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  1. Dissertations / Theses

Academic literature on the topic 'Magnetronsputtern'

Author: Grafiati
Published: 4 June 2021
Last updated: 13 February 2022

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Dissertations / Theses on the topic "Magnetronsputtern"

1

Ruske, Florian. "Magnetronsputtern von hochleitfähigen ZnO:Al-Schichten für die Photovoltaik." Stuttgart Fraunhofer-IRB-Verl, 2009. http://d-nb.info/993460631/04.

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2

Schulze, Matthias. "Physikalische Vorgänge in gepulsten Magnetronentladungen." [S.l. : s.n.], 2001. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=96291293X.

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3

Abu, Shgair Khaleel. "New possibilities for building high-vacuum chambers using glued aluminum plates and application to sputtered nanocomposite coatings." [S.l. : s.n.], 2002. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=966505174.

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4

Erdle, Anja. "PVD-Abscheidung niedrigschmelzender Lotsysteme mit Hilfe aktiver Substratkühlung zum Einsatz in der Mikrosystemtechnik /." Aachen : Mainz, 2006. http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&doc_number=014900796&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA.

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5

Pflug, Andreas. "Simulation des reaktiven Magnetron-Sputterns /." Stuttgart : Fraunhofer-IRB-Verl, 2007. http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?id=2938746&prov=M&dok_var=1&dok_ext=htm.

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6

Pritschow, Marcus. "Titannitrid- und Titan-Schichten für die Nano-Elektromechanik." [S.l. : s.n.], 2007. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:93-opus-30574.

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7

Bagcivan, Nazlim. "Entwicklung von EB-PVD-Wärmedämmschichten auf Lanthanzirkonatbasis und gesputterten Oxidationsschutzschichten für den Einsatz auf intermetallischen Ni-Basislegierungen." Aachen Shaker, 2008. http://d-nb.info/993088198/04.

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8

Kleinhempel, Ronny. "Untersuchungen zum Cross-Magnetron-Effekt bei der reaktiven Indium-Zinnoxid-Abscheidung." Doctoral thesis, [S.l. : s.n.], 2008. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200800783.

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9

Liebig, Bernd. "Untersuchung der lokalen Anregung einer gepulsten Magnetronentladung mittels optischer Emissionsspektroskopie und Abel-Inversion." Master's thesis, [S.l. : s.n.], 2009. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200900036.

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10

Nobis, Frank. "Charakterisierung von a-Si:H/c-Si-Heterokontakten und dünnen Schichten aus hydrogenisiertem amorphem Silizium, hergestellt mittels gepulstem DC-Magnetronsputtern." Doctoral thesis, Universitätsbibliothek Chemnitz, 2013. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-127840.

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Abstract:
Dünne Schichten aus hydrogenisiertem amorphem Silizium a-Si:H spielen für die Photovoltaik eine wichtige Rolle. Einerseits kommt für die Dünnschicht-Photovoltaik unterschiedlich dotiertes a-Si:H in den Schichten einer p-i-n-Solarzelle zur Anwendung, andererseits stellen Heterokontakt-Solarzellen aus amorphem und kristallinem Silizium (a-Si:H/c-Si) wegen ihres hohen Wirkungsgrades derzeit ein sehr aktuelles Forschungsthema dar. Die Abscheidung der a-Si:H-Schichten im Rahmen dieser Arbeit erfolgt mit der Methode des Magnetronsputterns (Kathodenzerstäubung). Dieses für die in-line-Beschic
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