Auswahl der wissenschaftlichen Literatur zum Thema „Nitrure de scandium aluminium (ScAlN)“
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Zeitschriftenartikel zum Thema "Nitrure de scandium aluminium (ScAlN)":
Krey, Maximilian, Bernd Hähnlein, Katja Tonisch, Stefan Krischok und Hannes Töpfer. „Automated Parameter Extraction Of ScAlN MEMS Devices Using An Extended Euler–Bernoulli Beam Theory“. Sensors 20, Nr. 4 (13.02.2020): 1001. http://dx.doi.org/10.3390/s20041001.
Hähnlein, Bernd, Tim Hofmann, Katja Tonisch, Jörg Pezoldt, Jaroslav Kovac und Stefan Krischok. „Structural Analysis of Sputtered Sc(x)Al(1-x)N Layers for Sensor Applications“. Key Engineering Materials 865 (September 2020): 13–18. http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/kem.865.13.
Wei, Min, Yan Liu, Yuanhang Qu, Xiyu Gu, Yilin Wang, Wenjuan Liu, Yao Cai, Shishang Guo und Chengliang Sun. „Development of Temperature Sensor Based on AlN/ScAlN SAW Resonators“. Electronics 12, Nr. 18 (12.09.2023): 3863. http://dx.doi.org/10.3390/electronics12183863.
N. I .M. Nor, N. Khalid, H. Aris, M. S. Mispan und N. Aiman Syahmi. „Analysis of Different Piezoelectric Materials on the Film Bulk Acoustic Wave Resonator“. International Journal of Nanoelectronics and Materials (IJNeaM) 16, DECEMBER (26.12.2023): 121–30. http://dx.doi.org/10.58915/ijneam.v16idecember.398.
Stoeckel, Chris, Katja Meinel, Marcel Melzer, Agnė Žukauskaitė, Sven Zimmermann, Roman Forke, Karla Hiller und Harald Kuhn. „Static High Voltage Actuation of Piezoelectric AlN and AlScN Based Scanning Micromirrors“. Micromachines 13, Nr. 4 (15.04.2022): 625. http://dx.doi.org/10.3390/mi13040625.
Zhang, Qiaozhen, Mingzhu Chen, Huiling Liu, Xiangyong Zhao, Xiaomei Qin, Feifei Wang, Yanxue Tang, Keat Hoe Yeoh, Khian-Hooi Chew und Xiaojuan Sun. „Deposition, Characterization, and Modeling of Scandium-Doped Aluminum Nitride Thin Film for Piezoelectric Devices“. Materials 14, Nr. 21 (27.10.2021): 6437. http://dx.doi.org/10.3390/ma14216437.
Zhang, Yuchao, Bin Miao, Guanghua Wang, Hongyu Zhou, Shiqin Zhang, Yimin Hu, Junfeng Wu, Xuechao Yu und Jiadong Li. „ScAlN Film-Based Piezoelectric Micromechanical Ultrasonic Transducers with Dual-Ring Structure for Distance Sensing“. Micromachines 14, Nr. 3 (23.02.2023): 516. http://dx.doi.org/10.3390/mi14030516.
Li, Minghua, Huamao Lin, Kan Hu und Yao Zhu. „Oxide overlayer formation on sputtered ScAlN film exposed to air“. Applied Physics Letters 121, Nr. 11 (12.09.2022): 111602. http://dx.doi.org/10.1063/5.0106717.
Ji, Meilin, Haolin Yang, Yongxin Zhou, Xueying Xiu, Haochen Lv und Songsong Zhang. „Bimorph Dual-Electrode ScAlN PMUT with Two Terminal Connections“. Micromachines 13, Nr. 12 (19.12.2022): 2260. http://dx.doi.org/10.3390/mi13122260.
Liu, Xiaonan, Qiaozhen Zhang, Mingzhu Chen, Yaqi Liu, Jianqiu Zhu, Jiye Yang, Feifei Wang, Yanxue Tang und Xiangyong Zhao. „Multiphysics Modeling and Analysis of Sc-Doped AlN Thin Film Based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer by Finite Element Method“. Micromachines 14, Nr. 10 (18.10.2023): 1942. http://dx.doi.org/10.3390/mi14101942.