Dissertations / Theses: 'Mikrokristallin'

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Brammer, Torsten. "Die optoelektronischen Eigenschaften von mikrokristallinen Silizium-Solarzellen." [S.l.] : [s.n.], 2002. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=963930605.

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2

Kanschat, Peter. "ESR und spinabhängige Rekombination in mikrokristallinem Silizium." [S.l. : s.n.], 2000. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=962370657.

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3

Zhao, Chen [Verfasser]. "Mikrokristalline Kompositfilme auf Basis von Graphen und Polyesterkristallen / Chen Zhao." Paderborn : Universitätsbibliothek, 2018. http://d-nb.info/1172349592/34.

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4

Wahl, Claudia. "Charakterisierung innerer Grenzflächen in mikrokristallinem SiO2 mit Transmissionselektronenmikroskopie." [S.l.] : [s.n.], 2002. http://elib.tu-darmstadt.de/diss/000197.

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5

Klemm, Robert. "Zyklische Plastizität von mikro- und submikrokristallinem Nickel." Doctoral thesis, Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden, 2004. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:14-1085403884093-17423.

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Abstract:

Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wurde der Einfluss der Korngröße und der Gefügestabilität auf die zyklische Plastizität von mikro- und submikrokristallinem Nickel, hergestellt durch ECAP und PED, untersucht. Zur Gefügecharakterisierung kamen verschiedene elektronenmikroskopische und röntgenographische Methoden zum Einsatz. Die Untersuchungen zur Gefügestabilität zeigten, dass (i) die Stabilität der Korn- und Substruktur bei der zyklischen Verformung empfindlich vom Gefüge im Ausgangszustand abhängt, (ii) generell die Tendenz zur Umwandlung der vorhandenen Substruktur in eine universelle ermüdungstypische Substruktur besteht, diese Transformation jedoch durch die lokale Gefügebeschaffenheit be- bzw. verhindert sein kann und (iii) zur Erklärung des Entfestigungsverhaltens der ECAP-Materialien sowohl die Transformation der Substruktur als auch die Vergröberung der Kornstruktur berücksichtigt werden müssen. Auf der Basis der Ergebnisse der vorliegenden Arbeit und unter Hinzunahme von Resultaten aus der Literatur lassen sich Schlussfolgerungen zum Einfluss der Korngröße auf die zyklische Plastizität in einem vier Größenordnungen umfassenden Korngrößenbereich ziehen. In grob- und feinkörnigem Nickel bilden sich bei der zyklischen Verformung ermüdungstypische Versetzungsstrukturen, deren Abmessungen kaum von der Korngröße abhängen. Der Versetzungslaufweg in diesen Materialien ist wesentlich kleiner als die Kornabmessungen. Dementsprechend besteht höchstens ein schwacher Einfluss der Korngröße auf das sich bei der Wechselverformung einstellende Spannungsniveau. Bei mikro- und submikrokristallinem Nickel, wo der Versetzungslaufweg in der Größenordung der Kornabmessungen liegt, wird ein deutlicher Umschlag bei der Versetzungsmusterbildung und dem zyklischen Verformungsverhalten beobachtet. In diesem Korngrößenbereich entstehen entweder qualitativ andere (D<DS1=5µm) oder keine Versetzungsstrukturen (D<DS2=1µm) und das Spannungsniveau steigt mit sinkender Korngröße entsprechend einer HALL-PETCH-Beziehung.

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6

Klemm, Robert. "Zyklische Plastizität von mikro- und submikrokristallinem Nickel." Doctoral thesis, Technische Universität Dresden, 2003. https://tud.qucosa.de/id/qucosa%3A23831.

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Abstract:

Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wurde der Einfluss der Korngröße und der Gefügestabilität auf die zyklische Plastizität von mikro- und submikrokristallinem Nickel, hergestellt durch ECAP und PED, untersucht. Zur Gefügecharakterisierung kamen verschiedene elektronenmikroskopische und röntgenographische Methoden zum Einsatz. Die Untersuchungen zur Gefügestabilität zeigten, dass (i) die Stabilität der Korn- und Substruktur bei der zyklischen Verformung empfindlich vom Gefüge im Ausgangszustand abhängt, (ii) generell die Tendenz zur Umwandlung der vorhandenen Substruktur in eine universelle ermüdungstypische Substruktur besteht, diese Transformation jedoch durch die lokale Gefügebeschaffenheit be- bzw. verhindert sein kann und (iii) zur Erklärung des Entfestigungsverhaltens der ECAP-Materialien sowohl die Transformation der Substruktur als auch die Vergröberung der Kornstruktur berücksichtigt werden müssen. Auf der Basis der Ergebnisse der vorliegenden Arbeit und unter Hinzunahme von Resultaten aus der Literatur lassen sich Schlussfolgerungen zum Einfluss der Korngröße auf die zyklische Plastizität in einem vier Größenordnungen umfassenden Korngrößenbereich ziehen. In grob- und feinkörnigem Nickel bilden sich bei der zyklischen Verformung ermüdungstypische Versetzungsstrukturen, deren Abmessungen kaum von der Korngröße abhängen. Der Versetzungslaufweg in diesen Materialien ist wesentlich kleiner als die Kornabmessungen. Dementsprechend besteht höchstens ein schwacher Einfluss der Korngröße auf das sich bei der Wechselverformung einstellende Spannungsniveau. Bei mikro- und submikrokristallinem Nickel, wo der Versetzungslaufweg in der Größenordung der Kornabmessungen liegt, wird ein deutlicher Umschlag bei der Versetzungsmusterbildung und dem zyklischen Verformungsverhalten beobachtet. In diesem Korngrößenbereich entstehen entweder qualitativ andere (D<DS1=5µm) oder keine Versetzungsstrukturen (D<DS2=1µm) und das Spannungsniveau steigt mit sinkender Korngröße entsprechend einer HALL-PETCH-Beziehung.

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7

Bronner, Wolfgang. "Einfluss paramagnetischer Defekte auf Transport und Rekombination in mikrokristallinem Silizium." [S.l. : s.n.], 2003. http://www.bsz-bw.de/cgi-bin/xvms.cgi?SWB10976180.

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8

Wilken, Dirk. "Einfluss von Iodidkonzentration und -verteilung auf die photochemischen Eigenschaften von AgBr1-xIx-Mikrokristallen." [S.l. : s.n.], 2000. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=962687294.

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9

Gelbrich, Markus. "Untersuchungen zur Synthese neuartiger Cellulosematerialien durch topochemische Polymerreaktionen an mikrokristallinen Cellulosen." Phd thesis, [S.l.] : [s.n.], 1999. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=959320024.

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Heidt, Anna [Verfasser]. "Lokale strukturelle und elektronische Eigenschaften mikrokristalliner Siliziumkarbidverbindungen für die Dünnschichtphotovoltaik / Anna Heidt." Aachen : Hochschulbibliothek der Rheinisch-Westfälischen Technischen Hochschule Aachen, 2013. http://d-nb.info/1043523014/34.

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Bürgstein, Thomas [Verfasser]. "Mikrokristallines Silizium als Halbleiter in Aktivmatrizen für Organische-Lichtemittierende-Dioden-Anwendungen / Thomas Bürgstein." München : Verlag Dr. Hut, 2011. http://d-nb.info/1015607594/34.

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12

Kühl, Peter. "Tablettieren von Pellets Komprimierbarkeit, Kompaktierbarkeit und Integrität in Kombination mit mikrokristalliner Cellulose und Polyethylenglykol /." [S.l.] : [s.n.], 1999. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=959533699.

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13

Enseling, David [Verfasser], and Hans-Jürgen [Akademischer Betreuer] Meyer. "Untersuchungen zur Photolumineszenz-Quanteneffizienzmessung an mikrokristallinen Leuchtstoffen in der Integrationskugel / David Enseling ; Betreuer: Hans-Jürgen Meyer." Tübingen : Universitätsbibliothek Tübingen, 2017. http://d-nb.info/1199615005/34.

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Hilber, Franz [Verfasser], Christof [Akademischer Betreuer] Schmid, and Lars [Akademischer Betreuer] Maier. "Biochemische Charakterisierung von mikrokristalliner Zellulose und Besiedelung mit Endothelzellen / Franz Hilber. Betreuer: Christof Schmid ; Lars Maier." Regensburg : Universitätsbibliothek Regensburg, 2015. http://d-nb.info/1071713434/34.

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Sellmer, Christian William Heinrich [Verfasser]. "Untersuchung der Ladungsträgerkonzentration und -beweglichkeit in mikrokristallinen Siliziumlegierungen mit Hall-Effekt und Thermokraft / Christian William Heinrich Sellmer." Aachen : Hochschulbibliothek der Rheinisch-Westfälischen Technischen Hochschule Aachen, 2012. http://d-nb.info/1022867822/34.

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Huber, Niklas [Verfasser]. "Veränderung der Tablettiereigenschaften von Trockengranulaten aus Mikrokristalliner Cellulose durch Zusatz verschiedener Hilfsstoffe / Niklas Huber. Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät." Bonn : Universitäts- und Landesbibliothek Bonn, 2011. http://d-nb.info/1017915083/34.

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Sellmer, Christian [Verfasser]. "Untersuchung der Ladungsträgerkonzentration und -beweglichkeit in mikrokristallinen Siliziumlegierungen mit Hall-Effekt und Thermokraft / Christian William Heinrich Sellmer." Aachen : Hochschulbibliothek der Rheinisch-Westfälischen Technischen Hochschule Aachen, 2012. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:hbz:82-opus-40262.

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Nietgen, Maria. "Bildung und Zerfall von Silberclustern bei Mikrokristallen fotografischer AgCI-Emulsionen nach der Belichtung in Abhängigkeit von Kristalleigenschaften und äusseren Faktoren." [S.l. : s.n.], 2001. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=964463512.

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Krüger, Cornelia [Verfasser], Peter [Akademischer Betreuer] Kleinebudde, and Jörg [Akademischer Betreuer] Breitkreutz. "Mikrokristalline Cellulose II - Eignung als Pelletierhilfsstoff bei der Feuchtextrusion/Sphäronisation zur Herstellung zerfallender Pellets / Cornelia Krüger. Gutachter: Peter Kleinebudde ; Jörg Breitkreutz." Düsseldorf : Universitäts- und Landesbibliothek der Heinrich-Heine-Universität Düsseldorf, 2011. http://d-nb.info/1015458661/34.

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Krause, Mathias. "Materialien und Bauelemente auf der Basis von mikrokristallinen SiGe:H- und amorphen SiC:H-Legierungen Detektion des nahen infraroten und ultravioletten Spektralbereichs /." [S.l.] : [s.n.], 2001. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=963920650.

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Fink, Thomas [Verfasser], Rau Prof Dr [Akademischer Betreuer] Uwe, and Schmechel Prof Dr [Akademischer Betreuer] Roland. "Betrachtung der Kristallinitätsentwicklung in mikrokristallinem Dünnschicht-Silizium mit in-situ Raman-Spekroskopie / Thomas Fink ; Prof. Dr. Uwe Rau, Prof. Dr. Roland Schmechel." Aachen : Universitätsbibliothek der RWTH Aachen, 2018. http://d-nb.info/1187251240/34.

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Hahn, Martin Gernot [Verfasser], Dagmar [Akademischer Betreuer] Fischer, Reinhard [Akademischer Betreuer] Neubert, and Karsten [Akademischer Betreuer] Mäder. "Entwicklung und Charakterisierung einer Mikrokristalline Cellulose freien Pelletformulierung für die Herstellung von Pellets mittels Feuchtextrusion/ Sphäronisation / Martin Gernot Hahn. Betreuer: Dagmar Fischer ; Reinhard Neubert ; Karsten Mäder." Halle, Saale : Universitäts- und Landesbibliothek Sachsen-Anhalt, 2015. http://d-nb.info/1076270654/34.

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Geißendörfer, Stefan Ewald [Verfasser], Carsten [Akademischer Betreuer] Agert, and Jürgen [Akademischer Betreuer] Parisi. "Numerische Simulationen von Dünnschichtsolarzellen aus amorphem und mikrokristallinem Silizium : Modellvalidierung und Einflüsse der Substrattopographie auf die elektrischen Solarzelleneigenschaften / Stefan Ewald Geißendörfer. Betreuer: Carsten Agert ; Jürgen Parisi." Oldenburg : BIS der Universität Oldenburg, 2012. http://d-nb.info/1050299361/34.

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Bansen, Roman. "Solution growth of polycrystalline silicon on glass using tin and indium as solvents." Doctoral thesis, Humboldt-Universität zu Berlin, Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät, 2016. http://dx.doi.org/10.18452/17557.

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Abstract:

Mit der vorliegenden Arbeit wird das Wachstum von polykristallinem Silicium auf Glas bei niedrigen Temperaturen aus metallischen Lösungen in einem Zweistufenprozess untersucht. Im ersten Prozessschritt werden nanokristalline Siliziumschichten (nc-Si) hergestellt, entweder durch die direkte Abscheidung auf geheizten Substraten oder durch als ''Amorphous-Liquid-Crystalline''(ALC)-Umwandlung bezeichnete metall-induzierte Kristallisation. Im zweiten Prozessschritt dienen die Saatschichten als Vorlage für das Wachstum von deutlich größeren Kristalliten durch stationäre Lösungszüchtung. Die ALC-Prozessdauer konnte durch umfassende Parameterstudien signifikant reduziert werden. Die Charakterisierung der durch direkte Abscheidung auf geheizten Substraten entstehenden nc-Si Saatschichten offenbarte, dass es sich dabei um individuelle Saatkörner handelt, die in eine quasi-amorphe Matrix eingebettet sind. Die Oxidation der Saatschichten vor dem zweiten Prozessschritt wurde als ein wesentliches Hindernis für das Wachstum identifiziert. Als erfolgreichste Lösung zur Überwindung dieses Problems hat sich ein anfänglicher Rücklöseschritt erwiesen. Da diese Methode jedoch schwierig zu kontrollieren ist, wurde ein UV-Laser-System entwickelt und installiert. Erste Resultate zeigen epitaktisches Wachstum an den Stellen, an denen das Oxid entfernt wurde. Bei der Lösungszüchtung auf ALC-Schichten beginnt das Wachstum an einigen größeren Saatkristallen, von wo aus umliegende Gebiete lateral überwachsen werden. Obwohl Kristallitgrößen bis zu 50 Mikrometern erreicht wurden, war es noch nicht möglich, geschlossene Schichten zu erzielen. Durch Lösungszüchtung auf nc-Si Saatschichten hingegen konnte dieses Ziel erreicht werden. Geschlossene, polykristalline Si-Schichten wurden erzeugt, auf denen alle Si-Kristallite miteinander verbunden sind. Neben den Wachstumsexperimenten wurden 3D-Simulationen durchgeführt, in denen u.a. unterschiedliche Heizerkonfigurationen simuliert wurden.
The subject of this thesis is the investigation of the growth of polycrystalline silicon on glass at low temperatures from metallic solutions in a two-step growth process. In the first process step, nanocrystalline Si (nc-Si) films are formed either by direct deposition on heated substrates, or by a metal-induced crystallization process, referred to as amorphous-liquid-crystalline (ALC) transition. In the second process step, these seed layers serve as templates for the growth of significantly larger Si crystallites by means of steady-state solution growth. Extensive parameter studies for the ALC process helped to bring down the process duration significantly. Characterization of the nc-Si seed layers, formed by direct deposition on heated substrates, showed that the layer is composed of individual seeds, embedded in a quasi-amorphous matrix. The oxidation of the seed layers prior to the second process step was found to be a major obstacle. The most successful solution has been an initial melt-back step. As the process is hard to control, though, a UV laser system has been developed and installed. First promising results show unobstructed epitaxial growth where the oxide has been removed. Steady-state solution growth on ALC seed layers was found to start from a few larger seed crystals, and then cover the surrounding areas by lateral overgrowth. Although crystallites with sizes of up to 50 micrometers were obtained, it was not yet possible to achieve full surface coverage with a continuous layer. By solution growth on nc-Si seed layers, however, it was eventually possible to achieve this goal. Continuous, polycrystalline Si layers were grown, on which all Si crystallites are interlocked. The growth experiments were accompanied by 3D simulations, in which e.g. different heater configurations have been simulated.

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Asami, Sam. "Method development for biomolecular solid-state NMR spectroscopy." Doctoral thesis, Humboldt-Universität zu Berlin, Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät I, 2014. http://dx.doi.org/10.18452/17044.

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Abstract:

Im Rahmen der vorliegenden Arbeit, wird ein neuartiges Markierungsschema für die Festkörper-NMR-Spektroskopie vorgestellt, das sogenannte Reduced Adjoining Protonation (RAP) Schema, welches die Protonendetektion sämtlicher Aliphaten erlaubt. Hochaufgelöste, 1H-detektierte 1H,13C Korrelationsspektren wurden erhalten. Des Weiteren wurde der Vorteil von hohen MAS-Frequenzen untersucht. 1H- und 13C-detektierte 3D Zuordnungsexperimente wurden implementiert, welche uns die Zuordnung von 90% aller aliphatischen Resonanzen von alpha-Spektrin SH3 erlaubten. Da die chemische Verschiebung abhängt vom Strukturmotiv, kann sie verwendet werden, um Sekundärstruktur-Informationen abzuleiten. Darüber hinaus wurde ein 1H-detektiertes H(H)CH 3D Experiment entwickelt, um weitreichende 1H,1H Kontakte zu ermitteln, welche für die Bestimmung der Tertiärstruktur genutzt werden können. Um artefaktfreie Relaxationsdaten zu erhalten, wurde das RAP-Markierungsschema modifiziert, um 1H- und 13C-verdünnte Proben zu erhalten, in denen Spindiffusion unterdrückt ist. Für die Untersuchung von Sub-Mikrosekunden-Dynamik werden Experimente vorgestellt zur Bestimmung von 13C T1 Relaxationszeiten und 1H,13C dipolaren Kopplungstensoren für Rückgrat- und Seitenketten-Resonanzen. Des weiteren zeigen wir, dass das RAP-Markierungsschema auf nicht-kristalline Systeme, wie Amyloidfibrillen des Abeta1-40 Peptids der Alzheimer-Krankheit, angewendet werden kann. Unter Verwendung von 1H-Detektion, erhielten wir hochaufgelöste 1H,13C Korrelationsspektren. Schließlich wurde der Perdeuterierungsansatz auf den L7Ae-box C/D Protein-RNA Komplex aus P. furiosus angewendet. Wir erhielten hochaufgelöste, 1H-detektierte 1H,15N, sowie 13C,13C Korrelationsspektren des Protein-RNA Komplexes. Weiterhin haben wir eine Methode zur Bestimmung genauer Abstands- und Winkelinformationen für die Protein-RNA Schnittstelle etabliert und schlagen Ansätze vor, für die Zuordnung der chemischen Verschiebungen von RNA-Resonanzen.
In this thesis, a novel labeling scheme for solid-state NMR spectroscopy, the Reduced Adjoining Protonation (RAP) scheme, is introduced, which allows proton detection of all aliphatic sites, as shown for the microcrystalline SH3 domain of alpha-spectrin. These samples yield high-resolution, 1H-detected 1H,13C correlation spectra. In addition, the benefit of high MAS frequencies was investigated. 1H- and 13C-detected 3D assignment experiments are implemented, which allowed us to assign 90% of all aliphatic resonances of alpha-spectrin SH3. As the chemical shift is dependent on the structural motif, it can be employed to derive secondary structure information. Furthermore, a 1H-detected H(H)CH 3D experiment is introduced, to obtain long-range 1H,1H contacts, which can be used for the determination of the tertiary structure. To obtain artifact-free relaxation data, the RAP labeling scheme was modified to obtain sparsely proton labeled, 13C dilute samples, in which spin diffusion is suppressed. To probe sub-microsecond dynamics, we report experiments to determine 13C T1 relaxation times and 1H,13C dipolar coupling tensors for backbone and side chain resonances, respectively. Furthermore, we show, that the RAP labeling scheme can be applied to non-crystalline systems, such as amyloid fibrils of the Alzheimer’s disease peptide Abeta1-40. Using 1H-detection, we obtained high-resolution 1H,13C correlation spectra. Finally, we applied the perdeuteration approach to the L7Ae-box C/D protein-RNA complex from P. furiosus. We obtained high-resolution, 1H-detected 1H,15N, as well as 13C,13C correlation spectra of the protein-RNA complex. In addition, we established a methodology to determine accurate distance and angular restraints for the protein-RNA interface and propose approaches for the chemical shift assignment of RNA resonances.

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Leszczyńska, Barbara. "Herstellung von Einzelschichten und Solarzellen im Bereich der sehr hohen Plasmaanregungsfrequenzen (VHF) und Schichtdiagnostik." 2019. https://tud.qucosa.de/id/qucosa%3A72317.

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Abstract:

Diese Arbeit beschäftigt sich mit den wesentlichen Aspekten der Hochrateabscheidung von amorphen (a-Si:H) und mikrokristallinen (μc-Si:H) Silizium-Schichten und Solarzellen. Die neuartige plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung unter Anwendung von den sehr hohen Anregungsfrequenzen bis 140 MHz (VHF-PECVD) wurde demonstriert. Die durchgeführten Untersuchungen befassten sich hauptsächlich mit der Anpassung der Anlagentechnik für den VHF Bereich und der Entwicklung des hochproduktiven Herstellungsverfahrens ohne Einbußen bei den Schichteigenschaften und dem Solarzellenwirkungsgrad. Durch Frequenzerhöhung bis 140 MHz wurde eine Steigerung der i-Schicht-Abscheiderate von 70 % sowohl für a-Si:H als auch für μc-Si:H realisiert. Die Weiteroptimierung des Solarzellenaufbaus zeigt die hervorragende Eignung des Herstellungsprozesses für die Abscheidung von hocheffizienten Solarzellen (ca. 10,7 % für a-Si:H- und 9,5 % für μc-Si:H-Zellen). Der neuartige VHF-PECVD-Prozess wurde außerdem für die Abscheidung von den Passivierungsschichten für die Silizium-Heteroübergangs-Solarzellen (HIT) getestet. Die Arbeit im VHF-Bereich ermöglicht einen Einsatz von hohen Depositionsraten bis 1 nm/s ohne Einbußen bei den Passivierungseigenschaften (2 ms Lebensdauer) im Vergleich zum 13,56-MHz-Prozess (0,5 ms Lebensdauer). Zuletzt wurde eine Analyse der Zusammenhänge zwischen Anregungsfrequenz, Plasmaleistung, Ionenenergie, Ioneneindringtiefe und Defektbildung in den intrinsischen Dünnschichtsiliziumschichten durchgeführt.:I. Abkürzungs- und Symbolverzeichnis vii 1 Einleitung 1 2 Physikalische und technologische Grundlagen 7 2.1 Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung 7 2.1.1 Prozessparameter 9 2.1.2 Frequenzeinfluss 10 2.2 Amorphes und mikrokristallines Silizium 14 2.2.1 Eigenschaften von Dünnschichtsilizium 15 2.2.2 Siliziumbasierte Dünnschichtsolarzellen 20 2.2.3 Siliziumbasierte Solarzellen mit Heteroübergang 21 3 Entwicklung des Abscheidungsprozesses bis 140 MHz 23 3.1 Herstellung von dünnen Siliziumschichten 23 3.1.1 VHF-PECVD-Durchlaufanlage mit linearen Elektroden 24 3.1.2 F&E-Testanlage 25 3.2 Anpassung des Abscheidungssystems für sehr hohe Frequenzen 26 3.2.1 Temperaturregelung der HF Elektrode 26 3.2.2 Kompensation des Tiefpassverhaltens 28 3.2.3 Leistungseinkopplung 31 3.3 Homogenität der VHF-Abscheidung 32 3.4 Charakterisierung von dünnen Siliziumschichten und Solarzellen 34 3.4.1 Leitfähigkeitsmessung 34 3.4.2 Transmissionsmessungen im UV-VIS-NIR-Bereich 35 3.4.3 Fourier-Transform-Infrarotspektroskopie 37 3.4.4 Raman-Spektroskopie 38 3.4.5 Solarzellencharakterisierung 39 3.4.6 Messungen der effektiven Lebensdauer 42 3.5 Zusammenfassung der Ergebnisse 43 4 Hydrogeniertes amorphes Silizium im VHF-Bereich 45 4.1 Intrinsische a-Si:H Einzelschichten bis 140 MHz 45 4.1.1 Optische Eigenschaften 47 4.1.2 Strukturelle Eigenschaften 48 4.1.3 Elektrische Eigenschaften 51 4.2 a-Si:H-Solarzellen bis 140 MHz 52 4.2.1 Variation der Silankonzentration 53 4.2.2 Abscheiderateerhöhung durch Prozessleistung 56 4.3 Weitere Entwicklung der amorphen Silizium-Solarzellen 61 4.4 Zusammenfassung der Ergebnisse 62 5 Hydrogeniertes mikrokristallines Silizium im VHF-Bereich 65 5.1 μc-Si:H Schichten und Solarzellen – HPD-Regime 68 5.1.1 Einfluss des Prozessdruckes und der Silankonzentration bei hohen Gasflusswerten 69 5.1.2 Einfluss der Leistung bei hohen Gasflusswerten 72 5.2 μc-Si:H Schichten und Solarzellen – Frequenzerhöhung 74 5.2.1 μc-Si:H Schichteigenschaften – Vergleich 120 und 140 MHz 74 5.2.2 μc-Si:H Solarzellen – Vergleich 120 und 140 MHz 76 5.3 Weitere Entwicklung der μc-Si:H Solarzellen 78 5.4 Zusammenfassung der Ergebnisse 79 6 Passivierungsschichten für HIT-Solarzellen 81 6.1 Schichteigenschaften – Vergleich zwischen 13,56 und 140 MHz 81 6.2 H2-Plasma-Vorreinigung 84 6.3 Passivierungsschichten – Frequenzeinfluss 87 6.4 Zusammenfassung der Ergebnisse 88 7 Simulationsstudie 89 7.1 Ionenbeschussenergie 89 7.1.1 Modellübersicht – Ar-Plasma 90 7.1.2 Einfluss der Leistung und Betriebsfrequenz 91 7.2 Simulation des Ionenbeschusses 92 7.2.1 TRIM–Simulationssoftware 92 7.2.2 Ionenbeschuss auf die a-Si:H-Oberfläche 93 7.3 Solarzellen – Defekte in der i- Schicht 94 7.3.1 ASA–Simulationssoftware 95 7.3.2 Parameterset 99 7.3.3 Einfluss der Defektdichte auf Solarzelleneigenschaften 101 7.4 Zusammenfassung der Ergebnisse 102 8 Zusammenfassung und Ausblick 105 II. Abbildungsverzeichnis 111 III. Tabellenverzeichnis 117 IV. Literaturverzeichnis 119 V. Veröffentlichungen 129 VI. Lebenslauf 131 VII. Danksagung 133
The following thesis deals with the main aspects of the high-rate deposition of amorphous (a-Si:H) and microcrystalline (μc-Si:H) silicon layers and solar cells. The very high frequency plasma enhanced chemical vapor deposition technique with excitation frequencies up to 140 MHz (VHF-PECVD) has been introduced. These study deals mainly with the adaptation of the deposition system for the VHF-range and the development of the highly productive manufacturing process without deterioration of the layer properties and the solar cell efficiency. An increase of the excitation frequency up to 140 MHz ensured a 70 % enhancement of the a-Si:H and μc-Si:H deposition rate. A further optimization of the solar cells shows the excellent suitability of these manufacturing process for the deposition of the highly efficient solar cells (about 10.7% for a-Si:H and 9.5% for μc-Si:H cells). The novel VHF-PECVD process has also been analyzed for the deposition of the passivation layers for the silicon heterojunction solar cells (HIT). Working in the VHF-range allows the use of very high deposition rates up to 1 nm/s, without deterioration of the passivation properties (2 ms lifetime) compared to the 13.56 MHz process (0.5 ms lifetime). Finally, an analysis of the correlations between excitation frequency, plasma power, ion energy, ion penetration depth and defect formation in the intrinsic thin film silicon layers was performed.:I. Abkürzungs- und Symbolverzeichnis vii 1 Einleitung 1 2 Physikalische und technologische Grundlagen 7 2.1 Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung 7 2.1.1 Prozessparameter 9 2.1.2 Frequenzeinfluss 10 2.2 Amorphes und mikrokristallines Silizium 14 2.2.1 Eigenschaften von Dünnschichtsilizium 15 2.2.2 Siliziumbasierte Dünnschichtsolarzellen 20 2.2.3 Siliziumbasierte Solarzellen mit Heteroübergang 21 3 Entwicklung des Abscheidungsprozesses bis 140 MHz 23 3.1 Herstellung von dünnen Siliziumschichten 23 3.1.1 VHF-PECVD-Durchlaufanlage mit linearen Elektroden 24 3.1.2 F&E-Testanlage 25 3.2 Anpassung des Abscheidungssystems für sehr hohe Frequenzen 26 3.2.1 Temperaturregelung der HF Elektrode 26 3.2.2 Kompensation des Tiefpassverhaltens 28 3.2.3 Leistungseinkopplung 31 3.3 Homogenität der VHF-Abscheidung 32 3.4 Charakterisierung von dünnen Siliziumschichten und Solarzellen 34 3.4.1 Leitfähigkeitsmessung 34 3.4.2 Transmissionsmessungen im UV-VIS-NIR-Bereich 35 3.4.3 Fourier-Transform-Infrarotspektroskopie 37 3.4.4 Raman-Spektroskopie 38 3.4.5 Solarzellencharakterisierung 39 3.4.6 Messungen der effektiven Lebensdauer 42 3.5 Zusammenfassung der Ergebnisse 43 4 Hydrogeniertes amorphes Silizium im VHF-Bereich 45 4.1 Intrinsische a-Si:H Einzelschichten bis 140 MHz 45 4.1.1 Optische Eigenschaften 47 4.1.2 Strukturelle Eigenschaften 48 4.1.3 Elektrische Eigenschaften 51 4.2 a-Si:H-Solarzellen bis 140 MHz 52 4.2.1 Variation der Silankonzentration 53 4.2.2 Abscheiderateerhöhung durch Prozessleistung 56 4.3 Weitere Entwicklung der amorphen Silizium-Solarzellen 61 4.4 Zusammenfassung der Ergebnisse 62 5 Hydrogeniertes mikrokristallines Silizium im VHF-Bereich 65 5.1 μc-Si:H Schichten und Solarzellen – HPD-Regime 68 5.1.1 Einfluss des Prozessdruckes und der Silankonzentration bei hohen Gasflusswerten 69 5.1.2 Einfluss der Leistung bei hohen Gasflusswerten 72 5.2 μc-Si:H Schichten und Solarzellen – Frequenzerhöhung 74 5.2.1 μc-Si:H Schichteigenschaften – Vergleich 120 und 140 MHz 74 5.2.2 μc-Si:H Solarzellen – Vergleich 120 und 140 MHz 76 5.3 Weitere Entwicklung der μc-Si:H Solarzellen 78 5.4 Zusammenfassung der Ergebnisse 79 6 Passivierungsschichten für HIT-Solarzellen 81 6.1 Schichteigenschaften – Vergleich zwischen 13,56 und 140 MHz 81 6.2 H2-Plasma-Vorreinigung 84 6.3 Passivierungsschichten – Frequenzeinfluss 87 6.4 Zusammenfassung der Ergebnisse 88 7 Simulationsstudie 89 7.1 Ionenbeschussenergie 89 7.1.1 Modellübersicht – Ar-Plasma 90 7.1.2 Einfluss der Leistung und Betriebsfrequenz 91 7.2 Simulation des Ionenbeschusses 92 7.2.1 TRIM–Simulationssoftware 92 7.2.2 Ionenbeschuss auf die a-Si:H-Oberfläche 93 7.3 Solarzellen – Defekte in der i- Schicht 94 7.3.1 ASA–Simulationssoftware 95 7.3.2 Parameterset 99 7.3.3 Einfluss der Defektdichte auf Solarzelleneigenschaften 101 7.4 Zusammenfassung der Ergebnisse 102 8 Zusammenfassung und Ausblick 105 II. Abbildungsverzeichnis 111 III. Tabellenverzeichnis 117 IV. Literaturverzeichnis 119 V. Veröffentlichungen 129 VI. Lebenslauf 131 VII. Danksagung 133

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Klein, Michael. "Untersuchungen zu Mikrokristalliner Cellulose als Tablettierhilfsstoff /." 1998. http://www.gbv.de/dms/bs/toc/250652951.pdf.

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Otte, Martin. "Modellierung der Transporteigenschaften von hydrogeniertem mikrokristallinem Silizium /." 1997. http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&doc_number=007618124&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA.

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Wahl, Claudia. "Charakterisierung innerer Grenzflächen in mikrokristallinem SiO2 mit Transmissionselektronenmikroskopie." Phd thesis, 2002. https://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/197/2/ClaudiaWahl_4.pdf.

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Abstract:

An den verschiedenen Gefügeausprägungen von mikrokristallinem Quarz wurden TEM-Untersuchungen im µm- und sub-µm Bereich durchgeführt. Ein Schwerpunkt lag auf der quantitativen Beschreibung der Fehlordnungen im Gefüge von Chalzedon und Quarzin (Quarz-Moganit-Verwachsung) und der Orientierungsbeziehungen. Beide Gefügevarietäten erscheinen im Polarisationsmikroskop faserig. In Chalzedon und Quarzin wurden unterschiedliche Typen der Verwachsung zwischen Quarz und Moganit gefunden. Beim Quarzin beobachtet man einen geordneten Übergang von Quarz zu Moganit, im Chalzedon verläuft dieser über einen stark fehlgeordneten Bereich, in dem Quarz- und Moganitlamellen gegenseitig das Strukturprinzip stören. Diese Ergebnisse wurden durch Dunkelfeldabbildungen und hochaufgelöste TEM-Aufnahmen belegt. Der Ordnungsgrad in Quarzin und Chalzedon kann im Beugungsbild über die Stärke der auftretenden Streaks beurteilt werden. Die Mikrostruktur des reinen Moganit ist im Vergleich zum Moganit als Begleitmineral durch die Dominanz der Fläche (110) bestimmt. Zusätzlich zeigt der Moganit häufig eine Verzwillingung nach dieser Fläche. Einerseits die extreme Strahlempfindlichkeit des Materials im Elektronenstrahl, andererseits die Komplexität des Gefüges führten zur Entwicklung und Anwendung unkonventioneller Beobachtungstechniken über Videotechnik und niedrige Primärvergrößerungen. Eine neuartige Methode der Dunkelfeldabbildung - die Methode der defokussierten Dunkel-feldabbildung (DDF) - wurde für spezielle Gefügeuntersuchungen in Chalzdeon genutzt. Sie dient der Gefügecharakterisierung im 10–10.000 nm Bereich. Sie ermöglicht es, Orientierungsänderungen im Gefüge in die 3. Dimension abzubilden. Im Gefüge von Chalzedon konnte damit der Aufbau des Gefüges aus verschiedenen Populationen von leicht gegeneinander fehlorientierten Kristalliten mit Abmessungen zwischen ca. 10 und 1000 nm und der Orientierungszusammenhang zwischen diesen Kristalliten analysiert werden.

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Ruff, Dietmar [Verfasser]. "Elektrischer Transport in mikrokristallinem Silizium / vorgelegt von Dietmar Ruff." 2004. http://d-nb.info/983103429/34.

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Brammer, Torsten [Verfasser]. "Die optoelektronischen Eigenschaften von mikrokristallinen Silizium-Solarzellen / vorgelegt von Torsten Brammer." 2002. http://d-nb.info/963930605/34.

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Kanschat, Peter [Verfasser]. "ESR und spinabhängige Rekombination in mikrokristallinem Silizium / vorgelegt von Peter Kanschat." 2000. http://d-nb.info/962370657/34.

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Wahl, Claudia [Verfasser]. "Charakterisierung innerer Grenzflächen in mikrokristallinem SiO2 mit Transmissionselektronenmikroskopie / eingereicht von Claudia Wahl." 2002. http://d-nb.info/96419743X/34.

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Sonnenberg, Nadine [Verfasser]. "Theoretische Untersuchungen zur Adsorption von Arzneistoffen an Mikrokristalliner Celulose / vorgelegt von Nadine Sonnenberg." 2008. http://d-nb.info/1000067831/34.

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Wilken, Dirk [Verfasser]. "Einfluß von Iodidkonzentration und -verteilung auf die photochemischen Eigenschaften von AgBr1-xIx-Mikrokristallen / von Dirk Wilken." 2000. http://d-nb.info/962687294/34.

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36

Bronner, Wolfgang [Verfasser]. "Einfluss paramagnetischer Defekte auf Transport und Rekombination in mikrokristallinem Silizium / vorgelegt von Wolfgang Bronner." 2004. http://d-nb.info/970182511/34.

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37

Verheyen, Peter [Verfasser]. "Crospovidon als Alternative zu mikrokristalliner Cellulose bei der Herstellung von Pellets / vorgelegt von Peter Verheyen." 2010. http://d-nb.info/1012436098/34.

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Gelbrich, Markus [Verfasser]. "Untersuchungen zur Synthese neuartiger Cellulosematerialien durch topochemische Polymerreaktionen an mikrokristallinen Cellulosen / vorgelegt von Markus Gelbrich." 1999. http://d-nb.info/959320024/34.

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Kühl, Peter [Verfasser]. "Tablettieren von Pellets : Komprimierbarkeit, Kompaktierbarkeit und Integrität in Kombination mit mikrokristalliner Cellulose und Polyethylenglykol / vorgelegt von Peter Kühl." 1999. http://d-nb.info/959533699/34.

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Mai, Frank [Verfasser]. "β-NMR-Untersuchungen [Beta-NMR-Untersuchungen] zum Implantationsverhalten von 12B in amorphem und mikrokristallinem Silizium / vorgelegt von Frank Mai." 2004. http://d-nb.info/98386716X/34.

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Nietgen, Maria [Verfasser]. "Bildung und Zerfall von Silberclustern bei Mikrokristallen fotografischer AgCI-Emulsionen nach der Belichtung in Abhängigkeit von Kristalleigenschaften und äußeren Faktoren / von Maria Nietgen." 2001. http://d-nb.info/964463512/34.

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Krause, Mathias [Verfasser]. "Materialien und Bauelemente auf der Basis von mikrokristallinen SiGe:H- und amorphen SiC:H-Legierungen : Detektion des nahen infraroten und ultravioletten Spektralbereichs / vorgelegt von Mathias Krause." 2001. http://d-nb.info/963920650/34.

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Dissertations / Theses on the topic 'Mikrokristallin'

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