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Journal articles on the topic 'Interferometrisches'

Author: Grafiati

Published: 4 June 2021

Last updated: 8 February 2022

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1

Vorbringer-Dorozhovets, Nataliya, Eberhard Manske, and Gerd Jäger. "Interferometrisches Rasterkraftmikroskop: Aufbau, messtechnische Eigenschaften und Applikationsmessungen / Interferometric atomic force microscope: design, metrological properties and application measurements." tm - Technisches Messen 85, s1 (2018): s52—s58. http://dx.doi.org/10.1515/teme-2018-0023.

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Abstract:

Zusammenfassung Der vorliegende Beitrag stellt die besonderen Merkmale, die Funktionsweise, den Aufbau, die messtechnischen Eigenschaften sowie wichtige Applikationsmessungen des interferometrischen Rasterkraftmikroskops dar. Das interferometrische Rasterkraftmikroskop dient als Antastsystem in der Nanopositionier- und Nanomessmaschine NMM-1. Sein Hauptmerkmal ist der Lagedetektor - das kombinierte Sondenmesssystem, das die gleichzeitige Erfassung der Torsion, Biegung und Position des Cantilevers mittels Lichtzeiger und Interferometer ermöglicht. Es wird das Prinzip der gleichzeitigen Erfassung von Position und Winkellage der Sonde mittels eines Interferometers und eines Lichtzeigers erläutert, die optische Anordnung vorgestellt und anschließend die durchgeführte Dimensionierung des Lagedetektors diskutiert. Außerdem widmet sich dieser Beitrag neben den messtechnischen Eigenschaften des interferometrischen Rasterkraftmikroskops auch der Kalibrierung des Antastsystems und insbesondere der Unsicherheitsanalyse einer Beispielmessung.

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2

Müller, André F., Claas Falldorf, Gerd Ehret, and Ralf B. Bergmann. "Messen von asphärischen Linsenformen mittels räumlicher Kohärenz." tm - Technisches Messen 86, no. 6 (2019): 325–34. http://dx.doi.org/10.1515/teme-2019-0025.

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Abstract:

ZusammenfassungWir zeigen den Vergleich zweier interferometrischer Verfahren zur Formprüfung anhand einer Messung an einer Zylinderlinse. Das erste Verfahren, die Multiple Aperture Shear Interferometry (MArS), basiert auf der Messung der Kohärenzfunktion mittels eines Scher-Interferometers. Es erlaubt interferometrische Messungen unter gleichzeitiger Verwendung mehrerer unabhängiger und teilkohärenter Lichtquellen, und ermöglicht so eine flexible, an den Prüfling anpassbare Ausleuchtung. Als Vergleichsverfahren kommt die Computational Shear Interferometry (CoSI) zur Messung von Wellenfronten zum Einsatz. Da beide Messverfahren auf einem Scher-Interferometer basieren, ist ein direkter Vergleich unter identischen Umgebungsbedingungen möglich.

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3

Tereschenko, Stanislav, and Peter Lehmann. "Inline-fähige Weißlichtinterferometrie mit integrierter Schwingungskompensation / Inline scanning white-light interferomety with integrated vibration compensation." tm - Technisches Messen 85, s1 (2018): s14—s20. http://dx.doi.org/10.1515/teme-2018-0025.

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Abstract:

Zusammenfassung Weißlichtinterferometer sind weit verbreitete Messgeräte zur Erfassung von 3D-Mikrotopographien. Der Einsatz solcher Messgeräte in maschinennaher Umgebung abseits schwingungsgedämpfter Labore wird durch Umgebungsschwingungen erschwert oder sogar unmöglich gemacht. In diesem Beitrag wird ein passives Kompensationsverfahren am Beispiel von zwei interferometrischen Sensoren vorgestellt, mit dem der Einfluss beliebiger sowohl periodischer als auch transienter axialer Störschwingungen auf interferometrische Weißlichtmessungen kompensiert werden kann. Durch die zeitlich hochaufgelöste Abstandserfassung eines in das Weißlichtinterferometer integrierten Abstandsinterferometers werden alle Abweichungen von dem Soll-Tiefenscanverlauf gemessen und zur Korrektur der Weißlichtinterferenzsignale verwendet. Daraus wird anschließend mit etablierten Auswertealgorithmen die Oberflächentopographie berechnet. Die Schwingungskompensation wird anhand von Vergleichsmessungen mit und ohne Störschwingungen an verschiedenen Messobjekten demonstriert.

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4

Tereschenko, Stanislav, and Peter Lehmann. "Inline-fähige Weißlichtinterferometrie mit integrierter Schwingungskompensation." tm - Technisches Messen 86, no. 4 (2019): 197–207. http://dx.doi.org/10.1515/teme-2018-0085.

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Abstract:

ZusammenfassungWeißlichtinterferometer sind weit verbreitete Messgeräte zur Erfassung von 3D-Mikrotopographien. Der Einsatz solcher Messgeräte in maschinennaher Umgebung abseits schwingungsgedämpfter Labore wird durch Umgebungsschwingungen erschwert oder sogar unmöglich gemacht. In diesem Beitrag wird ein passives Kompensationsverfahren am Beispiel von zwei interferometrischen Sensoren vorgestellt, mit dem der Einfluss beliebiger sowohl periodischer als auch transienter axialer Störschwingungen auf interferometrische Weißlichtmessungen kompensiert werden kann. Durch die zeitlich hochaufgelöste Abstandserfassung eines in das Weißlichtinterferometer integrierten Abstandsinterferometers werden alle Abweichungen von dem Soll-Tiefenscanverlauf gemessen und zur Korrektur der Weißlichtinterferenzsignale verwendet. Daraus wird anschließend mit etablierten Auswertealgorithmen die Oberflächentopographie berechnet. Die Schwingungskompensation wird anhand von Vergleichsmessungen mit und ohne Störschwingungen an verschiedenen Messobjekten demonstriert.

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5

Osten, Wolfgang, Eugenio Garbusi Garbusi, Roger M. Groves, Klaus Körner, Giancarlo Pedrini, and Christof Pruss. "Interferometrische Messtechnik." Optik & Photonik 3, no. 3 (2008): 50–56. http://dx.doi.org/10.1002/opph.201190209.

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6

Gauglitz, Günter. "Interferometrische und Evaneszentfeldsensoren." Nachrichten aus Chemie, Technik und Laboratorium 43, no. 3 (1995): 316–18. http://dx.doi.org/10.1002/nadc.19950430309.

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7

Seyler, Tobias. "3D-Inline-Messtechnik für die Werkzeugmaschine." VDI-Z 161, no. 09 (2019): 86–87. http://dx.doi.org/10.37544/0042-1766-2019-09-86.

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Abstract:

Präzisionsbauteile müssen häufig auf wenige Mikrometer genau produziert werden. Moderne Bearbeitungsmaschinen kommen dabei an ihre Grenzen. Ein neuartiger optischer Sensor sorgt für die notwendige Bauteilqualität: Der „HoloPort“ erfasst 3D-Strukturen flächig und µm-genau – direkt in der Maschine. Der Sensor ist so konzipiert, dass er zwischen zwei Bearbeitungsschritten wie ein Werkzeug von der Spindel gegriffen werden kann, um Oberflächendaten ohne neues Spannen berührungs- und kabellos zu erfassen. Seine interferometrische Genauigkeit erlaubt erstmals sogar die direkte Regelung der Werkzeugmaschine.

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8

Hüser, Lucie, and Peter Lehmann. "Resolution enhancement through nearfield-assistance in interference microscopy." tm - Technisches Messen 87, s1 (2020): s28—s33. http://dx.doi.org/10.1515/teme-2020-0013.

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Abstract:

ZusammenfassungUm die Grenzen der optischen Messtechnik zu erweitern und feinere Strukturen messbar zu machen, wurden verschiedene Systeme in der aktuellen Forschung publiziert. Es wurde gezeigt, dass im Nahfeld aufgebrachte Mikrokugeln die Auflösung eines interferometrischen Messsystems verbessern und Strukturen unterhalb Abbe’s Beugungsgrenze sichtbar machen können. In dieser Studie werden Messergebnisse mit einem hochauflösenden Linnik-Interferometer unterhalb der Auflösungsgrenze gezeigt. Des Weiteren werden simulative Analysen zum Phasenverhalten im Nahfeld der Mikrokugeln vorgestellt, um die theoretische Erklärung des superauflösenden Verhaltens von Mikrokugeln und die bildgebenden Prozesse des Systems zu ermöglichen.

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9

Seyler, T. "HoloPort – 3D-Inline-Messtechnik für die Werkzeugmaschine." wt Werkstattstechnik online 109, no. 05 (2019): 319–20. http://dx.doi.org/10.37544/1436-4980-2019-05-21.

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Abstract:

Präzisionsbauteile müssen häufig auf wenige Mikrometer genau produziert werden. Moderne Bearbeitungsmaschinen kommen dabei an ihre Grenzen. Ein neuartiger optischer Sensor des Fraunhofer-Instituts für Physikalische Messtechnik IPM sorgt für die notwendige Bauteilqualität: Der „HoloPort“-Sensor erfasst 3D-Strukturen flächig und mikrometergenau – direkt in der Werkzeugmaschine. Der Sensor ist so konzipiert, dass er zwischen zwei Bearbeitungsschritten wie ein Werkzeug von der Spindel gegriffen werden kann, um Oberflächendaten ohne neues Spannen berührungs- und kabellos zu erfassen. Seine interferometrische Genauigkeit ermöglicht erstmals sogar die direkte Regelung der Werkzeugmaschine.

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10

Berger, Reinhard, David Fleischle, Klaus Körner, et al. "Interferometrische Messung von Freiform-Schneidkanten auf einer Diamantwerkzeugbearbeitungsmaschine." tm - Technisches Messen 78, no. 10 (2011): 439–46. http://dx.doi.org/10.1524/teme.2011.0142.

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11

Wang, Fangjian, and Christian Rembe. "Entwurf eines kontaktlosen interferometrischen Dehnungssensors / Design of a contactless interferometric strain gauge." tm - Technisches Messen 85, s1 (2018): s117—s123. http://dx.doi.org/10.1515/teme-2018-0045.

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Abstract:

Zusammenfassung In diesem Beitrag wird ein interferometrischer Sensor vorgestellt, der eine mechanische Dehnung mit Hilfe einer differentiellen Laser-Doppler-Messung auf einer technischen Oberfläche kontaktlos misst und für die Betriebsfestigkeitsprüfung entworfen wurde. Der kompakte Sensor erfasst die Auslenkungen an zwei nebeneinanderliegenden Messpunkten in der Ebene senkrecht zu der durch eine Empfangslinse definierten optischen Achse (in-plane). Die Differenzauslenkung bezogen auf den konstanten Abstand der Messstellen entspricht der mittleren Dehnung zwischen beiden Messpunkten. Die Anwendung des Dehnungssensors in der Betriebsfestigkeitsprüfung erfordert eine Dynamik der Dehnung von 0,001 bis 3 Promille. Ein mathematisches Modell wurde für den Entwurf eines optimalen optischen Aufbaus und für die Ermittlung der theoretischen physikalischen Auflösungsgrenze des Sensors erarbeitet. Wir stellen in diesem Beitrag unser Modell und ein optimiertes Sensordesign vor.

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12

Wang, Fangjian, Angelina Scholz, Joachim Hug, and Christian Rembe. "Laser-Doppler-Dehnungssensor / Laser-Doppler strain gauge." tm - Technisches Messen 86, s1 (2019): 82–86. http://dx.doi.org/10.1515/teme-2019-0043.

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Abstract:

ZusammenfassungIn diesem Beitrag stellen wir einen Lasersensor vor, der die mechanische Dehnung bei der Betriebsfestigkeitsprüfung in Schwingprüfmaschinen kontaktlos misst. Die Auslenkungen an zwei nebeneinanderliegenden Messpunkten in der Dehnungsrichtung werden mit dem Sensor interferometrisch erfasst. Die Differenzauslenkung bezogen auf den Abstand der beiden Messstellen entspricht der Dehnung. Im Vergleich zum Stand der Wissenschaft zeigen wir einen verbesserten Sensoraufbau und ein erweitertes mathematisches Modell. Außerdem werden erstmals Testmessungen mit unserem Versuchsaufbau durchgeführt. Schließlich bestimmen wir den Beitrag des Rauschens, der sich mit unserer derzeitigen Signalverarbeitung ergibt. Unsere jetzige Realisierung erlaubt eine Auflösung der Dehnungsmessung von 0,02 ‰ bei einer Bandbreite von 1,25 kHz.

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Krauter, Johann, Jonas Stark, and Wolfgang Osten. "Topografiemessung an verkapselten mikroelektromechanischen Systemen mittels Kurzkohärenz-Interferometrie." tm - Technisches Messen 86, no. 6 (2019): 309–18. http://dx.doi.org/10.1515/teme-2019-0018.

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Abstract:

ZusammenfassungMikroelektromechanische Systeme (MEMS) werden heute in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt. Zur Herstellung von MEMS werden üblicherweise fotolithografische Verfahren eingesetzt. Insbesondere bei sicherheitsrelevanten MEMS, wie z. B. Airbag- oder ESP-Sensoren, ist eine 100 % Inspektion erforderlich. Nach einer optischen Inspektion der MEMS-Strukturen werden diese durch das Bonden eines Silizium-Kappenwafers geschützt. Dieses Bonding oder das anschließende Packaging kann zu einer zusätzlichen Spannung im Waferstapel führen, die die MEMS-Funktion negativ beeinflussen kann. Im Falle eines fehlgeschlagenen elektronischen Tests kann das Problem nicht lokalisiert werden, da der Kappenwafer für die gängigen optischen Oberflächensensoren undurchsichtig ist. In dieser Publikation wird die Herausforderung der optischen Topografiemessung von verkapselten MEMS-Strukturen diskutiert. Dabei werden Defekte wie Verbiegung oder Festklemmen einzelner MEMS-Finger betrachtet. Für diese Messaufgabe wird ein kurzkohärentes Interferenzmikroskop implementiert. Die Wellenlänge liegt im Short-Wave Infrarot (SWIR), da Silizium im Infraroten transparent wird. Die interferometrische Oberflächenmessung der MEMS-Strukturen wird durch den Kappenwafer stark beeinflusst. Hierfür wurden Simulationen durchgeführt, die die systematischen Messabweichungen aufgrund der Kappe zeigen. Eine Möglichkeit zur Korrektur und Reduzierung der systematischen Abweichungen wird ebenfalls beschrieben.

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14

Riebeling, Jörg, Igor Wellem, Peter Lehmann, and Gerd Ehret. "Erfassung von Formabweichungen rotierender optischer Flächen mit linien-scannendem Interferometer, Echtzeitauswertung und Achsabweichungskompensation / Detection of form deviations of rotating optical surfaces with line-scanning interferometer, real-time evaluation and compensation of scan axis deviations." tm - Technisches Messen 86, s1 (2019): 92–96. http://dx.doi.org/10.1515/teme-2019-0049.

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Abstract:

ZusammenfassungIm Rahmen dieses Beitrages wird die Weiterentwicklung eines Michelson-Interferometer- Aufbaus [3, 4] zur Messung von Formabweichungen rotierender Messobjekte vorgestellt. Das Interferometer nutzt eine sinusförmige Weglängenmodulation im Referenzarm, um Oberflächen rotierender Messobjekte mithilfe einer Zeilenkamera zu erfassen. Der Sensor wurde um zwei zusätzliche interferometrisch messende Punktsensoren erweitert, welche gegenüber einer bekannten Referenzfläche sowohl stochastische als auch systematische Abweichungen der Rotationsbewegung mit einer minimalen Messunsicherheit von unter 1nm erfassen können [7, 8] und so den Einsatz einer kostengünstigen Rotationsachse ermöglichen. Aus den Messdaten der Punktsensoren werden in Echtzeit relative Abstandswerte errechnet. Diese werden gespeichert und nach der Messung zur Korrektur der ebenfalls in Echtzeit ermittelten Höhenwerte des Liniensensors verwendet. Ergebnisse einer Messung unter Verwendung einer Rotationsachse mit starken stochastischen Höhenabweichung werden sowohl mit als auch ohne Korrektur anhand der Punktsensorergebnisse gezeigt. Ein optimiertes mechanisches Design wird vorgestellt, welches durch eine reduzierte Anzahl mechanischer Komponenten die Empfindlichkeit des Sensors gegen äußere Störeinflüsse reduziert.

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15

Meixner, Andreas, Andreas Purde, Hans Schweizer, et al. "Methoden der interferometrischen Formerfassung nicht-ruhender technischer Oberflächen (Methods for Interferometric Contour Measurement of Non Stationary Technical Surfaces)." tm - Technisches Messen 71, no. 4-2004 (2004): 211–17. http://dx.doi.org/10.1524/teme.71.4.211.30453.

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Härtig, Frank, and Karin Kniel. "Universelles Verfahren zur interferometrischen Messung von Längen und Durchmessern auf KMG (Universal Method for Interferometric Measurements of Lengths and Diameters on CMM)." tm – Technisches Messen 74, no. 1 (2007): 1–4. http://dx.doi.org/10.1524/teme.2007.74.1.1.

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17

Kallmeyer, F., G. Wernicke, S. Krüger, H. Gruber, W. Osten, and D. Kayser. "Optische Verarbeitung von interferometrischen Streifenbildern und die Fehlererkennung durch Wavelet-Filterung (Optical Processing of Interferometric Fringes and Detection of Faults by Wavelet Filtering)." tm - Technisches Messen 70, no. 2-2003 (2003): 66–70. http://dx.doi.org/10.1524/teme.70.2.66.20110.

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18

Forsyth, P. J. E. "An Interferometric Examination of the Oxide/Metal Interface and the Coating Surface after Anodising an Aluminium Alloy with Differing Microstructures and Surface Finish. Part 1. Metallographically Polished Surfaces. / Eine interferometrische Untersuchung der Oxid/Metall-Grenzfläche und der Schichtoberfläche nach Eloxieren einer Aluminiumlegierung mit unterschiedlichem Gefüge und Oberflächenbehandlung Teil 1. Metallographisch polierte Oberflächen." Practical Metallography 37, no. 5 (2000): 241–60. http://dx.doi.org/10.1515/pm-2000-370504.

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Forsyth, P. J. E. "An Interferometric Examination of the Oxide/Metal Interface and the Coating Surface after Anodising an Aluminium Alloy with Differing Microstructures and Surface Finish. Part 2. Machined Surfaces, and some Effects of Post-Machining Finishing. / Eine interferometrische Untersuchung der Oxid/Metall-Grenzfläche und der Schichtoberfläche nach Eloxieren einer Aluminiumlegierung mit unterschiedlichem Gefüge und Oberflächenbehandlung Teil 2. Mechanisch behandelte Oberflächen und dadurch hervorgerufene Endbearbeitungseffekte." Practical Metallography 37, no. 6 (2000): 326–46. http://dx.doi.org/10.1515/pm-2000-370604.

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20

Welter, Matthias, Eberhard Manske, and Gerd Jäger. "Interferometrischer Sensor und interferometrisches Kalibriersystem für Ultrapräzisions-Anwendungen (Interferometric Sensor and Calibration System for High-Precision Applications)." tm - Technisches Messen 72, no. 10/2005 (2005). http://dx.doi.org/10.1524/teme.2005.72.10_2005.566.

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21

Hellmuth, Thomas. "Interferometrisches Verfahren zur Bestimmung der Dispersion von optischen Gläsern." tm - Technisches Messen 65, no. 4 (1998). http://dx.doi.org/10.1524/teme.1998.65.4.142.

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22

Gräbel, H., and G. Nitsch. "Interferometrisches Echtzeitwegmeßsystem mit vollständig dielektrischem, integriert optischem Sensorkopf / Interferometric realtime distance measurements with an all dielectric sensor head based on integrated optics." tm - Technisches Messen 58, JG (1991). http://dx.doi.org/10.1524/teme.1991.58.jg.165.

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23

Büchner, H., and G. Jäger. "Interferometrisches Meßverfahren zur berührungslosen und quasi punktförmigen Antastung von Meßoberflächen / Interferometric measuring technique for the contactless and quasi-pointlike scanning of measuring surfaces." tm - Technisches Messen 59, no. 2 (1992). http://dx.doi.org/10.1524/teme.1992.59.2.43.

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24

"Highspeed- Verzahnungsmessung." VDI-Z 162, no. 12 (2020): 16–17. http://dx.doi.org/10.37544/0042-1766-2020-12-16.

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Abstract:

Eine neuentwickelte Produktreihe an interferometrischen optischen Sensoren verändert seit Kurzem die Art und Weise, wie Messtechnik im Qualitätssicherungsprozess eingesetzt werden kann – insbesondere bei Verzahnungen.

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25

Puder, Joachim, Klaus Körner, Andreas Krahn, and Holger Fritz. "Formmeßgerät mit interferometrischem Streifengenerator." tm - Technisches Messen 62, JG (1995). http://dx.doi.org/10.1524/teme.1995.62.jg.328.

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26

"Verformungen interferometrisch messen." Materials Testing 32, no. 6 (1990): 180. http://dx.doi.org/10.1515/mt-1990-320611.

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27

Jäger, Gerd. "Herausforderungen und Grenzen der interferometrischen Präzisionsmesstechnik." tm - Technisches Messen 78, no. 3 (2011). http://dx.doi.org/10.1524/teme.2011.0122.

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28

Abou-Zeid, Ahmed, and Peter Wiese. "Diodenlaser-Refraktometer für die interferometrische Längenmeßtechnik." tm - Technisches Messen 65, no. 3 (1998). http://dx.doi.org/10.1524/teme.1998.65.3.91.

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29

Singer, Ferdinand. "Mess- und Analysemethoden in der Laserakustik bei breitbandiger Laseranregung." tm - Technisches Messen 82, no. 1 (2015). http://dx.doi.org/10.1515/teme-2014-0030.

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Abstract:

ZusammenfassungIn dieser Arbeit werden verschiedene Methoden zur Messung und Auswertung von akustischen Oberflächenwellen vorgestellt. Allen Methoden wird die breitbandige Laseranregung und interferometrische Detektion der Ultraschallwellen zu Grunde gelegt. Jede der vorgestellten Methoden ist besonders für eine bestimmte Aufgabenstellung geeignet. Die Messprinzipien werden zunächst theoretisch behandelt und danach mithilfe eines laserakustischen Versuchsaufbaus praktisch angewandt. Im experimentellen Teil der Arbeit wurden Polymer- und Nickelbeschichtungen sowie Risse in Aluminiumplatten vermessen.

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Köchert, Paul, Jens Flügge, Rainer Köning, Christoph Weichert, and Eberhard Manske. "Ultra-präzise Lageregelung mittels interferometrischer Positionsdetektion und Tauchspulenantrieb." tm - Technisches Messen 81, no. 6 (2014). http://dx.doi.org/10.1515/teme-2014-0404.

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Ullmann, Vinzenz, Michael Kühnel, and Eberhard Manske. "Interferometrische Rundlauffehlerbestimmung von Drehtischen für die optische Rundheitsmessung." tm - Technisches Messen 82, no. 6 (2015). http://dx.doi.org/10.1515/teme-2015-0021.

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Abstract:

ZusammenfassungFür hochgenaue Rundheitsmessungen an Lehrringen müssen systematische Fehlereinflüsse untersucht und erfasst werden. Dies gilt auch für den Rundlauffehler eines Drehtisches, welcher in Messsystemen für die Rundheits- und Zylinderformmessung eingesetzt wird. Für den Ansatz der interferenzoptischen Rundheitsmessung wurde ein kontaktfreies Antastsystem mit zwei integrierten Planspiegelinterferometern am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik entwickelt und getestet. Mit einer maximalen Auflösung von bis zu 20 pm ist es möglich, den Rundlauffehler eines Drehtisches mit Luftlagern hochgenau zu bestimmen. Mit einem etablierten Auswerteverfahren in Kombination mit dem neuen interferometrischen Messsystem konnte ein maximaler Rundlauffehler von 537.5 nm bestimmt werden. Die mittlere Reproduzierbarkeit liegt in den durchgeführten Versuchen bei 31.3 nm. Diese Reproduzierbarkeit schließt nicht nur die Reproduzierbarkeit der Rundlaufmessung ein, sondern beinhaltet auch den Rundlauf des Drehtisches. Dass die Rundlaufwerte im Experiment eine solche Reproduzierbarkeit aufweisen, liegt an der rückwirkungsfreien Struktur des Messaufbaus. Weder das Messsystem selbst noch die notwendigen technischen Strukturen zur Lehrringausrichtung sollten den Drehtischrundlauf beeinflussen.

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Laubach, Sören, Gerd Ehret, Peter Lehmann, and Jörg Riebeling. "Interferometrischer Liniensensor zur Formmessung von rotationssymmetrischen optisch glatten Oberflächen." tm - Technisches Messen 84, no. 3 (2017). http://dx.doi.org/10.1515/teme-2016-0067.

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Abstract:

ZusammenfassungEs wird ein neuartiges Formmesssystem basierend auf einem interferometrischen Liniensensor vorgestellt. Der Liniensensor wird mit einem Bewegungssystem so nachgeführt, dass die Beleuchtungsstrahlen möglichst senkrecht zur Prüflingsoberfläche stehen. Das linienbasierte Formmesssystem bietet die Möglichkeit einer schnellen und flexiblen Messung. In den Überlappbereichen sind redundante Informationen enthalten, die zu einer genaueren Auswertung führen als bei einem Punktsensor. Die Formmessung mit Punktsensoren ist langsam, und die Genauigkeit ist durch das Bewegungssystem limitiert, da die Bewegungsachsen systematische und zufällige Führungsfehler haben. Diese Führungsfehler können nicht ohne Weiteres eliminiert werden und führen deshalb zu einer erhöhten Messunsicherheit bei der Formmessung. Bei vollflächig messenden Systemen werden i. Allg. sehr große Optiken benötigt, die mit hohen Kosten verbunden sind. In diesem Beitrag wird der Aufbau des linienbasierten Systems und exemplarisch einige Messergebnisse vorgestellt.

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Hintze, Wolfgang, Matthias Hackel, and Dieter Weichert. "Holographisch-interferometrische Untersuchungen der Mikroverschie bungen in Composite Materialien." tm - Technisches Messen 65, no. 10 (1998). http://dx.doi.org/10.1524/teme.1998.65.10.339.

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Abou-Zeid, Ahmed, and Frank Imkenberg. "Abstimmbare und frequenzstabilisierte 633-nm-Diodenlaser für die interferometrische Längenmeßtechnik." tm - Technisches Messen 65, no. 4 (1998). http://dx.doi.org/10.1524/teme.1998.65.4.147.

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Osten, Wolfgang, and Werner Jüptner. "Messtechnik im Zeitalter der Globalisierung: Objektvergleich über große Entfernungen mit interferometrischer Empfindlichkeit." tm - Technisches Messen 73, no. 3/2006 (2006). http://dx.doi.org/10.1524/teme.2006.73.3.117.

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Höfler, H., J. Molnar, CI Schröder, and Κ. Kulmus. "Interferometrische Wegmessung mit automatischer Brechzahlkompensation / Interferometric displacement measurement with automatic compensation of refractive index fluctuations." tm - Technisches Messen 57, JG (1990). http://dx.doi.org/10.1524/teme.1990.57.jg.346.

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37

Zipser, L., S. Lindner, and R. Behrendt. "Interferometrische Messung und Visualisierung von Schallwellen und Turbulenzen (Interferometric Measurement and Visualisation of Acoustic Waves and Vortexes)." tm Technisches Messen 69, no. 6/2002 (2002). http://dx.doi.org/10.1524/teme.2002.69.6.275.

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Bräuer, T., and K. D. Salewski. "Thermisch durchstimmbare monolithische Miniatur-Festkörperlaser für die interferometrische Messtechnik (Thermal Tunable Monolithic Miniature Solid State Lasers for Interferometric Measuring)." tm Technisches Messen 67, no. 1/2000 (2000). http://dx.doi.org/10.1524/teme.2000.67.1.27.

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Nicolaus, A., G. Bönsch, and C. S. Kang. "Interferometrische Kalibrierverfahren für die Schrittweitensteuerung eines Phasenverschiebeinterferometers (Interferometric Calibration Procedures of the Step-Width Control of a Phase-Stepping Interferometer)." tm Technisches Messen 67, no. 7-8/2000 (2000). http://dx.doi.org/10.1524/teme.2000.67.7-8.328.

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Spur, G., L. Nyársik, and A. Krahn. "Interferometrische Messung der Form, Welligkeit und Rauheit feinbearbeiteter Oberflächen/ Interferometric measurement of form, waviness and roughness of fine-machined surfaces." tm - Technisches Messen 59, no. 11 (1992). http://dx.doi.org/10.1524/teme.1992.59.11.423.

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Konz, W., and Η. Wölfelschneider. "Interferometrische Brechzahlmessung in Flüssigkeiten mittels integriert optischem Sensorkopf / Interferometric estimation of refractive indices of fluids with an integrated optical sensor head." tm - Technisches Messen 57, JG (1990). http://dx.doi.org/10.1524/teme.1990.57.jg.351.

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Eder, Cornelia, and Antonio Delgado. "Interferometrische Messung der Dichte wässriger Lösungen unter Ultra-Hochdruck (Interferometric Measurement of the Density of Aqueous Solutions under Ultra-High Hydrostatic Pressure)." tm – Technisches Messen 74, no. 2 (2007). http://dx.doi.org/10.1524/teme.2007.74.2.45.

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Bayer, Christian, Andreas Voigt, Katsuaki Shirai, Lars Büttner, and Jürgen Czarske. "Interferometrischer Laser-Doppler-Feldsensor zur Messung der Geschwindigkeitsverteilung von komplexen Strömungen (Interferometric Laser Doppler Field Sensor for the Measurement of the Velocity Distribution of Complex Flows)." tm – Technisches Messen 74, no. 4 (2007). http://dx.doi.org/10.1524/teme.2007.74.4.224.

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