum neuartigen Sensorprinzip, in der Entwicklung einer mikromechanischen Sensorstruktur zum Einsatz des neuen Prinzips sowie in der Entwicklung und Charakterisierung eines Messsystems zur Detektion niederfrequenter mechanischer Schwingungen mit dem neuen Sensor
This thesis describes the development and characterization of a micromechanical force coupled oscillator system for the resonant detection of low frequency vibrations. It presents a novel working principle that enables spectral measurements of low frequency vibrations. The low frequency spectral content is converted into a higher frequency range by means of amplitude modulation. Due to the mechanical resonance a narrow band is filtered out of the wide band vibration signal. The remaining frequency content is suppressed. Hence, the spectral information is directly obtained with the sensor system without a fast Fourier transform. The tuning is done with an AC voltage resulting in a simple analysis. The main focuses of the work are the theoretical analysis of this novel sensor principle, the development of the micromechanical sensor structure for the use of the novel principle as well as the development and characterization of a measurement system for the spectral detection of low frequency mechanical vibrations with the developed sensor system
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Forke, Roman. « Mikromechanisches kraftgekoppeltes Sensor-Aktuator-System für die resonante Detektion niederfrequenter Schwingungen ». Doctoral thesis, Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz, 2012. https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A19809.

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Résumé :
Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung und Charakterisierung eines mikromechanischen kraftgekoppelten Schwingsystems für die resonante Detektion niederfrequenter Schwingungen. Es wird ein neuartiges Prinzip vorgestellt, das es ermöglicht, niederfrequente Vibrationen frequenzselektiv zu erfassen. Mittels Amplitudenmodulation wird das niederfrequente Signal in einen höheren Frequenzbereich umgesetzt. Durch Ausnutzung der mechanischen Resonanzüberhöhung wird aus dem breitbandigen Signal ein schmales Band herausgefiltert, die anderen Frequenzbereiche werden unterdrückt. Auf diese Weise wird direkt die spektrale Information des niederfrequenten Signals gewonnen. Eine Fourier-Transformation ist hierbei nicht notwendig. Die Abstimmung des Sensors erfolgt über eine Wechselspannung und führt dadurch zu einer einfachen Auswertung. Die Schwerpunkte der Arbeit liegen in den theoretischen Untersuchungen zum neuartigen Sensorprinzip, in der Entwicklung einer mikromechanischen Sensorstruktur zum Einsatz des neuen Prinzips sowie in der Entwicklung und Charakterisierung eines Messsystems zur Detektion niederfrequenter mechanischer Schwingungen mit dem neuen Sensor.
This thesis describes the development and characterization of a micromechanical force coupled oscillator system for the resonant detection of low frequency vibrations. It presents a novel working principle that enables spectral measurements of low frequency vibrations. The low frequency spectral content is converted into a higher frequency range by means of amplitude modulation. Due to the mechanical resonance a narrow band is filtered out of the wide band vibration signal. The remaining frequency content is suppressed. Hence, the spectral information is directly obtained with the sensor system without a fast Fourier transform. The tuning is done with an AC voltage resulting in a simple analysis. The main focuses of the work are the theoretical analysis of this novel sensor principle, the development of the micromechanical sensor structure for the use of the novel principle as well as the development and characterization of a measurement system for the spectral detection of low frequency mechanical vibrations with the developed sensor system.
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Hiller, Karla [Verfasser]. « Technologieentwicklung für kapazitive Sensoren mit bewegten Komponenten / von Karla Hiller ». 2004. http://d-nb.info/973687894/34.

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Hoffmann, Almuth Margaretha Gabriele. « Kapazitiver Sensor zur präzisen Ortsbestimmung von Phasengrenzen in mikrofluidischen Strukturen ». Phd thesis, 2018. http://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/7265/1/Doktorarbeit_AHoffmann.pdf.

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Résumé :
Das Ziel dieser Doktorarbeit ist die Entwicklung und Charakterisierung eines Sensors zur Überwachung der Flüssigkeitsbewegung in mikrofluidischen Analysegeräten. Je nach Position der Probenflüssigkeit im Mikrokanal müssen z.B. Mischer und Ventile angesteuert werden, um ein richtiges Ablaufen der hochkomplexen chemischen und biologischen Prozesse in dem Analysegerät zu ermöglichen. Zum Zweck der präzisen Positionsbestimmung wird in dieser Arbeit eine einfache, planare Elektrodenstruktur zur kontaktfreien, kapazitiven Messung von flüssig/gas Grenzflächen vorgestellt. Der Sensor liegt außerhalb der Einwegkartusche und zeichnet sich, gegenüber den bisher eingesetzten Lichtschranken, zum einen durch seine Unempfindlichkeit gegenüber Benetzungen der Kanalwände aus und zum anderen ist er einfacher am Kanal anzubringen. Der Moving Plug Sensor (MPS) arbeitet auf Basis der kapazitiv gekoppelten, kontaktfreien Leitfähigkeitsmessung, kurz C 4 D (engl. Contactless Capacitively Coupled Conductivity Detection). Außerhalb des Kanals angebracht, detektiert der MPS eine vorbeifließende Phasengrenze zweier Stoffe durch den Unterschied der Permittivität beider Medien. Von gängigen Füllstandsensoren unterscheidet sich der MPS durch ein System von drei kapazitiv gekoppelten Elektroden. Zwei rechteckige Messelektroden werden von einer rahmenförmigen Schirmelektrode umgeben. Dieses System dreier kapazitiv gekoppelter Elektroden erzeugt ein charakteristisches Signal gekennzeichnet durch zwei Extrema. Das von Kondensatoren bekannte Stufensignal weist einen Unter- gefolgt von einem Überschwinger auf. Die Extrema treten auf, wenn sich die Phasengrenze an zwei spezifischen Punkten im Bereich des Sensors befindet. Dadurch ermöglicht der Sensor eine sehr präzise Positionsbestimmung der Phasengrenze an zwei Stellen und dadurch auch die Bestimmung der Flussrate mit nur einem Sensor. Die Vorteile der neuen Sensorgeometrie gegenüber den bisher verwendeten Lichtschrankensystemen werden sowohl durch Simulationen wie auch durch Messungen bestätigt, die sowohl die Geometrieparameter der Elektroden, als auch die Lage des Sensors zum Kanal und die elektrischen Materialeigenschaften der Flüssigkeit betrachten. Die Signalcharakteristik ist für die kontaktfreie, präzise Positionsbestimmung von Flüssigkeitssäulen in Mikrokanälen optimiert und der Sensor ist für ein breites Spektrum permittiver und gering leitfähiger Flüssigkeiten einsetzbar. Zusammenfassend stellt diese Dissertation eine robuste und präzise messende elektrische Sensorkonfiguration vor, die im Vergleich zu herkömmlichen Messverfahren wie Lichtschranken oder in der Kartusche integrierten Elektroden einige Vorteile aufweist: minimierter Platzbedarf unter der Kartusche, berührungslose Messung, geeignet für opake Kartuschen, kombinierte und präzise Messung der Fluidposition (±50μm) und Geschwindigkeit (< 2%), kostengünstige Fertigung, Kalibrierung basierend auf Geometriefaktoren und dadurch eine einfache Montage. Darüber hinaus lässt sich die Messgenauigkeit durch Geometrieparameter der Elektrodenanordnung an die Lage des Sensors zur Kartusche anpassen.
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Bluth, Jonas [Verfasser]. « Modellierung und Realisierung eines digitalen Trägerfrequenzmesssystems zur Messung von kapazitiven Sensoren im Umfeld einer Ultrapräzisionsdrehmaschine / von Jonas Bluth ». 2007. http://d-nb.info/983157006/34.

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Kotarsky, Ulf. « Hochauflösender mikromechanischer Sensor zur Erfassung von Oberflächenprofilen ». Doctoral thesis, 2004. https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A18270.

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Résumé :
In der vorliegenden Arbeit wird die Entwicklung von ausschließlich elektrostatisch arbeitenden Sensor-Aktor-Arrays zur Oberflächenprofilbestimmung an Mikroteilen beschrieben. Ein wesentliches Merkmal der Strukturen ist ihr großer Eigenzustellbereich von bis zu 20 Mikrometer. Die Auswertung atomarer Kräfte ermöglicht Wegauflösungen im Nanometerbereich. Auf Grund der geringen Abmessungen durch die mikromechanische Fertigung des Sensorelements und der integrierten Sensor-Aktorfunktion sind Anordnungen als Zeilenarray möglich. Die Entwicklung richtet sich auf Strukturen, welche in klassischer Oberflächentechnologie gefertigt werden können. Durchgeführte experimentelle Tests wurden mit Sensoren in Silizium-bulk-Mikromechanik (SCREAM) realisiert. Der Schwerpunkt der Arbeit behandelt die Charakterisierung der Sensorelemente und damit verbundene Layoutverbesserungen, wie das Einbringen von Feldstoppern und die Nutzbarkeit des Sensors zur Profilbestimmung von Oberflächen unter Beachtung industrieller Anforderungen. Vorteile des Einsatzes eines solchen Sensor-Aktor-Arrays liegen in der Miniaturisierung und dem vergleichsweise großen Eigenzustellbereich jedes einzelnen Sensors. Dadurch ist es möglich, technische Oberflächen, welche im Eigenzustellbereich des Sensorarrays liegen, ohne das Nachregeln einer übergeordneten Positioniereinheit im Profil zu bestimmen. Es wird gezeigt, wie die angewandte kapazitive Wirkungsweise des Sensors mit den sehr kleinen Nutzkapazitäten im Beisein von großen Parasitärkapazitäten zur Signalauswertung genutzt werden kann.
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Wibbeler, Jürgen. « Frequenzselektive Vibrationssensoren mit spannungsgesteuerter Resonanzabstimmung in Oberflächenmikromechanik ». Doctoral thesis, 2002. https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A18071.

Texte intégral
Résumé :
Basic resonator structures for frequency-selective capacitive vibration sensors which exploit their mechanical resonance peak for spectral selectivity are developed and analyzed. As an important capability, the stuctures offer voltage-controlled frequency tuning realized by electrostatic principles. Direct electrostatic tuning based on displacement-dependent electrostatic forces as well as tuning by stress-stiffening based on constant electrostatic forces are discussed. The sensor structures are designed for fabrication using common silicon surface microtechnologies. Experimental tests of both mentioned tuning principles are carried out at structures fabricated using a surface technology known as SCREAM. A considerable part of the work focusses on nonlinear oscillations of the mechanical resonator at large amplitudes arising in resonance. Dimensioning rules for minimum nonlinear disturbance are derived from a detailed analysis of the Duffing oscillator. Various capacitive principles for signal detection and electrostatic frequency tuning are evaluated in terms of nonlinearity. A novel type of specially shaped electrode systems offering linear properties within an amplitude range of 10 micrometers, so-called curved comb capacitors, is developed for fabrication in SCREAM technology.
In der vorliegenden Arbeit werden Grundstrukturen frequenzselektiver kapazitiver Vibrationssensoren entwickelt und analysiert, deren spektrale Selektionswirkung durch Ausnutzung ihrer mechanischen Resonanzüberhöhung entsteht. Wesentliches Merkmal der Strukturen ist ihre spannungsgesteuerte Abstimmbarkeit, die auf elektrostatischen Prinzipien beruht. Es werden die direkte elektrostatische Frequenzabstimmung, basierend auf positionsabhängigen Feldkräften, sowie das Prinzip des Stress-Stiffening, basierend auf einer konstanten elektrostatischen Kraft, diskutiert. Die Entwicklung konzentriert sich auf Sensorstrukturen, die in klassischen Oberflächentechnologien gefertigt werden können. Experimentelle Tests der beiden genannten Abstimmprinzipien werden anhand von Strukturen in oberflächennaher Silizium-bulk-Mikromechanik (SCREAM) durchgeführt. Schwerpunkt der Arbeit sind nichtlineare Schwingungen der mechanischen Resonatorkomponente bei großen Amplituden, die durch die Resonanzüberhöhung entstehen. Für den Sonderfall des Duffing-Schwingers werden Dimensionierungsregeln zur Minimierung der Nichtlinearitäten entwickelt. Kapazitive Prinzipien zur Detektion bzw. elektrostatischen Abstimmung werden hinsichtlich ihrer Linearität geprüft. Es werden neuartige Elektrodensysteme für die SCREAM-Technologie, sogenannte Kurvenkammsysteme entwickelt, die bei Schwingamplituden bis zu 10 Mikrometer linear arbeiten.
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