To see the other types of publications on this topic, follow the link: Dépôts sous vide.
Dissertations / Theses on the topic 'Dépôts sous vide'
Create a spot-on reference in APA, MLA, Chicago, Harvard, and other styles
Consult the top 23 dissertations / theses for your research on the topic 'Dépôts sous vide.'
Next to every source in the list of references, there is an 'Add to bibliography' button. Press on it, and we will generate automatically the bibliographic reference to the chosen work in the citation style you need: APA, MLA, Harvard, Chicago, Vancouver, etc.
You can also download the full text of the academic publication as pdf and read online its abstract whenever available in the metadata.
Browse dissertations / theses on a wide variety of disciplines and organise your bibliography correctly.
1
Parbaile, Emilien. "Contribution à l'optimisation des techniques de dépôts sous vide de cellules solaires organiques." Limoges, 2009. https://aurore.unilim.fr/theses/nxfile/default/e6a50ed2-0fc2-4a6e-abd4-d838a9507b10/blobholder:0/2009LIMO4061.pdf.
Full textAbstract:
Les cellules organiques sont légères et particulièrement résistantes aux chocs (couche active et substrat en plastique). Elles conviendraient à des environnements difficiles tel que l’environnement militaire. De plus, la conformabilité de ces cellules permettrait de les intégrer à des téléphones portables et à d’autres appareils portables nécessitant de fortes autonomies. Les travaux de cette thèse ont consistés à étudier différentes structures de cellules, à améliorer la reproductibilité, à réaliser des cellules avec des matériaux purifiés et à réaliser des cellules sur des substrats souples notamment. La réalisation de cellules sur de tels substrats a permis de montrer que le passage d’un substrat rigide à un substrat souple ne modifie que faiblement les performances. Les cellules réalisées et caractérisées ont été principalement des cellules à base de CuPc et de C60. Les techniques de dépôt utilisées ont été la technique de dépôt par centrifugation et la technique de dépôt par évaporation thermique sous vide. En outre, des mesures de rendements quantiques externes (IPCE en anglais) ont permis de mettre en évidence que ceux-ci dépendent de la puissance lumineuse incidente. D’autres mesures d’IPCE ont permis d’estimer la durée de phosphorescence du C60 et de déterminer la mobilité des charges dans la CuPc. Le simulateur solaire a fait l’objet d’une étude de radiométrie qui avait pour but de pouvoir comparer les rendements des cellules avec ceux d’autres laboratoires. Une des méthodes mise en place permet d’approcher au maximum la norme d’éclairement AM1. 5G avec le simulateurOrganic solar cells are low weight and particularly resistant to shocks (active layer and substrate in plastic). They are suitable for harsh environments such as military environment. Furthermore, conformability of these cells would permit to integrate them in mobile phones and other portable devices requiring high autonomies. The works of this thesis consisted to study different cell structures, improve reproducibility, realize cells with purified materials and make cells on flexible substrates in particular. The realization of cells on such substrates showed that the transition from a rigid substrate to a flexible substrate modifies only slightly the performance. The cells produced and characterized were mainly cells based on CuPc and C60. The deposition techniques used were spin coating and thermal vacuum sublimation. In addition, measurements of incident photon to current conversion efficiency (IPCE) showed that they depend on the incident light power. Other IPCE measurements permitted to estimate the phosphorescence time of C60 and determine the charge mobility in the CuPc. A radiometry study on the solar simulator was led in order to allow compare cell efficiencies with those of other laboratories. A method established permits to approach as close as possible the standard of illumination AM1. 5G with the simulator
2
Piot, Olivier. "Etude et application de l'évaporation sous vide et des dépôts ioniques à la réalisation de dépôts de chrome et de nitrure de chrome." Limoges, 1998. http://www.theses.fr/1998LIMO0019.
Full textAbstract:
L'etude et la realisation de depots de chrome et de nitrure de chrome par evaporation sous vide et par depot ionique ont fait l'objet de ce travail. Le chrome est mis en phase vapeur par bombardement electronique. La sublimation du chrome a basse pression (p < 1 pa) entraine un creusement important du lingot de chrome pur sous le faisceau d'electrons. L'influence de ce creusement sur la vitesse d'evaporation et la distribution spatiale des atomes evapores a ete etudiee. L'utilisation de lingots d'evaporation binaires constitues de chrome et de titane (50% de chrome en masse) permet l'evaporation du chrome a partir d'une phase liquide. L'evaporation est stable et le faible pourcentage de titane evapore ( 3%) ne modifie pas les proprietes des depots. En evaporation simple la structure des depots est fortement colonnaire. De plus, on observe que l'inclinaison des colonnes varie en fonction de l'inclinaison des substrats. Les contraintes dans les depots de chrome sont en tension. Elles diminuent lorsque la surface du substrat n'est plus perpendiculaire au flux de matiere incident. Cette diminution des contraintes en tension est accompagnee d'une variation de la texture des couches et d'une baisse de la masse volumique des depots. Une correlation entre la texture des couches et les contraintes a ete mise en evidence. Le bombardement des couches de chrome en croissance par des ions argon (depot ionique) permet d'homogeneiser les proprietes des couches quelle que soit la position du substrat par rapport a l'axe de la source d'evaporation. Les depots de nitrure de chrome ont ete obtenus en evaporant le chrome dans un plasma amorce dans l'azote pur (depot ionique reactif). L'analyse des mecanismes de croissance a montre que le courant ionique tombant sur le depot en croissance est essentiellement compose d'ions azote. De plus il a ete mis en evidence que les atomes d'azote participant a la croissance des couches proviennent de la neutralisation de ces ions azote. La composition des couches depend donc principalement de la densite de courant ionique et du flux d'atomes de chrome arrivant sur le depot en croissance. L'influence des differents parametres de depots sur les proprietes mecaniques des depots de nitrure de chrome a ete etudiee. C'est lorsque les depots sont composes uniquement de la phase crn que les proprietes mecaniques sont optimales. Ces proprietes mecaniques evoluent egalement en fonction de la microstructure des depots et de leur etat de contrainte.
3
Clédat, Patrice. "Réalisation et étude comparative de dépôts céramiques obtenus par arc électrique sous vide ou dépôts ioniques : application à l'analyse du comportement anti-usure et des mécanismes de défaillance de revêtements PVD et CVD (TiN, CrN, DLC) sur outils de mise en forme." Limoges, 1999. http://www.theses.fr/1999LIMO4001.
Full textAbstract:
L'analyse des défaillances d'outils d'emboutissage et l'étude des traitements de surface pouvant y remédier sont les principaux objectifs de l'étude. Les mécanismes de croissance des couches diffèrent selon le procédé de dépôt. Ainsi, dans le cas des dépôts PVD, en arc électrique la majorité des espèces est ionisée alors qu'en dépôts ioniques les espèces métalliques sont neutres. Ceci explique que la taille des grains de CrN est plus faible en arc qu'en dépôts ioniques. Ces mécanismes sont également liés à la nature du dépôt. Ainsi, le titane présente une affinité pour l'azote nettement plus forte que le chrome. Cela conduit à l'incorporation d'azote dans la couche induisant un niveau de contraintes plus élevé pour TiN que pour CrN. Cela explique aussi la difficulté d'obtenir des dépôts stoechiométriques de CrN. Les propriétés mécaniques des revêtements optimisés au laboratoire sont comparables quels que soient la technique PVD et le matériau déposé. Une corrélation entre les propriétés mécaniques et microstructurables des couches a été mise en évidence. En général, la microdureté croît avec le niveau de contraintes qui augmente quand la taille des grains diminue. Une bonne résistance à l'usure nécessite une forte adhérence, obtenue seulement pour des dépôts stoechiométriques. Les caractéristiques des couches optimisées au laboratoire sont comparables à celles des dépôts industriels. L'étude donne des éléments sur la hiérarchisation des traitements sur outil d'emboutissage. Un matériau multicouche obtenu par CVD donne le meilleur résultat. Il est concurrencé par CrN obtenu par PVD qui a une limite de tenue plus basse mais dont le coût est moindre. TiN se révèle moins performant que CrN pour l'emboutissage. Son utilisation est justifiée pour la découpe. Le DLC est limité par son adhérence, alors qu'il est excellent quand un bon frottement est particulièrement recherché. Cette étude pose les bases physiques aux préconisations d'emploi des traitements de surface.
4
Bessaudou, Annie. "Etude de la répartition en épaisseur et de la vitesse de croissance des dépôts obtenus par "ion plating"." Limoges, 1985. http://www.theses.fr/1985LIMO4003.
Full text
5
Gautier, Catherine. "Etude des mécanismes de croissance et des propriétés des dépôts à base de chrome réalisés par arc électrique sous vide." Limoges, 1997. http://www.theses.fr/1997LIMO0037.
Full textAbstract:
L'etude des mecanismes de croissance par arc electrique sous vide de couches minces de chrome, de nitrure de chrome et d'oxynitrure de chrome, et l'analyse de leurs proprietes structurales et mecaniques font l'objet de ce travail. Ces proprietes ont ete systematiquement determinees en fonction des differents parametres de depot et correlees entre elles. L'etude des depots de chrome, destinee surtout a mettre au point le dispositif experimental, a aussi permis de comprendre les mecanismes de texturation des couches obtenues par cette technique pvd. Par exemple, l'evolution de la texture en fonction de la temperature est liee principalement a la presence des contraintes internes. En revanche, pour expliquer l'evolution de la texture en fonction de la tension de polarisation appliquee au substrat, il faut aussi prendre en compte les effets de pulverisation. Un double objectif a ete poursuivi dans l'etude des depots reactifs (crn ou (cr,o,n)). Tout d'abord, les flux d'especes (neutres electriquement ou ionisees) tombant sur le depot en croissance mais aussi sur les parois de l'enceinte, ont ete determines. La difference d'affinite du chrome pour l'azote ou l'oxygene conditionne, pour une grande part, les phenomenes reactifs en presence de ces deux gaz. En presence d'azote pur, l'empoisonnement de la cible est faible. Au contraire, la presence d'oxygene entraine un empoisonnement rapide de cette derniere. De meme, peu d'azote moleculaire est physisorbe sur les parois, alors qu'une partie importante d'oxygene est consommee par effet getter sur ces dernieres. Parallelement, les proprietes structurales et mecaniques des depots ont ete determinees en fonction des parametres de depot. Les revetements de nitrure de chrome obtenus sur des substrats en acier (z160cdv12) presentent une bonne adherence (charge critique mesuree au scratch test de l'ordre de 50 n). La durete est de l'ordre de 30 gpa. La resistance a l'usure est aussi excellente. Les depots ternaires (cr,o,n) ne presentent pas de phase oxynitrure cristallisee. Ils sont, soit composes de crn et d'une phase amorphe contenant du chrome et de l'oxygene, soit d'oxyde de chrome et d'une phase amorphe (cr + n). Les premiers presentent des proprietes mecaniques interessantes et comparables a celles du crn. Les seconds sont plus durs mais leur adherence tend a decroitre. Enfin, il est montre que si la phase oxynitrure peut etre obtenue, c'est dans une plage de valeurs des parametres de depot bien definie.
6
Wang, Yan. "Réalisation par projection thermique de dépôts pour la protection contre l'érosion par cavitation." Thesis, Bourgogne Franche-Comté, 2018. http://www.theses.fr/2018UBFCA004/document.
Full textAbstract:
Afin de protéger les composants hydrauliques des phénomènes d’érosion par cavitation, les pièces sont très souvent revêtues par projection thermique. Parmi les matériaux qui présentent de bonnes performances contre cette forme d’érosion, certaines recherches, trop rares encore, relèvent les excellentes propriétés de la zircone stabilisée à 8 wt% yttrium (YSZ). C’est pourquoi, dans cette étude, des revêtements YSZ à 8 wt% ont été fabriqués avec différents procédés de projection thermique et post-traités par refusion laser puis ils ont été soumis aux tests de cavitation référencés selon la norme ASTMG32.Le revêtement YSZ a tout d’abord été élaboré par projection plasma atmosphérique (APS). Différentes tailles de poudre YSZ et différentes températures de préchauffage du substrat ont été étudiées pour observer leurs effets sur la tenue en cavitation des échantillons. La simulation de cavitation acoustique de type Caflisch a permis d’estimer la vitesse du jet d'eau et les contraintes exercées par l'effondrement des bulles à la surface des échantillons. Les résultats en cavitation des deux revêtements YSZ et 304SS ont été étudiés et leurs mécanismes discutés.Ensuite et afin densifier ces échantillons, des revêtements composites YSZ-NiCrBSi contenant de 5 à 25 wt% NiCrBSi dans le mélange ont été fabriqués avec le même procédé APS. Les résultats de l'érosion par cavitation montrent qu'une faible adhérence des particules de NiCrBSi vient contrebalancer l'effet positif de la diminution de la porosité dans ces revêtements. Le revêtement YSZ a été finalement post-traité par refusion laser et différents paramètres laser ont été testés pour optimiser leur densification. Il s’avère que la refusion au laser produit une couche refondue dense en surface mais aussi des fissures à l'intérieur des revêtements. Exposés au test d'érosion par cavitation, il a été observé des arrachements importants de la partie refondue du revêtement et un décollement à son interface, d’où une perte de masse rapide. C’est pourquoi, de l'époxy a été utilisée pour infiltrer ces fissures. Le revêtement refondu par laser et infiltré par époxy présente une amélioration significative de la résistance à la cavitation. Enfin, le procédé de projection de plasma sous vide (VPS) qui permet d’obtenir des revêtements très denses a été utilisé pour fabriquer le revêtement YSZ. Un revêtement de porosité inférieure à 1% a été obtenu. En raison de la température élevée du substrat pendant la projection VPS, les liaisons inter lamellaires sont améliorées, contribuant à augmenter significativement la résistance à la cavitationIn order to protect the hydraulic components from cavitation erosion phenomena, the parts are often coated by thermal spraying. Buck YSZ shows an excellent performance against cavitation erosion. However, the cavitation erosion resistance of YSZ coatings have vaguely been studied. Therefore, in this study, YSZ were manufactured with different thermal spraying processes and post-treated by laser remelting, then they were subjected to cavitation tests according to ASTM G32.The YSZ coating was first manufactured by atmospheric plasma spraying (APS). Various sizes of YSZ powder and different preheating temperatures of the substrate were studied to observe their effect on the cavitation behavior of the samples. The acoustic cavitation simulation of the Caflisch type has been used to estimate the speed of the water jet and the stresses exerted by the collapse of the bubbles on the surface of the samples. The cavitation results of the two YSZ and 304SS coatings were aslo studied to discuss cavitation damage of a thermally sprayed coating.Then in order to densify these samples, YSZ-NiCrBSi composite coatings containing from 5 to 25 wt% NiCrBSi in the mixture were manufactured with the APS process. The results of cavitation erosion show that low adhesion of NiCrBSi particles counterbalances the positive effect of decreasing porosity in these coatings. The YSZ coating was then post-treated by laser remelting and various laser parameters were tested to optimize their densification. It turns out that laser remelting produces a dense surface layer but also cracks inside the coatings. Exposed to the cavitation erosion test, it was observed significant removal of the remelted parts of the coating and, resulting in rapid mass loss. This is why epoxy has been used to infiltrate these cracks. The laser remelted and epoxy infiltrated coating exhibits a significant improvement in cavitation resistance. Finally, the vacuum plasma spraying method (VPS), which provides very dense coatings, was used to make the YSZ coating. A porosity coating of less than 1% was obtained. Due to the high temperature of the substrate during VPS projection, the interlamellar bonds are improved, contributing to a significant increase of cavitation resistance
7
Vinayo, Maria-Elena. "Contribution à l'étude de la projection atmosphérique et sous vide partiel de particules de carbures de tungstène avec liant cobalt ou nickel : application des dépôts au frottement sur acier." Limoges, 1985. http://www.theses.fr/1985LIMO0003.
Full text
8
Chaouki, Aïssam. "Structures fluorures InP "Dépôt sous vides et fluoruration"." Bordeaux 1, 1987. http://www.theses.fr/1987BOR10587.
Full textAbstract:
Essai de passivation de l'inp par des couches minces de fluorures obtenues par sublimation thermique de fluores et par fluoration (oxydation thermique sous fluor), conduisant a la realisation de structures mis presentant une large modulation du potentiel de surface
9
Gelin, Simon. "Dépôt de films d'oxyde de silicium par vaporisation sous vide : dynamique moléculaire et expériences." Thesis, Paris Est, 2016. http://www.theses.fr/2016PESC1117/document.
Full textAbstract:
Les films de silice dont sont constitués les traitements antireflets des verres de lunettes sont déposés par vaporisation au canon à électrons, à température ambiante. Ils sont le siège de fortes contraintes résiduelles compressives qui diminuent considérablement leur stabilité mécanique. Ces contraintes sont difficiles à contrôler parce que les paramètres process qui les affectent sont très nombreux: propriétés du substrat, du gaz résiduel, caractéristiques de l’enceinte et du canon à électrons, vitesse de croissance,… Ils ne sont par ailleurs pas tous indépendants et agissent souvent sur plusieurs phénomènes physiques à la fois. Dans cette thèse, nous mettons en œuvre des simulations numériques et des expériences pour identifier les mécanismes à l’origine de la mise en compression des films de silice pendant leur croissance. Les expériences nous permettent de distinguer trois régimes de croissance, en fonction de la pression de gaz résiduel. Sous vide très poussé, où le gaz a un rôle négligeable, les films croissent en compression. Ensuite, à mesure que la pression augmente, l’incorporation d’espèces issues du gaz dans les films les comprime légèrement. Enfin, lorsque la pression augmente encore, le ralentissement des particules vaporisées par le gaz diminue fortement le niveau de compression et masque l’effet d’incorporation. Les dépôts de silice par dynamique moléculaire nous permettent d’explorer la limite de vide idéal. Grâce à une étude paramétrique systématique, nous trouvons que la mise en compression des films est exclusivement contrôlée par l’énergie cinétique moyenne des particules incidentes. En outre, les valeurs expérimentales ne peuvent être retrouvées qu’avec une énergie de quelques eV, au moins dix fois plus grande que toutes les prédictions formulées dans la littérature sur le dépôt. Ce résultat inattendu nous conduit à réfuter l’idée que la vaporisation au canon à électrons procéderait par simple échauffement thermique. Nous le confirmons en déposant expérimentalement des films à partir de monoxyde de silicium, évaporé thermiquement ou vaporisé au canon à électrons: les premiers croissent en tension, les seconds en compression. Finalement, pour expliquer les quelques eV prédits, nous proposons que sous irradiation électronique, une concentration de charges se forme à la surface de la silice en raison de sa très faible conductivité électrique. Les particules vaporisées qui sont chargées sont alors accélérées par répulsion CoulombienneSilica thin films are widely used as low index layers in antireflective coatings. In the ophthalmic industry, they are deposited at ambient temperature, by electron beam vaporization. This process generates large compressive stresses which make the coatings susceptible to damage. It is thus crucial to understand how these stresses emerge. However, this problem is highly complex because many process parameters may play a role: substrate and residual gas properties, characteristics of the deposition chamber, of the electron gun, growth rate,… Moreover, these parameters may depend on each other and affect several phenomena at the same time. In this thesis, numerical simulations and experiments are performed in order to identifiy the mechanisms responsible for the generation of compressive stresses during film growth. The experiments reveal three regimes of growth, depending on the residual gas pressure. Near ultra high vacuum, where the effect of residual gas is negligible, films grow under compression. Then, as pressure increases, incorporation of gas species in the films slightly compresses them. Eventually, when pressure is high enough so that vaporized particles are slowed down by collisions with gas particles, the level of compression significantly decreases; this rapidly masks the incorporation effect. Molecular dynamics simulations allow us to explore the ideal vacuum limit. By depositing silica films in a vast ensemble of conditions, we find that their compressive state of stress is solely controlled by the mean kinetic energy of incident particles. Comparison with experiments suggests that this energy is equal to a few eV, which is at least ten times greater than predictions from the literature on deposition. This unexpected result leads us to refute the idea that electron beam vaporization would be equivalent to simple themal heating. We confirm this experimentally, by comparing films deposited from silicon monoxide either thermally evaporated or vaporized using an electron beam: the formers grow under tension while the latters under compression. Finally, we explain the ejection of particles of a few eV as coming from the very low electrical conductivity of silica: under electronic irradiation, charges accumulate at its surface and accelerate the charged vaporized particles by Coulombian repulsions
10
Hojeij, Wassim. "Réalisation et caractérisations optoélectroniques de cellules photovoltaïques organiques." Limoges, 2007. https://aurore.unilim.fr/theses/nxfile/default/6e0c9ccc-22d0-4d73-b3b7-e2c9264fa719/blobholder:0/2007LIMO4062.pdf.
Full textAbstract:
Le développement de cellules photovoltaïques constitue un grand enjeu de la filière électronique organique. Ces cellules photovoltaïques organiques sont prometteuses pour la production d'énergie à bas coût. Elles peuvent être fabriquées sur substrat souple, ce qui leur permettra une intégration facile dans les appareils nomades comme les téléphones portables et les ordinateurs portables. Une étude morphologique des cellules photovoltaïques organiques est réalisée en étudiant les différents paramètres d’élaboration tels que la vitesse de dépôt, le nombre de bicouches dans chaque cellule et l’épaisseur totale de la couche active. Des études réalisées sur l’optimisation de cellules photovoltaïques organiques ont conduit à un rendement de conversion en énergie de 1,9 %. Enfin, une étude est menée sur l’effet de la géométrie de la cellule sur le comportement photovoltaïque en réalisant des dispositifs avec différentes dimensionsThe development of efficient and stable organic solar cells constitutes the next major step in the development of organic electronics careers. These organic photovoltaic cells will be used for low cost energy production. They can be manufactured on flexible substrates, which will enable them to be easily integrated in electronics devices such as portable telephones and portable computers. A morphological study of multilayer and bulk heterojunction (BHJ) organic solar cells is carried out by studying the various parameters of realization such as the growth rate, the number of unit cells and the active layer thickness. Other studies are carried out on the optimisation of organic solar cells leading to a power conversion efficiency of 1,9 %. A study is undertaken on organic solar cells dimension effect on their photovoltaic behavior. The electromagnetic study of organic solar cell design shows that the electrical parameters depend on the geometric parameters of the active area
11
Douyon, de Azevedo Mario. "Etude du dépôt par arc dans le vide de couches minces de carbone sous pression réduite d'hydrogène." Thesis, McGill University, 1990. http://digitool.Library.McGill.CA:80/R/?func=dbin-jump-full&object_id=59546.
Full textAbstract:
A new ion plating deposition technique, known as vacuum arc deposition, was tested for the first time using a graphite cathode in low-pressure hydrogen and led to the formation of diamondlike, graphitic and amorphous carbon thin films.The angular distribution of the ionic flux was measured in vacuum as well as under hydrogen pressures. The flux J was found to follow an exponential function of the solid angle $ Omega$ subtended by a cone normal to the cathode surface: J = J$ sb{ rm o}$ exp ($- Omega sp2$ / k$ sp2$).
Another angular distribution of the ionic flux which can be associated with the effusion of a gas from an enclosure by an orifice is J = J$ sb{ rm o}$ cos ($ theta$), where $ theta$ is the angle from the cathode surface normal. This distribution was tested but agrees less with experimental measurements.
The ionic flux is attenuated with distance R to the cathode and gas density n according to J = J$ sb{ rm o}$ e $ rm sp{- n sigma R}$ where $ sigma$ is the cross-section of the carbon ions-hydrogen molecules interaction. The obtained values of the cross-section for a wide range of pressures are in the order of 10$ sp{-17}$ cm$ sp{-2}$. The analysis of the time delays taken by the ions to reach electrostatic probes proved that the attenuation of the ionic flux by the background gas was not due to the photoionization of the hydrogen by radiation emitted from the cathode spots.
12
Hofman, David. "Étude et installation d'un contrôle optique large-bande dans une machine de dépôt sous vide de grandes dimensions." Thesis, Lyon, 2016. http://www.theses.fr/2016LYSE1277/document.
Full textAbstract:
Les optiques utilisées pour les expérimentations utilisant la lumière blanche ou des lasers, sont généralement traitées afin de fonctionnaliser optiquement la surface pour, par exemple accroître leur faculté à réfléchir la lumière ou au contraire à la transmettre. Ceci est fait au moyen de machines de dépôt sous vide dans lesquelles différentes techniques de dépôt peuvent être utilisées. Dans tous les cas, de la matière est envoyée sur la surface de l'optique à traiter : des couches minces de différents matériaux sont alternativement déposées à leur surface. Cette amélioration des fonctions optiques exploite l'interférence des rayons lumineux qui sont réfléchis ou transmis par ces couches minces. Mais pour que le traitement soit efficace, il est nécessaire que les épaisseurs de chaque couche déposées respectent un schéma défini à l'avance : le design optique, il s'agit du plan de l'empilement des couches à déposer et de leurs épaisseurs théoriques.Différentes techniques de contrôle in-situ de l'épaisseur des couches minces existent. L'une d'elles, le contrôle quartz, est une technique de contrôle largement répandue pour sa simplicité de mise en œuvre mais possède une précision limitée à seulement quelques pourcents. Le sujet de cette thèse porte sur le développement et l'installation dans une machine de dépôt, prévue pour de grandes optiques, d'un système de contrôle basé sur l'analyse spectrale d'une lumière réfléchie par l'optique en cours de dépôt. Il s'agit d'un contrôle optique large-bande, technique mise en place dans la grande machine de dépôt du laboratoire afin de remplacer le contrôle quartz.Nous commencerons cette thèse par un aperçu des différentes techniques de dépôts utilisées au laboratoire puis des techniques de contrôle d'épaisseur les plus répandues dans le domaine des couches minces. Ensuite, nous continuerons sur le design et l'installation du système optique qui permet d'effectuer la mesure des couches en cours de dépôt. Enfin, nous monterons que les spécifications fixées sur les empilements de couches minces ont été atteintes avec précision et répétabilitéThe optics that are generally used for the experiments using white light or lasers, have their surfaces usually treated in order to enhance their optical characteristics. This is done inside vacuum coating machines with different possible techniques. With all these techniques, some matter is deposited on the optical surface: several thin films of different materials are deposited in a stack. These improvements use the light interference properties of the beams that are reflected or transmitted by the thin films. But in order to make this effect the most efficient, it is necessary that the layer thicknesses respect an optical design: the layer stack and their theoretical thicknesses.Different in-situ thickness monitoring techniques exist. One of them, the quartz crystal microbalance technique, is widely used for its simplicity but it only allows an accuracy of a few percent. The thesis topic was the development and the installation of a thickness monitoring, in a large coating chamber used for large optics coating, in order to replace th quartz microbalance monitoring. . This is a broadband optical system performing a spectral analysis of the reflected beam from the optic during the coating. We will start this manuscript with a quick overviewof the deposition techniques available at the laboratory. Then, we will review the most widely used thickness monitoring methods in the domain of thin films. We will continue with the design and the installation of the optical system inside the coating chamber. Finally, we will show that the success criteria of the deposition tests were met with accuracy and repeatability
13
Duval, Hervé. "Contribution à l'utilisation de méthodes particulaires en métallurgie d'élaboration sous vide." Vandoeuvre-les-Nancy, INPL, 1998. http://www.theses.fr/1998INPL040N.
Full textAbstract:
Les phénomènes d'interaction entre le métal liquide (ou solide) et l'atmosphère raréfiée conditionnent la composition chimique de l'alliage élaboré. L’étude et la modélisation du comportement de la phase gazeuse apparaissent donc essentielles. Le caractère fortement hors équilibre de la phase gazeuse exclut une approche hydrodynamique et impose une approche plus fine dite cinétique. Les équations d'évolution associées sont résolues à l'aide de méthodes numériques spécifiques dites particulaires. Cette approche est tout d'abord appliquée au processus d'évaporation dans les procédés de fusion sous vide par induction ou par bombardement électronique : le transport de la vapeur est décrit par l'équation de Boltzmann qui est simulée à l'aide de la méthode FPM (Finite Pointset Method). Après une validation sur des cas académiques d'évaporation puis sur des essais expérimentaux, le modèle est utilisé pour simuler l'effet de faibles pressions de gaz incondensable sur le flux net d'évaporation. En particulier, dans le cas traité, une pression de gaz incondensable de l'ordre de 7 Pa permet de réduire le flux net d'évaporation de moitié. Enfin est étudié le cas plus complexe du plasma d'arc dans le procédé de refusion à l'arc sous vide. Un modèle cinétique du plasma au voisinage d'un spot cathodique est proposé et appliqué au cas d'un arc à cathode de nickel.
14
Guillon, Nathalie. "Étude de composés Ti-B-N élaborés par dépot sous vide : relation entre microstructure, composition chimique et propriétés mécaniques." Grenoble INPG, 1997. http://www.theses.fr/1997INPG4207.
Full textAbstract:
Cette etude a pour objectif l'elaboration et la caracterisation des depots ti-b-n elabores par pulverisation cathodique magnetron dans le but d'une application industrielle telle que le revetement d'outils de coupe. Le diagramme de composition ternaire ti-b-n est explore par copulverisation reactive d'une cible de ti et de tib#2. Le domaine de composition chimique centre sur 55% at. De ti, 15% at. B et 30% at. N presente les proprietes mecaniques optimales. Afin d'etudier plus precisement l'evolution de la microstructure et des proprietes mecaniques de ce domaine, des depots sont ensuite elabores par pulverisation cathodique magnetron reactive d'une cible tibx en modifiant le debit d'azote. Le depot de composition chimique 55% at. Ti, 18. 2 % at. B et 26. 8 % at. N possede les meilleures caracteristiques mecaniques. Il correspond a une solution solide de b dans la maille tin. L'influence du bombardement ionique est etudiee ce debit d'azote. Les proprietes tribologiques ne sont pas alterees par le bombardement ionique. Une relation densite du revetement-puissance du bombardement ionique est mise en evidence. En augmentant la teneur en azote dans les depots, le bore est ejecte de la maille tin. Les revetements presentent une phase tin stoechiometrique et une phase bn observee par met. Les depots montrent alors une deterioration des proprietes tribologiques en presence de la phase bn (fragilisation des depots ou reaction physico-chimique). Tous les depots ti-b-n de structure type tin ont une durete elevee (4500 hv sous 50 g). L'hypothese d'un nanocomposite de nanocristaux tin dans une matrice amorphe tib#2 permet de conclure a un mecanisme de durcissement structural.
15
Seddiki, Omar. "Dépôt d'un film mince métallique sur un liquide par le procédé d'évaporation sous vide : Une nouvelle méthode pour réaliser le miroir liquide lunaire." Thesis, Université Laval, 2010. http://www.theses.ulaval.ca/2010/27080/27080.pdf.
Full text
16
Bernard, Romain. "Nanocristaux et nanobâtonnets de CdSe déposés sous ultra-vide sur des sufaces de silicium hydrogénée, diamant hydrogénée et graphite résolues à l'échelle atomique." Paris 11, 2005. http://www.theses.fr/2005PA112183.
Full textAbstract:
Cette these s'inscrit dans le cadre d'un projet visant a utiliser un nanocristal de cdse individuel en tant que nano-source de photons excitee a l'aide des electrons issus de la pointe d'un stm. Nous avons devloppe une methode de synthese permettant d'obtenir des solutions bien purifiees de nanocristaux et de nanobatonnets de cdse. Parallelement, nous avons mis au point une methode de depot par injection pulsee sous ultra-vide permettant de deposer ces nano-objets sur les surfaces de silicium hydrogenee, diamant hydrogenee et graphite, propres et reconstruites. Grace au stm, nous avons pu verifier que ces surfaces demeurent propres et reconstruites apres le depot des nanocristaux. Nous avons egalement procede a l'observation de ces nanocristaux sur la surface de silicium hydrogenee ainsi qu'a des mesures de spectroscopie tunnel afin de caracteriser la double jonction tunnel surface-nanocristal-pointe. Grace a cette methode de depot permettant de preserver la structure et la proprete de la surface, nous avons mis en evidence un phenomene d'orientation spontanee des nanobatonnets sur les surfaces de silicium hydrogenee et de graphite. Le calcul des differentes energies d'interaction entre le nanobatonnet et la surface nous a permis de conclure que cette orientation spontanee decoule de l'interaction anisotrope des ligands des nanobatonnets avec ces surfaces. Ce phenomene montre l'interet de pouvoir deposer ces objets sur des surfaces structurees a l'echelle atomique afin de controler leur orientation via l'interaction ligand-surfaceThis thesis is the first step of a project aiming to use a single isolated nanocristal as a photon nano-source, excited by the electrons of a stm. We have developped a way to synthesize very pure solutions of cdse nanocrystals and nanorods. At the same time, we have developped a deposition method by pulsed injection under uhv, allowing to deposit these nano-objects on clean and reconstructed hydrogenated silicon, hydrogenated diamond and graphite surfaces. With the stm, we verified that these surfaces remain clean and were reconstructed after the deposition and we performed tunneling spectroscopy measurements in order to characterise the double barrier tunnel junction formed by the surface-nanocrystal-tip. Thanks to this deposition method which preserves the surface structure, we have shown that the nanorods are spontaneously orientated (with respect to the surface structure) when they are deposited on the hydrogenated silicon and graphite surfaces. We concluded from the estimation of the different interaction energies between the nanorod and the surface that this spontaneous orientation is due to the anisotropic interaction of the nanorod's ligands with these surfaces. This phenomenon shows that the deposition of such objects on atomically structured surfaces can be used to control their organisation through the ligand-surface interaction
17
Bichotte, Maxime. "Réalisation d'un absorbeur solaire sélectif pour centrale CSP associant dépôt en couches minces et texturation de surface." Thesis, Lyon, 2017. http://www.theses.fr/2017LYSES013.
Full textAbstract:
Le contexte du réchauffement climatique entraîne un développement des technologies CSP (Concentrated Solar Power). La réduction des coûts de production de ces technologies passe par une amélioration de la durabilité et de l'efficacité des composants des centrales solaires. Les températures de fonctionnement élevées du CSP (250-600°C) nécessitent d'employer des absorbeurs spectralement sélectifs afin de limiter les pertes par radiation. Cette thèse propose une architecture originale d'absorbeurs sélectifs stables à haute température sous air en combinant un dépôt de TiAlN en couches minces avec un réseau de diffraction. L'ajout d'une texturation de surface augmente l'absorption solaire du dépôt par un effet d'absorption et de gradient des indices optiques effectifs conduisant à une augmentation du rendement photothermique de l'absorbeur. Dans ce mémoire, la modélisation du comportement optique des absorbeurs texturés, les méthodes de fabrication du réseau de diffraction ainsi que le dépôt des couches minces par PVD et PECVD seront abordés et les mesures expérimentales seront comparées aux modélisations. L'analyse des absorbeurs texturés fabriqués confirme un gain de rendement photothermique pouvant atteindre +3% ainsi qu'une stabilité thermique remarquable à 500°C sous air jusqu'à 300 h de recuitThe global warming context reinforces the development of CSP technologies. Cost reduction of CSP requires the improvement of component durability and efficiency. The solar absorbers should be spectrally selective since the high working temperatures of CSP plants increase the radiative thermal losses. This thesis proposes an original, spectrally selective absorber structure combining TiAlN based coatings and diffractive gratings. The surface texturing provided by the diffractive gratings improves the solar absorption of the thin coating by an effective optical index gradation effect leading toincreased photothermal efficiency. In this thesis, the modeling of the textured absorber’s optical behavior, fabrication methods of diffractive gratings, as well as layer deposition by PVD/PECVD will be discussed. Experimental measurements will be compared to the theoretical modelling. The experimental analysis of textured absorbers confirms the increase of photothermal efficiency by almost 3%, as well as a good thermal stability at 500°C in air for 300 hours of annealing
18
Marchand, Mickaël. "Synthèse in-situ et caractérisation de nanotubes de carbone individuels sous émission de champ." Phd thesis, Université Claude Bernard - Lyon I, 2009. http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00466604.
Full textAbstract:
L'étape clé pour intégrer des nanotubes de carbone à une échelle industrielle demeure un meilleur contrôle de leur croissance et notamment le contrôle sélectif de leurs chiralités en lien avec leurs propriétés électroniques. Ce travail a pour but de s'intéresser à la synthèse in-situ et à la caractérisation de nanotubes de carbone individuels par émission de champ pour mieux comprendre les mécanismes de nucléation et de croissance qui conditionnent sa chiralité. Nous avons développé un microscope à émission de champ couplé à un réacteur CVD (Chemical Vapor Deposition) pour observer directement la croissance catalytique de nanotubes de carbone individuels sur des pointes émettrices. Nous avons ainsi découvert que les nanotubes tournent souvent axialement pendant leur croissance, soutenant ainsi un modèle de " dislocation de vis ". L'analyse détaillée des résultats obtenus montre que nous observons directement la croissance atome par atome d'un nanotube monofeuillet individuel avec ajout d'un dimère de carbone à la fois à sa base. Parallèlement, des échantillons ont été caractérisés en détail sous émission de champ. Nous avons établi un protocole de collage de nanotubes individuels à l'apex d'une pointe métallique sous microscopies optique et électronique à balayage à l'aide d'un nanomanipulateur. Leur dépendance en température à très bas courant a été mise en évidence avec un compteur d'électrons afin d'identifier les différents domaines d'émission électronique. L'analyse des distributions énergétiques a fait apparaître un phénomène de chauffage induit qui peut mener à des températures de l'ordre de 2000 K à l'extrémité du nanotube lorsqu'il est soumis à un fort champ.
19
Napolitano, Michel. "Développement d'un système de pilotage en temps réel selon une approche orientée objets, d'un bâti de dépôt sous vide utilisant la technologie DIBS : mise en oeuvre de cet outil et application à la réalisation de couches minces d'oxydes dans le cadre du projet VIRGO." Lyon 1, 1994. http://www.theses.fr/1994LYO10127.
Full text
20
Voarino, Philippe. "Lumière diffuse et microsphères multicouches : calculs et réalisations." Phd thesis, Aix-Marseille 3, 2004. http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00083581.
Full textAbstract:
Nous avons développé des codes de calcul basés sur la théorie de Mie, pour prédire la réponse angulaire et spectrale de microsphères revêtues d'empilements multicouches concentriques, diélectriques ou métalliques. L'influence des paramètres est tout d'abord analysée avec précision : effet de taille, effet du revêtement, tolérance sur le rayon... L'analogie avec les fonctions optiques classiques (antireflet, miroir, filtres, séparateurs...) a retenu notre attention, et l'on montre qu'elle existe jusqu'à des rayons de l'ordre de 3 Μm, valeur critique en dessous de laquelle les résonances prédominent. Une étude colorimétrique a également permis de quantifier nombre d'effets colorés spécifiques à ces sphères multicouches.La deuxième partie de notre travail a consisté en la réalisation des micro-composants. Pour cela nous avons entièrement mis au point une technologie de pulvérisation par faisceau d'ions (IBS), pour fabriquer des couches minces optiques métalliques ou diélectriques. Pour revêtir les microsphères, nous les animons d'un mouvement aléatoire conféré par une membrane vibrante. Les résultats montrent que notre procédé fonctionne très correctement pour une fabrication en série, ouvrant ainsi la porte à des poudres optiques interférentielles. Ensuite le problème de la caractérisation est traité à l'aide d'un diffusomètre laser et d'un spectro-diffusomètre, pour tenter de mesurer une sphère isolée ou des collections de microsphères.
De façon générale, ce travail trouve des applications dans la couleur et cosmétique, la visualisation, la furtivité et les télécom, le biomédical...
21
Fayeulle, Dominique. "Elaboration et étude de révêtements céramiques à sous-couche d'accrochage cellulaire pour la protection chimique et thermique de composants de turbomachines." Paris, ENMP, 1989. http://www.theses.fr/1989ENMP0149.
Full textAbstract:
Etude d'un nouveau procédé de fabrication des barrières thermiques fondé sur le dépôt électrophorétique d'une couche métallique (nicraly+ta) pour obtenir des sous-couches d'accrochage par aluminisation en phase vapeur avant la réalisation des barrières thermiques par projection plasma de zircone partiellement stabilisée. On analyse les propriétés des produits réalisés par ce procédé et leur potentiel d'application pour la protection des composants de turbomachines
22
Duris, Maxime. "Conception et réalisation de filtre optique multicouche à grand nombre de couches minces dans le domaine spectral de 0,3 à 15 µm." Thesis, Rennes 1, 2020. https://ged.univ-rennes1.fr/nuxeo/site/esupversions/f003f6e9-b485-44df-92bc-46b0ed838e2f.
Full textAbstract:
Les filtres optiques à grand nombre de couches minces constituent un élément clé de la performance et de l’innovation des systèmes optiques. Les revêtements de surface dédiés à l’optique sont des vecteurs de recherche dans tous les secteurs industriels associés à l’optique. La conception et la réalisation des filtres optiques multicouches à grand nombre de couches minces opérant dans le moyen infrarouge de 2 µm à 15 µm sont la problématique de recherche de ces travaux de thèse. Dans cette thèse, l’accent a été mis sur l’étude, le déploiement, l’amélioration et l’optimisation des procédures de dépôt du Sulfure de Zinc (ZnS) et de Germanium (Ge). L’optimisation des constantes optiques du Germanium en fonction des paramètres de dépôt par la méthode des plans d’expériences est présentée et discutée. Un plan d'expérience a été utilisé pour étudier et optimiser les conditions de dépôt du Germanium. Ce plan d'expérience traitait 4 paramètres de dépôt : la vitesse de dépôt, le vide avant dépôt, la pression de dépôt et l'assistance ionique (IAD) Les résultats extraits du plan d’expérience comprennent les effets importants de la vitesse de dépôt, de l’assistance ionique de compactage et de leurs interactions, l’effet dissipatif du vide avant dépôt et de la pression de dépôt dans l'enceinte de dépôt sur l’énergie de croissance de la couche mince, et l’obtention d’un ensemble de conditions de dépôt optimisées pour réaliser des couches minces de Germanium avec un indice de réfraction le plus haut possible et un coefficient d’extinction le plus bas possible. Les mises en empilement des matériaux nous ont permis de réaliser plusieurs types de filtres optiques, des revêtements antireflets de 2 µm à 14 µm composés de 2 à 11 couches minces, un miroir à 10,6 µm en 9 couches minces ou bien un filtre dichroïque composé d'un miroir de 2 µm à 5 µm et d'un revêtement antireflet de 8 µm à 14 µm constitué de 29 couches minces. Nous avons pu étudier la fiabilité et la robustesse des couches minces des matériaux améliorés et optimisésOptical filters with a large number of thin films are key elements in the performance and innovation of optical systems. The surface coatings dedicated to optics are vectors of research in all the industrial sectors associated with optics. The design and fabrication of multi-layer optical filters with large number of thin layers with applications in the mid-Infrared spectral range (from 2 µm to 15 µm) are the research problem of this thesis work. In this thesis, the focus was placed on the study, deployment, improvement and optimization of the deposition procedures of Zinc Sulphide (ZnS) and Germanium (Ge). The optimization of the optical constants of Germanium according to the deposition parameters by the design of experiments method is presented and discussed. A design of experiments (DOE) was used to study and optimize Germanium’s deposition conditions, the experiment plan dealt with 4 deposition parameters: deposition speed, pre-deposition vacuum, deposition pressure and ion assisted support (IAD). The results extracted from the DOE include the significant effects of deposition rate, IAD and their interactions, the dissipative effect of pre-deposition vacuum and deposition pressure in the deposition chamber on the growth energy of the thin layer, and a set of deposition conditions optimized to achieve thin layers of Germanium with the highest possible refractive index and extinction coefficient. The stacking of Ge and ZnS thin layers enabled us to fabricate several types of optical filters namely an antireflective coatings from 2 µm to 14 µm composed of 2 to 11 thin layers, a 9 thin-layers mirror at 10,6 µm or a dichroic filter consisting of a 2 µm to 5 µm mirror and an 8 µm to 14 µm antireflective coating consisting of 29 thin-film. Furthermore, we were able to study the reliability and robustness of the thin layers of improved and optimized materials
23
Marliere, Christian. "Structure, propriétés électriques et travail de sortie de couches doubles indium / or." Phd thesis, Université Paris Sud - Paris XI, 1985. http://pastel.archives-ouvertes.fr/pastel-00716179.
Full textAbstract:
Propriétés des électrons de conduction a l'interface de bicouches métalliques. La variation du travail de sortie lors du dépôt de in a 77k sur une couche mince d'or est modulée par des oscillations attribuées a un effet dimensionnel quantique. Mesure de la résistance électrique des bicouches in/au pendant les dépôts d'in et les traitements thermiques. On observe des augmentations irréversibles de la résistance électrique pendant les recuits, que l'on associe a des changements de structure localises a l'interface in/au. Ces changements de structure provoquent un accroissement de la diffusion des électrons de conduction a l'interface, et par conséquent une disparition des oscillations d'effet dimensionnel quantique observées pendant la croissance d'in.