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Dissertations / Theses on the topic 'Microsystèmes fluidiques'

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Méry, Emeline. "Intégration du silicium poreux dans des microsystèmes fluidiques : application aux laboratoires sur puce." Lyon, INSA, 2006. http://theses.insa-lyon.fr/publication/2006ISAL0086/these.pdf.

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Abstract:
L’intégration du silicium poreux (SiP) dans des microsystèmes fluidiques est réalisée afin d’exploiter sa grande surface spécifique comme phase stationnaire pour le tri moléculaire dans des laboratoires sur puce. La perméabilité aux liquides de membranes en SiP est déterminée. La filtration stérique de particules de 50 nm à travers une membrane en SiP est démontrée. Après une étude de l’oxydation à 300°C du SiP et de la densification de l’oxyde à 500°C ou 700°C, plusieurs méthodes de fonctionnalisation de surface du SIP avec des groupements (ioniques, C18, calixarènes et protéines IgG) sont mises au point. Des simulations et des mesures microfluidiques sur des microcanaux porosifiés et non, montrent que les écoulements suivent la loi de Navier-Stokes. Des caractérisations électriques et des simulations de la répartition des lignes de champ dans une puce contenant un microcanal poreux fonctionnalisé montrent la possibilité d’utiliser le SiP dans un système de séparation électrophorétique<br>The integration of porous silicon (PS) in fluidic microsystems is carried out in order to exploit its great surface as stationary phase for the molecular sorting in labs-on-chip. The liquid permeability of PS membranes is determined. The steric filtration of particles of 50 nm through a PS membrane is pointed out. After a study of PS oxidation at 300°C and of oxide densification at 500°C or 700°C, several methods of functionalisation of PS surface with various groups (ionic, C18, calixarenes and IgG proteins) are developed. . Microfluidic measurements and simulations on porosified (or not) microchannels show that flows follow the Navier-Stokes law. Electrical characterizations and simulations of electric field distribution in a chip containing a porous microchannel show the possibility of using PS in an electrophoretic separation system
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Caron, François. "Développement de microsystèmes fluidiques à électromouillage pour l'analyse de protéines par spectrométrie de masse MALDI." Lille 1, 2007. https://pepite-depot.univ-lille.fr/RESTREINT/Th_Num/2007/50376-2007-43.pdf.

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Abstract:
Le présent travail a consisté à réaliser un microsystème pour l'analyse MALDI. Le prototype comporte la cible MALDI et trois modules intégrés pour la préparation de l'échantillon constitué d'un mélange simple de protéines : un module d'affinité pour le tri d'une protéine ciblée; un module de digestion pour fragmenter cette protéine en peptides; un module de dessalage pour l'amélioration du rapport signal/bruit du spectre de masse. Nous avons opté pour une microfluidique digitale où des gouttes de l'ordre du microlitre servent au transport des analytes et des différents tampons ou encore de la matrice sur la cible. L'actuation des gouttes est réalisée par électromouillage sur diélectrique. Les tests effectués permettent de valider le fonctionnement microfluidique du lab-on-a-chip. Nous avons proposé une structure originale pour le traitement sur des microzones bioactives 2D implantées dans des ouvertures spécifiques. Un protocole technologique de réalisation de ces ouvertures dans une couche de téflon AF® sans modifier les propriétés d'hydrophobicité et d'hystérésis du Téflon AF® a été développé. On obtient ainsi des zones sur lesquelles une chimie de fonctionnalisation de surface peut être effectuée ce qui permet l'intégration des trois modules de préparation de l'échantillon. Les spectres MALDI montrent la faisabilité de chacune de ces opérations de traitement. Le déplacement par électromouillage d'une goutte d'échantillon biologique qui interagit avec une surface fonctionnalisée a alors été réalisé validant ainsi les aspects microfluidiques. On détaille les solutions technologiques originales mises en œuvre et l'architecture finale proposée pour le Lab-on-a-chip.
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Viard, Romain V. J. "Dispositifs fluidiques de contrôle actif d'écoulements à base de microsystèmes magnéto-électro-mécanique (MMEMS) : (conception, réalisation, tests)." Phd thesis, Ecole Centrale de Lille, 2010. http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00665215.

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Abstract:
Dans ce mémoire, une étude des conditions de contrôles d'écoulements aérodynamiques par des réseaux de générateurs de tourbillons fluidiques pulsés est menée pour établir un cahier des charges des micro-actionneurs instrumentés de faible coût, indispensables à la réalisation de ce type de contrôle actif à l'échelle industrielle. Une discussion des problématiques rencontrées dans la mise en place de ces dispositifs permet de définir des solutions techniques pertinentes. Une micro-valve encapsulée, constituée d'un canal micro-fluidique en silicium dont l'ouverture est contrôlée par un résonateur annulaire en PDMS, actionnée par différents dispositifs macroscopiques magnétiques, est alors modélisée, fabriquée et caractérisée. Le dispositif permet de générer des jets d'air pulsés complètement contrôlés jusqu'à des vitesses de 150m/s sur la gamme de fréquence [0 ; 500 Hz]. Des réseaux de ces micro-actionneurs polyvalents sont ensuite utilisés en soufflerie pour démontrer sur différents profils aérodynamiques classiques l'intérêt du contrôle par jet pulsé. Le recollement du flux d'air décollé est obtenu sur chacune de ces maquettes pour des conditions réalistes et avec un rendement fluidique supérieur à celui des jets continus.Un débitmètre massique composé d'un capteur de température, d'un capteur de frottement pariétal et d'un capteur de pression de type Pirani, réalisés dans le même procédé de fabrication, est intégré au micro-actionneur. Il permet de caractériser in-situ les jets d'air produits.Enfin un prototype répondant complètement au cahier des charges industriel est obtenu. Sa taille est minimisée par l'optimisation de l'actionneur grâce à un algorithme génétique
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Mekkaoui, Samir. "Développement de polymères composites auto-organisés pour la mise en œuvre de fonctions magnétiques en microsystèmes fluidiques." Thesis, Lyon, 2019. http://www.theses.fr/2019LYSE1317.

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Abstract:
Le travail présenté dans cette thèse s'inscrit dans la dynamique du développement de laboratoires sur puce intégrant des fonctions magnétiques. Nous avons ainsi développé une nouvelle technologie, non conventionnelle, basée sur l'approche composite, pour intégrer des réseaux de micro-pièges magnétiques en microsystème. Le polymère composite i-PDMS, consistant en une matrice de polydimethylsiloxane (PDMS) dopée au carbonyle de fer (Fe-C), présente des propriétés magnétiques tout en préservant ses propriétés de microfabrication par lithographie douce. Il présente également l'avantage de pouvoir être collé de manière covalente sur du verre ou du PDMS et répondre donc à la problématique d'intégration hétérogène de matériaux métalliques dans des systèmes polymères. Le i-PDMS peut être par ailleurs microstructuré via l'application d'un champ magnétique pendant sa réticulation. Ce matériau polyvalent présente des propriétés magnétiques modulables selon l'organisation et la concentration des particules magnétiques. Le manuscrit présente d'abord un état de l'art des fonctions magnétophorétiques en microsystème, notamment une description des différentes approches technologiques et des mises en œuvre en microsystème. Une seconde partie sera dédiée à la caractérisation des propriétés physiques et morphologiques du i-PDMS microstructuré. Un modèle théorique est ensuite développé par simulations par éléments finis (COMSOL®) pour estimer les forces magnétiques générées en microsystème. Les travaux permettant la mesure des forces magnétiques par microscopie à force atomique à sonde colloïdale sont ensuite présentés. Finalement, les performances des membranes de i-PDMS mise en œuvre comme réseaux de micropièges magnétiques en microsystème fluidique sont caractérisées<br>This thesis work aims to develop Lab-On-Chip systems embedding magnetic functions. Here we report a novel, unconventional technology based on a composite polymer approach to integrate arrays of magnetic micro traps in microsystems. The composite polymer i-PDMS, consisting in a polydimethylsiloxane (PDMS) matrix combined with carbonyl iron (Fe-C) particles, exhibit magnetic properties while preserving the possibility of using soft lithography. It also can be covalently bonded to glass or PDMS, answering the problem of heterogeneous integration of metal-based materials in polymeric systems. Also, i-PDMS microstructure can be controlled by applying a magnetic field during its curing process. Such polyvalent material displays tunable magnetic properties according its inner organization or the concentration in magnetic powders. The manuscript starts with a presentation of the state of the art regarding magnetophoretic functions in microsystems, especially the classical fabrication process involved. A second part will be dedicated to the characterization of the i-PDMS physical and morphological properties. A theoretical model is then developed using finite element simulations to estimate the magnetic force generated by such array of micro traps. The experimental measurements of the magnetic force using an atomic force microscope are then presented. Finally, the i-PDMS membranes performances are characterized when implemented in microfluidic devices
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Viard, Romain. "Dispositifs fluidiques de contrôle actif d’écoulements à base de microsystèmes magnéto-électro-mécanique (MMEMS) : (conception, réalisation, tests)." Thesis, Ecole centrale de Lille, 2010. http://www.theses.fr/2010ECLI0003/document.

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Abstract:
Dans ce mémoire, une étude des conditions de contrôles d’écoulements aérodynamiques par des réseaux de générateurs de tourbillons fluidiques pulsés est menée pour établir un cahier des charges des micro-actionneurs instrumentés de faible coût, indispensables à la réalisation de ce type de contrôle actif à l’échelle industrielle. Une discussion des problématiques rencontrées dans la mise en place de ces dispositifs permet de définir des solutions techniques pertinentes. Une micro-valve encapsulée, constituée d’un canal micro-fluidique en silicium dont l’ouverture est contrôlée par un résonateur annulaire en PDMS, actionnée par différents dispositifs macroscopiques magnétiques, est alors modélisée, fabriquée et caractérisée. Le dispositif permet de générer des jets d’air pulsés complètement contrôlés jusqu’à des vitesses de 150m/s sur la gamme de fréquence [0 ; 500 Hz]. Des réseaux de ces micro-actionneurs polyvalents sont ensuite utilisés en soufflerie pour démontrer sur différents profils aérodynamiques classiques l’intérêt du contrôle par jet pulsé. Le recollement du flux d’air décollé est obtenu sur chacune de ces maquettes pour des conditions réalistes et avec un rendement fluidique supérieur à celui des jets continus.Un débitmètre massique composé d’un capteur de température, d’un capteur de frottement pariétal et d’un capteur de pression de type Pirani, réalisés dans le même procédé de fabrication, est intégré au micro-actionneur. Il permet de caractériser in-situ les jets d’air produits.Enfin un prototype répondant complètement au cahier des charges industriel est obtenu. Sa taille est minimisée par l’optimisation de l’actionneur grâce à un algorithme génétique<br>This thesis starts with a study of aerodynamic flow control conditions by arrays of pulsed fluidic vortex generators. Detailed specifications are synthesised for the conception of low cost, sensors equipped, micro-actuators required to manage industrial scale active flow control experiments. Devices implementation is discussed to define relevant technical solutions.A packaged micro valve is modelled, fabricated and characterized. It is composed of a micro fluidic channel modulated by an annular membrane resonator made of PDMS. The membrane is controlled by different kinds of magnetic actuation. Fully controlled pulsed air jets are obtained in the frequency range [0; 500 Hz] with velocities up to 150 m/s. Arrays of these micro actuators are used in wind tunnel experiments to demonstrate the ability of pulsed jet to manage control on a wide range of classical separated flows. Reattachment is achieved under industrial flow conditions with improved fluidic yield compared to continuous jets.A mass flow meter constituted of a thermal sensor, a shear flow sensor and a Pirani pressure sensor, all of them built in a single fabrication step, is integrated in the micro-actuator. It allows in-situ characterization of the produced air jets.Finally, a fully satisfying demonstrator is obtained. Its sized is minimized through the use of a genetic algorithm
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Roux, Jean-Maxime. "Variations autour d'une goutte et d'une électrode : exploration de la troisième dimension dans un labopuce." Grenoble INPG, 2007. http://www.theses.fr/2007INPG0069.

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Abstract:
Cette thèse est consacrée au comportement de gouttes conductrices plongées dans un fluide isolant, à partir de forces électroquasistatiques exercées aux interfaces fluide/fluide; sont visés les microsystèmes fluidiques. Un mode original de déplacement de gouttes, transversal aux électrodes planes délimitant ces microsytèmes, est proposé. Les deux étapes clefs du procédé, le détachement puis le transfert, sont étudiées de façon approfondie, tant sur le plan théorique qu'expérimental. Les modèles existant pour des billes solides sont rappelés puis étendus au cas de gouttes en prenant en compte le mouillage et, pour la première fois, la déformation. Les expériences réalisées illustrent et confirment les modèles développés. Ce mode de déplacement transversal est intégré à un composant microfluique standard qui permet par ailleurs le déplacement planaire de gouttes par électromouillage. Le travail fondamental mené conduisit également à l'ébauche d'un nouveau procédé de déplacement planaire par bonds successifs<br>This thesis deals with the behavior of conducting droplets in a dielectric liquid by the mean of electrostatic forces exerted on the fluid/fluid interfaces; fluidic microsystems are concerned. A new way to displace droplets, perpendicularly to the plane electrodes surrounding theses microsystems, is exposed. The keys of the concept, which are the droplet detachment and its transfer from a conductive plate to another, are studied in details from both theoretical and experimental points of view. Models describing conducting balls behavior are recalled and extended to describe droplets behavior by taking into account the wetting, and for the first time, the droplet's deformation. The experiments illustrate and confirm the new models. This new displacement is integrated into a standard droplet-based microfluidic system which drives droplets by electrowetting on a planar array. The study of the droplet behaviour led also to the concept of droplets levitation by the mean of successive bounces
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Chevalier, Julien. "Etude de la rhéologie de nanofluides soumis à de très forts taux de cisaillement à l'aide de microsystèmes fluidiques." Phd thesis, Université Joseph Fourier (Grenoble), 2008. http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00348187.

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Abstract:
L'objectif de cette thèse a été d'étudier, sous différentes conditions d'écoulement, la rhéologie et l'électrorhéologie de suspensions de nanoparticules (taille comprise entre 10 nm et 200 nm) appelées plus couramment nanofluides, afin de quantifier l'importance des principaux paramètres impliqués dans la valeur de leur viscosité. Une approche inédite, la rhéologie à très fort taux de cisaillement, a permis de distinguer pour les nanofluides le régime d'agrégation péricinétique dominé par le mouvement Brownien, du régime d'agrégation orthocinétique dominé par les interactions hydrodynamiques. La transition entre ces deux régimes a pu être atteinte grâce à la conception de microrhéomètres capillaires à capteurs de pression intégrés, dont la réalisation ont constitué une partie importante de ce travail. Les résultats de ces recherches mettent en évidence une corrélation entre l'augmentation du nombre de Peclet Pe quantifiant l'importance des interactions hydrodynamiques par rapport aux interactions Browniennes et la taille des agrégats au passage de la transition Pe=1. Des conclusions nettes ont été tirées sur la prépondérance du rôle des agrégats dans la rhéologie des nanofluides et sur l'influence des conditions d'écoulement sur leur forme.
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Pinon, Stéphane. "Etude de la reconfigurabilite de circuits RF par des réseaux fluidiques. Conception et fabrication de microsystèmes, intégrés sur substrat souple." Phd thesis, Université Paul Sabatier - Toulouse III, 2012. http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00781783.

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Abstract:
La microfluidique est un domaine relativement récent, elle est réellement apparue qu'au début des années 90. Mais ce domaine a connu une très forte progression et a atteint une certaine maturité qui lui permet d'intervenir dans un large spectre d'applications, chimiques, biologiques, génomiques, optiques... Cet essor a été permis par le développement de technologiques spécifiques et particulièrement par les technologies polymères. Le travail de thèse présenté ici s'appuie donc sur le savoir-faire technologique du laboratoire en microfabrication pour réaliser un couplage entre la microfluidique et les hyperfréquences et ainsi élargir encore un peu plus son spectre d'application. Un des challenges actuels pour les circuits d'émissions-réceptions est la miniaturisation des éléments passifs reconfigurables. Des filtres accordables grâce à des moyens microfluidique ont donc été étudiés de la conception à la caractérisation, en passant par un important travail de fabrication. Celui-ci est basé sur la technique de laminage de film sec de SU-8 et a permis d'intégrer des canaux microfluidiques aux substrats de filtres micro-rubans. La circulation d'eau distillée a montré de très bons résultats en termes de décalages de la fréquence centrale. D'autres pistes d'interactions liquides-micro-ondes sont également présentées telles qu'une utilisation de filtres comme capteur d'élément chimiques ou biologiques.La microfluidique est un domaine relativement récent, elle est réellement apparue qu'au début des années 90. Mais ce domaine a connu une très forte progression et a atteint une certaine maturité qui lui permet d'intervenir dans un large spectre d'applications, chimiques, biologiques, génomiques, optiques... Cet essor a été permis par le développement de technologiques spécifiques et particulièrement par les technologies polymères. Le travail de thèse présenté ici s'appuie donc sur le savoir-faire technologique du laboratoire en microfabrication pour réaliser un couplage entre la microfluidique et les hyperfréquences et ainsi élargir encore un peu plus son spectre d'application. Un des challenges actuels pour les circuits d'émissions-réceptions est la miniaturisation des éléments passifs reconfigurables. Des filtres accordables grâce à des moyens microfluidique ont donc été étudiés de la conception à la caractérisation, en passant par un important travail de fabrication. Celui-ci est basé sur la technique de laminage de film sec de SU-8 et a permis d'intégrer des canaux microfluidiques aux substrats de filtres micro-rubans. La circulation d'eau distillée a montré de très bons résultats en termes de décalages de la fréquence centrale. D'autres pistes d'interactions liquides-micro-ondes sont également présentées telles qu'une utilisation de filtres comme capteur d'élément chimiques ou biologiques.
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Pinon, Stéphane. "Étude de la reconfigurabilité de circuits RF par des réseaux fluidiques : conception et fabrication de microsystèmes intégrés sur substrat souple." Toulouse 3, 2012. http://thesesups.ups-tlse.fr/1871/.

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Abstract:
La microfluidique est un domaine relativement récent, elle est réellement apparue qu'au début des années 90. Mais ce domaine a connu une très forte progression et a atteint une certaine maturité qui lui permet d'intervenir dans un large spectre d'applications, chimiques, biologiques, génomiques, optiques. . . Cet essor a été permis par le développement de technologiques spécifiques et particulièrement par les technologies polymères. Le travail de thèse présenté ici s'appuie donc sur le savoir-faire technologique du laboratoire en microfabrication pour réaliser un couplage entre la microfluidique et les hyperfréquences et ainsi élargir encore un peu plus son spectre d'application. Un des challenges actuels pour les circuits d'émissions-réceptions est la miniaturisation des éléments passifs reconfigurables. Des filtres accordables grâce à des moyens microfluidique ont donc été étudiés de la conception à la caractérisation, en passant par un important travail de fabrication. Celui-ci est basé sur la technique de laminage de film sec de SU-8 et a permis d'intégrer des canaux microfluidiques aux substrats de filtres micro-rubans. La circulation d'eau distillée a montré de très bons résultats en termes de décalages de la fréquence centrale. D'autres pistes d'interactions liquides-micro-ondes sont également présentées telles qu'une utilisation de filtres comme capteur d'élément chimiques ou biologiques<br>Microfluidics is a relatively new field, it really appeared in the early 90s. But this area has experienced strong growth and has reached maturity that allows it to intervene in a wide range of applications, chemical, biological, genomic, optical. . . This growth was made possible by the development of specific technology and particularly technologies by polymers. The thesis presented here is therefore based on the technological expertise of the laboratory in microfabrication to achieve a coupling between microfluidics and microwave and thus expand even further its range of application. One of the current challenges for emission-reception circuitry is reconfigurable miniaturization of passive components. Tunable filters by means microfluidics have been studied to characterize the design, through manufacturing an important work. This is based on the technique of laminating dry film SU-8 and helped integrate microfluidic channels for substrates microstrip filters. Circulation of distilled water showed very good results in terms of shifts in the center frequency. Other lines of liquid-interactions microwaves are also presented using filters such as a sensor element as chemical or biological
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Bendib, Samir. "Contribution à l'étude de la fluidique dans les microsystèmes." Cachan, Ecole normale supérieure, 2003. http://www.theses.fr/2003DENS0019.

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Laithier, Virginie. "Microsystème fluidique de détection de gaz pour l'environnement." Thesis, Aix-Marseille, 2012. http://www.theses.fr/2012AIXM4308/document.

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Abstract:
Les travaux menés durant cette thèse ont abouti à la fabrication d'un microsystème fluidique de détection de gaz innovant portatif, bas coût et incluant un pompage thermique. Le microcapteur de gaz utilisé est inséré dans un microcanal. Un chauffage intégré permet au microcapteur de bien fonctionner. Il permet aussi la création du phénomène de thermal creep qui est à l'origine de l'écoulement du gaz à détecter le long du canal vers le microcapteur. Le gradient de température le long du canal et les dimensions sont des paramètres essentiels de l'étude.Des simulations microfluidiques et thermiques ont permis de définir les dimensions du microcanal ainsi que les matériaux les plus adéquats. Deux types de microsystèmes ont ensuite été réalisés. Le dispositif de chauffage intégré a été calibré afin d'étudier le gradient thermique réel. Une étude des performances du microcapteur sous ammoniac a été réalisée. Nous avons pu notamment déterminer la température optimale de détection. Puis des tests dans une cellule de détection ont été réalisés avec le microsystème complet<br>My thesis work led to develop an innovative fluidic microsystem for gas detection. It is portable, cheap and has an integrated thermal pumping. The gas microsensor used is inserted into a microchannel. Its integrated heater allows the well detection. It also allows the creation of thermal creep phenomenon, which is at the origin of the gas flow along the channel which will be detected by the microsensor. The choices of both microchannel dimensions and the temperature gradient are the most important parameters. Thus, microfluidic and thermal simulations were performed to define the microchannel dimensions and the most suitable materials natures. Two microsystems were processed with clean room technologies. The integrated heater was calibrated to study the real thermal gradient. A study of the performance of the microsensor was performed under ammonia. We could include determining the optimal temperature sensing. Then the microsystem was studed using in a special detection cell
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Goulpeau, Jacques. "Intégration de puce à ADN dans un microsystème fluidique." Phd thesis, Université Pierre et Marie Curie - Paris VI, 2006. http://pastel.archives-ouvertes.fr/pastel-00002226.

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Abstract:
Ce travail de thèse présente la conception et la réalisation de dispositifs microfluidiques en PDMS (Polydiméthylsiloxane) pour l'intégration d'analyses biologiques. Dans un premier temps, des outils microfluidiques sont construits et améliorés dans ce but: une méthode de pompage passif et de mise en oeuvre du PDMS a fait l'objet d'un dépôt de brevet. Les micro-pompes, éléments clés d'une intégration poussée, sont étudiées expérimentalement et théoriquement, menant à un modèle prédictif basé sur une équivalence électrique. Ce travail a été publié dans \textit{Journal of Applied Physics}. La dispersion hydrodynamique, diluant les échantillons lors de leur transport est caractérisée. De cette analyse, une nouvelle méthode de génération de gradients de concentration est conçue et testée expérimentalement. Fort de ces développements, une plate-forme microfluidique originale intégrant des puces à ADN est fabriquée en une version de laboratoire et une version portable. Grâce à ce dispositif, les connaissances de la réaction d'hybridation sur une surface, base des puces à ADN, sont complétées par des mesures comparées de courbes de fusion et un modèle de couplage réaction-diffusion-advection est étendu expérimentalement au cas des puces à ADN. Finalement dans le cadre d'une collaboration avec l'IGH (Institut de Génétique Humaine) de Montpellier, deux méthodes originales de dosage d'allèles pour la trisomie 21 sont testées et des expériences sur des échantillons biologiques sont en cours de préparation. En conclusion, cette thèse a donné lieu au dépôt d'un brevet et à la publication deux articles. Elle aura abouti à la mise en oeuvre de méthodes et approches originales basées sur la technologie microfluidique, appliquées à différents domaines (dispersion, pompage, puce à ADN).
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Dubuc, David. "Développement de microsystèmes hyperfréquances par approches multidisciplinaires: vers de nouvelles fonctionnalités et applications." Habilitation à diriger des recherches, Université Paul Sabatier - Toulouse III, 2010. http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00627331.

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Abstract:
Le fil rouge guidant nos travaux de recherche correspond à la convergence des techniques hyperfréquences, des micro- et nano-technologies et plus récemment de la fluidique, amenant le développement de microsystèmes hyperfréquences innovants pour des applications en télécommunication et en biologie. Nous retraçons, au travers de notre habilitation à diriger des recherches, nos travaux sur les approches multidisciplinaires permettant le développement de microsystèmes hyperfréquences communicants pour lesquels notre leitmotiv fut de tirer au mieux partie des potentialités des micro et nano-technologies. Des composants et circuits RF-MEMS (RadioFrequency MicroElectroMechanical Systems), à l'intégration des nanotechnologies au sein de microsystèmes hyperfréquences, à la miniaturisation de fonctions passives ainsi qu'à leur co-intégration avec des circuits actifs au sein de microsystèmes. Nous présentons de plus notre projet de recherche visant à explorer l'alliance des microsystèmes hyperfréquences avec d'autres disciplines telles que la fluidique et la biologie pour de nouvelles fonctionnalités et applications. Nous tenterons de répondre aux questions scientifiques : "comment les microsystèmes hyperfréquences peuvent aller au delà des fonctionnalités et applications traditionnelles, quelles sont les opportunités ainsi ouvertes ?"
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Le, Thanh Son. "Contribution au développement d'un microsystème d'analyse, intégrant pré-concentration ionique par micro-électrodialyse et détection électrochimique sur diamant dopé au bore." Thesis, Montpellier 2, 2011. http://www.theses.fr/2011MON20026/document.

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Abstract:
Ce travail est une contribution à la conception d'un système portatif et intégré de type µTAS (micro-Total Analysis System) pour le traitement (préconcentration et simplification) de solution aqueuses contenant des métaux lourds et leur analyse en ligne. Pour la préconcentration amont, l'étude a porté sur la réalisation d'un micro-électrodialyseur manipulant des µL de solutions. L'optimisation des paramètres opératoires a permis d'augmenter d'un facteur 100 environ les concentrations d'analytes. Pour l'étage de détection aval, un système sur puce de type polarographique a été étudié. Le traditionnel mercure est remplacé par du diamant polycristallin dopé au bore (DDB) préparé par CVD micro-ondes. La quantification des métaux lourds par redissolution anodique sur ce matériau a été validée ainsi que les techniques de gravure compatibles avec la réalisation de microréseaux d'électrodes<br>This work is a contribution to the conception of an integrated μTAS (micro-Total Analysis System) for treatment (preconcentration and simplification) of aqueous solutions containing heavy metals and their on-line analysis. For upstream preconcentration, a micro-electrodialyser handling µL of solutions was developped. The optimization of operating parameters permitted to reach an analyte pre-concentration factor of about 100. For the downstream detection step, an on-chip polarographic system, where mercury was replaced by boron doped diamond (BDD), was studied. BDD films were prepared by assited microwave plasma CVD. Quantification of heavy metals by anodic stripping on BDD was validated as well as the etching technique compatible with the realization of microarray electrodes
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Grenier, Katia. "Les micro-nanotechnologies pour les systèmes hyperfréquences: au-delà des conventions." Habilitation à diriger des recherches, Université Paul Sabatier - Toulouse III, 2010. http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00627334.

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Abstract:
L'évolution de notre société est spectaculaire. Les nouvelles technologies apportent sans cesse des bouleversements dans nos vies, dont nous n'avons d'ailleurs pas toujours conscience tellement ces changements sont rapides et naturels. Qui aujourd'hui ne possède pas un téléphone portable extra miniature, possédant de multiples fonctionnalités intégrées: appareil photo, boussole, loupe...? Qui n'a pas entendu parlé des progrès phénoménaux réalisés en médecine avec, par exemple, la technique d'Imagerie par Résonance Magnétique (IRM) ou encore l'utilisation par les chirurgiens d'outils extrêmement précis, assistés par ordinateur? Parmi ce contexte très général de révolutions technologiques, ma simple contribution se situe dans le développement de microsystèmes hyperfréquences, que ce soit :  pour les communications et transfert d'informations avec des modules toujours plus performants et agiles (multifonctionnalité),  et plus récemment pour les domaines de la biologie et du médical avec le développement de systèmes d'analyse par ondes électromagnétiques hautes fréquences. La démarche scientifique adoptée vise à établir, grâce aux microtechnologies, de nouvelles perspectives d'exploitation des microsystèmes hyperfréquences, au-delà des technologies conventionnelles. Ceci commence par l'élaboration de circuits passifs à fort coefficient de qualité, leur intégration tridimensionnelle vers toujours plus de miniaturisation et fréquences de fonctionnement plus élevées, l'évaluation de matériaux inédits (notamment à base de nanotubes de carbone) qui apportent de nouvelles possibilités aux concepteurs HF, de concepts innovants de composants à forte reconfigurabilité, que ce soit par une approche mécanique avec les MEMS RF, ou encore avec des liquides, jusque de nouvelles applications pour les domaines de la biologie et du médical, l'environnement et même l'agro-alimentaire.
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