Relevant bibliographies by topics / Mikrotechnologie

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  1. Journal articles
  2. Dissertations / Theses
  3. Books
  4. Book chapters
  5. Conference papers

Academic literature on the topic 'Mikrotechnologie'

Author: Grafiati
Published: 4 June 2021
Last updated: 7 February 2022

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Journal articles on the topic "Mikrotechnologie"

1

Krautheim, Gunter, Christel Reinhold, and Jürgen Grimm. "Mikrotechnologie dual als FH-Studium und Berufsausbildung, Infineon Dresden und die FH Zwickau starten gemeinsames StudienmodellNo Abstract." Vakuum in Forschung und Praxis 15, no. 4 (August 2003): 199–201. http://dx.doi.org/10.1002/vipr.200300189.

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2

Gatzen, H. H. "Anwendung der Mikrotechnologie in der Messtechnik Micro Electro-Mechanical Systems (MEMS) in Precision Engineering." tm - Technisches Messen 66, no. 12 (January 1999). http://dx.doi.org/10.1524/teme.1999.66.12.476.

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Dissertations / Theses on the topic "Mikrotechnologie"

1

Hiller, Karla. "Technologieentwicklung für kapazitive Sensoren mit bewegten Komponenten." Doctoral thesis, Universitätsbibliothek Chemnitz, 2004. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200401375.

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Abstract:
This work is a contribution to technology development of capacitive microsensors with moved components, such as vacuum pressure sensors and angular rate sensors. It describes the sensor principles, Si microfabrication technologies and test results of prototypes
Die Arbeit liefert einen Beitrag zur Technologieentwicklung für kapazitive mikromechanische Sensoren mit bewegten Komponenten (z.B. Vakuumsensoren und Drehratensensoren). Es werden Sensorprinzipien, Herstellungstechnologien und Testergebnisse von Prototypen beschrieben
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2

Leidich, Stefan. "Entwicklung eines integrierten Mikroresonators für die kernmagnetische Resonanzspektroskopie kleinster Probenvolumen." Doctoral thesis, Universitätsbibliothek Chemnitz, 2010. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-201000355.

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Abstract:
In der vorliegenden Arbeit wird ein Mikroresonator für die kernmagnetische Resonanzspektroskopie kleinster Probenvolumen entwickelt. Der Resonator besteht aus einem Mikrodetektor und einer elektrisch steuerbaren Kapazität für den Resonanzabgleich. Beide Bauteile sind speziell an die Anforderungen des Messverfahrens angepasst. Der Mikrodetektor, welcher die Funktion der Erregung der Kernspins und die Detektion des Messsignals erfüllt, weist aufgrund seiner besonderen Geometrie ein weitgehend homogenes statisches Magnetfeld im Bereich des Probenvolumens auf. Daraus resultieren eine Verbesserung der spektralen Auflösung und eine Steigerung der Empfindlichkeit. Die elektrisch steuerbare Kapazität weist eine hohe elektrische Güte und eine hohe Spannungsfestigkeit auf, wodurch die Verwendung von hohen Pulsleistungen möglich ist. Der Nachweis der Funktionalität des Systems erfolgt durch die Integration des Mikroresonators in einen Probenkopf, welcher zur Messung von Test- und Referenzsignalen eingesetzt wird. Anhand der Messwerte wird gezeigt, dass die neue Entwicklung eine sehr hohe Empfindlichkeit und eine deutlich höhere spektrale Auflösung als andere Detektorsysteme dieser Art aufweist und somit besonders gut für die Messung von sehr kleinen Probenvolumen geeignet ist
The thesis describes the development of a micro resonator for nuclear magnetic resonance (NMR) spectroscopy of very small sample volumes. The resonator consists of a microcoil and an electrically adjustable capacitance for resonance tuning. Both components are specially designed for the purpose of NMR. The microcoil excites the nuclear spins and detects the measurement signal. Due to the special cylindrical geometry, the detector provides a very homogenous spatial distribution of the static magnetic field at the location of the sample. This leads to improved spectral resolution and increased sensitivity. The electrically adjustable capacitance provides a high quality factor and high voltage stability. Hence, short excitation pulses with high bandwidth can be applied. The components are integrated into a specially designed probe. The functionality of the system is demonstrated by test and reference measurements. The measurement results verify the high sensitivity and the high spectral resolution. Hence, the system is applicable and well suited for NMR measurements of small sample volumes
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3

Leidich, Stefan. "Entwicklung eines integrierten Mikroresonators für die kernmagnetische Resonanzspektroskopie kleinster Probenvolumen." Doctoral thesis, Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz, 2009. https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A19286.

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Abstract:
In der vorliegenden Arbeit wird ein Mikroresonator für die kernmagnetische Resonanzspektroskopie kleinster Probenvolumen entwickelt. Der Resonator besteht aus einem Mikrodetektor und einer elektrisch steuerbaren Kapazität für den Resonanzabgleich. Beide Bauteile sind speziell an die Anforderungen des Messverfahrens angepasst. Der Mikrodetektor, welcher die Funktion der Erregung der Kernspins und die Detektion des Messsignals erfüllt, weist aufgrund seiner besonderen Geometrie ein weitgehend homogenes statisches Magnetfeld im Bereich des Probenvolumens auf. Daraus resultieren eine Verbesserung der spektralen Auflösung und eine Steigerung der Empfindlichkeit. Die elektrisch steuerbare Kapazität weist eine hohe elektrische Güte und eine hohe Spannungsfestigkeit auf, wodurch die Verwendung von hohen Pulsleistungen möglich ist. Der Nachweis der Funktionalität des Systems erfolgt durch die Integration des Mikroresonators in einen Probenkopf, welcher zur Messung von Test- und Referenzsignalen eingesetzt wird. Anhand der Messwerte wird gezeigt, dass die neue Entwicklung eine sehr hohe Empfindlichkeit und eine deutlich höhere spektrale Auflösung als andere Detektorsysteme dieser Art aufweist und somit besonders gut für die Messung von sehr kleinen Probenvolumen geeignet ist.
The thesis describes the development of a micro resonator for nuclear magnetic resonance (NMR) spectroscopy of very small sample volumes. The resonator consists of a microcoil and an electrically adjustable capacitance for resonance tuning. Both components are specially designed for the purpose of NMR. The microcoil excites the nuclear spins and detects the measurement signal. Due to the special cylindrical geometry, the detector provides a very homogenous spatial distribution of the static magnetic field at the location of the sample. This leads to improved spectral resolution and increased sensitivity. The electrically adjustable capacitance provides a high quality factor and high voltage stability. Hence, short excitation pulses with high bandwidth can be applied. The components are integrated into a specially designed probe. The functionality of the system is demonstrated by test and reference measurements. The measurement results verify the high sensitivity and the high spectral resolution. Hence, the system is applicable and well suited for NMR measurements of small sample volumes.
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Forke, Roman. "Mikromechanisches kraftgekoppeltes Sensor-Aktuator-System für die resonante Detektion niederfrequenter Schwingungen." Doctoral thesis, Universitätsbibliothek Chemnitz, 2013. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-100498.

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Abstract:
Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung und Charakterisierung eines mikromechanischen kraftgekoppelten Schwingsystems für die resonante Detektion niederfrequenter Schwingungen. Es wird ein neuartiges Prinzip vorgestellt, das es ermöglicht, niederfrequente Vibrationen frequenzselektiv zu erfassen. Mittels Amplitudenmodulation wird das niederfrequente Signal in einen höheren Frequenzbereich umgesetzt. Durch Ausnutzung der mechanischen Resonanzüberhöhung wird aus dem breitbandigen Signal ein schmales Band herausgefiltert, die anderen Frequenzbereiche werden unterdrückt. Auf diese Weise wird direkt die spektrale Information des niederfrequenten Signals gewonnen. Eine Fourier-Transformation ist hierbei nicht notwendig. Die Abstimmung des Sensors erfolgt über eine Wechselspannung und führt dadurch zu einer einfachen Auswertung. Die Schwerpunkte der Arbeit liegen in den theoretischen Untersuchungen zum neuartigen Sensorprinzip, in der Entwicklung einer mikromechanischen Sensorstruktur zum Einsatz des neuen Prinzips sowie in der Entwicklung und Charakterisierung eines Messsystems zur Detektion niederfrequenter mechanischer Schwingungen mit dem neuen Sensor
This thesis describes the development and characterization of a micromechanical force coupled oscillator system for the resonant detection of low frequency vibrations. It presents a novel working principle that enables spectral measurements of low frequency vibrations. The low frequency spectral content is converted into a higher frequency range by means of amplitude modulation. Due to the mechanical resonance a narrow band is filtered out of the wide band vibration signal. The remaining frequency content is suppressed. Hence, the spectral information is directly obtained with the sensor system without a fast Fourier transform. The tuning is done with an AC voltage resulting in a simple analysis. The main focuses of the work are the theoretical analysis of this novel sensor principle, the development of the micromechanical sensor structure for the use of the novel principle as well as the development and characterization of a measurement system for the spectral detection of low frequency mechanical vibrations with the developed sensor system
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Forke, Roman. "Mikromechanisches kraftgekoppeltes Sensor-Aktuator-System für die resonante Detektion niederfrequenter Schwingungen." Doctoral thesis, Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz, 2012. https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A19809.

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Abstract:
Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung und Charakterisierung eines mikromechanischen kraftgekoppelten Schwingsystems für die resonante Detektion niederfrequenter Schwingungen. Es wird ein neuartiges Prinzip vorgestellt, das es ermöglicht, niederfrequente Vibrationen frequenzselektiv zu erfassen. Mittels Amplitudenmodulation wird das niederfrequente Signal in einen höheren Frequenzbereich umgesetzt. Durch Ausnutzung der mechanischen Resonanzüberhöhung wird aus dem breitbandigen Signal ein schmales Band herausgefiltert, die anderen Frequenzbereiche werden unterdrückt. Auf diese Weise wird direkt die spektrale Information des niederfrequenten Signals gewonnen. Eine Fourier-Transformation ist hierbei nicht notwendig. Die Abstimmung des Sensors erfolgt über eine Wechselspannung und führt dadurch zu einer einfachen Auswertung. Die Schwerpunkte der Arbeit liegen in den theoretischen Untersuchungen zum neuartigen Sensorprinzip, in der Entwicklung einer mikromechanischen Sensorstruktur zum Einsatz des neuen Prinzips sowie in der Entwicklung und Charakterisierung eines Messsystems zur Detektion niederfrequenter mechanischer Schwingungen mit dem neuen Sensor.
This thesis describes the development and characterization of a micromechanical force coupled oscillator system for the resonant detection of low frequency vibrations. It presents a novel working principle that enables spectral measurements of low frequency vibrations. The low frequency spectral content is converted into a higher frequency range by means of amplitude modulation. Due to the mechanical resonance a narrow band is filtered out of the wide band vibration signal. The remaining frequency content is suppressed. Hence, the spectral information is directly obtained with the sensor system without a fast Fourier transform. The tuning is done with an AC voltage resulting in a simple analysis. The main focuses of the work are the theoretical analysis of this novel sensor principle, the development of the micromechanical sensor structure for the use of the novel principle as well as the development and characterization of a measurement system for the spectral detection of low frequency mechanical vibrations with the developed sensor system.
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Steinebach, Mario, Katharina Thehos, Christine Häckel-Riffler, Anett Michael, and Franziska Männel. "TU-Spektrum 2/2011, Magazin der Technischen Universität Chemnitz." Universitätsbibliothek Chemnitz, 2011. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-76123.

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7

Geßner, Thomas, Stefan E. Schulz, Karla Hiller, Thomas Otto, Christian Radehaus, Wolfram Dötzel, Dietmar Müller, et al. "Profillinie 3: Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik." Universitätsbibliothek Chemnitz, 2005. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200501510.

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Abstract:
Der Siegeszug der Mikroelektronik ist faszinierend. In den vergangenen Jahrzehnten bestimmte die Mikroelektronik das Geschehen in der Informationstechnik: Immer leistungsstärkere Computer, vernetzte Systeme und das Internet sind ohne Mikroelektronik nicht denkbar. Weltweit haben Mikroelektronik-Firmen ihre strategischen Ziele im Rahmen einer in regelmäßigen Abständen aktualisierten “Roadmap” niedergelegt. Alle gehen davon aus, dass die bisher zu beobachtende Steigerung der Leistungsfähigkeit mikroelektronischer Produkte auch in den nächsten Jahrzehnten fortgesetzt werden wird. Das bedeutet konkret, dass an vielen Stellen – auch in der heutigen Massenfertigung der Mikroelektronik – die charakteristischen Abmessungen der Einzelelemente im Nanometerbereich liegen, also eigentlich schon als Nanoelektronik bezeichnet werden können. Hinzu kommt ein weiteres, ebenso spannendes Feld: die Mikrosystemtechnik.
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Steinebach, Mario, Alexander Friebel, Christine Häckel-Riffler, Volker Tzschucke, Wolfram Dötzel, Egon Müller, Thomas Gäse, et al. "TU-Spektrum "Sonderausgabe Auto & Verkehr" 2004, Magazin der Technischen Universität Chemnitz." Universitätsbibliothek Chemnitz, 2004. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200400909.

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9

Steinebach, Mario, Christine Häckel-Riffler, Caroline Pollmer, Antje Brabandt, Janine Mahler, Michael Chlebusch, Thomas Doriath, et al. "TU-Spektrum 2/2006, Magazin der Technischen Universität Chemnitz." Universitätsbibliothek Chemnitz, 2006. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200601045.

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10

Steinebach, Mario, Christine Häckel-Riffler, Caroline Pollmer, Antje Brabandt, Janine Mahler, Michael Chlebusch, Thomas Doriath, Rico Hinkel, and Anett Kretzer. "TU-Spektrum 1/2006, Magazin der Technischen Universität Chemnitz." Universitätsbibliothek Chemnitz, 2006. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200600234.

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Books on the topic "Mikrotechnologie"

1

Globisch, Sabine. Lehrbuch Mikrotechnologie. München: Carl Hanser Verlag GmbH & Co. KG, 2011. http://dx.doi.org/10.3139/9783446429741.

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2

Dr.-Ing. Paul Christiani GmbH & Co. Technisches Wörterbuch für die Mikrotechnologie: Englisch - Deutsch, Deutsch - Englisch. Konstanz: P. Christiani, 2008.

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Book chapters on the topic "Mikrotechnologie"

1

Reinecke, Holger, and Claas Müller. "Mikrotechnologien." In Sensortechnik, 193–309. Berlin, Heidelberg: Springer Berlin Heidelberg, 2014. http://dx.doi.org/10.1007/978-3-642-29942-1_6.

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2

Tränkler, Hans-Rolf, and Ernst Obermeier. "Mikrotechnologien." In Sensortechnik, 165–284. Berlin, Heidelberg: Springer Berlin Heidelberg, 1998. http://dx.doi.org/10.1007/978-3-662-09866-0_6.

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3

Haefer, René A. "Mikrotechnologien als Anwendung von Methoden der Oberflächen- und Dünnschicht-Technologie." In WFT Werkstoff-Forschung und -Technik, 168–238. Berlin, Heidelberg: Springer Berlin Heidelberg, 1991. http://dx.doi.org/10.1007/978-3-642-87679-0_7.

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4

Leester-Schädel, Monika. Lehrbuch Mikrotechnologie, 17–34. München: Carl Hanser Verlag GmbH & Co. KG, 2011. http://dx.doi.org/10.3139/9783446429741.001.

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5

Bödige, Jana. Lehrbuch Mikrotechnologie, 35–72. München: Carl Hanser Verlag GmbH & Co. KG, 2011. http://dx.doi.org/10.3139/9783446429741.002.

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6

Krehbiel, Michael. Lehrbuch Mikrotechnologie, 73–82. München: Carl Hanser Verlag GmbH & Co. KG, 2011. http://dx.doi.org/10.3139/9783446429741.003.

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7

Krehbiel, Michael. Lehrbuch Mikrotechnologie, 83–114. München: Carl Hanser Verlag GmbH & Co. KG, 2011. http://dx.doi.org/10.3139/9783446429741.004.

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Bödige, Jana. Lehrbuch Mikrotechnologie, 115–58. München: Carl Hanser Verlag GmbH & Co. KG, 2011. http://dx.doi.org/10.3139/9783446429741.005.

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Petzold, Hans-Christian, and Christian Beckhaus. Lehrbuch Mikrotechnologie, 159–204. München: Carl Hanser Verlag GmbH & Co. KG, 2011. http://dx.doi.org/10.3139/9783446429741.006.

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Sander, Ulrich, Holger Gerdes, and Ralf Bandorf. Lehrbuch Mikrotechnologie, 205–28. München: Carl Hanser Verlag GmbH & Co. KG, 2011. http://dx.doi.org/10.3139/9783446429741.007.

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Conference papers on the topic "Mikrotechnologie"

1

Eckle, Stefanie, and Nicolas Hübener. "S2.4 - Der Ausbildungsverbund Mikrotechnologie Berlin-Brandenburg." In SENSOR+TEST Conferences 2009. AMA Service GmbH, Von-Münchhausen-Str. 49, 31515 Wunstorf, Germany, 2009. http://dx.doi.org/10.5162/sensor09/v1/s2.4.

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