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Dissertations / Theses on the topic 'Plasma de haute densité'

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Neuilly, François. "Caractérisations optique et électrique d'un plasma de chlore haute densité et effets des interactions plasma/surface en gravure silicium." Université Joseph Fourier (Grenoble), 2000. http://www.theses.fr/2000GRE10118.

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Abstract:
Dans ce travail, nous avons etudie les plasmas inductifs en chimie chloree, leurs interactions avec la surface du reacteur et l'impact de celles-ci lors de la gravure avancee en micro-electronique. Nous avons utilise principalement deux diagnostics plasma in-situ et non perturbants : la sonde electrostatique et la spectrometrie d'absorption u. V. La sonde electrostatique plane permet de mesurer le flux ionique sur les parois du reacteur. Grace a un couplage capacitif, elle est tolerante aux depots sur sa surface. Elle fonctionne aussi avec les plasmas electronegatifs, mais a fortes pressions,
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Gaufridy, François de Dortan de. "Etude de l'influence de l'environnement plasma sur les sections efficaces d'excitation collisionnelle électron-ion dans un plasma chaud et dense." Paris 11, 2003. http://www.theses.fr/2003PA112016.

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Abstract:
Les sections efficaces d'excitation collisionnelle sont des ingrédients essentiels dans la modélisation des propriétés radiatives d'un plasma hors équilibre thermodynamique. Dans le cas où le système électron-ion peut être considéré comme isolé, diverses méthodes quantiques issues de la théorie de la diffusion existent pour traiter correctement ce problème. Dans un plasma dense, on s'attend à ce que les particules voisines perturbent considérablement ces transitions. La modélisation du plasma par l'intermédiaire d'un potentiel perturbateur purement radial a déjà été effectuée, mais elle n'est
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Hazebrouck, Sabine. "Planarisation de structures multicouches en technologie bipolaire de circuits intégrés à haute densité d'intégration." Lille 1, 1991. http://www.theses.fr/1991LIL10056.

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Abstract:
L'introduction d'une étape de planarisation dans les technologies bipolaires actuelles augmente la fiabilité des circuits intégrés, pouvant comporter jusqu'à trois niveaux de métallisation. Elle permettra également leur future densification. La technique de planarisation «Resist Etch Back» ou «REB», développée dans ce rapport de thèse, comprend deux sujets d'étude: 1) La planarisation d'une topographie par de la résine. 2) La gravure par plasma de deux matériaux à la même vitesse : l'Etch-Back. Par l'utilisation de plans d'expérience, nous modélisons l'influence des principaux paramètres de ce
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Meziani, Tarik. "Développement d'une source plasma haute-densité à couplage inductif améliorée par adjonction d'un noyau magnétique : application au dépôt de couches minces de carbone adamantin." Orléans, 2002. http://www.theses.fr/2002ORLE2056.

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Abstract:
Ce travail porte sur le développement d'une nouvelle source inductive permettant le dimensionnement vers un réacteur de grande surface. Nous avons pu montrer que l'adjonction d'un noyau magnétique permet d'accroître l'intensité de la composante radiale de l'induction magnétique entraînant une augmentation de la puissance absorbée et de la densité plasma. L'utilisation combinée d'un noyau magnétique et d'un diélectrique d'épaisseur réduite permet de multiplier la densité de particules chargées par un facteur 3. Comparée à une source classique utilisant une antenne prenant la forme d'une spirale
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Chatain, Franck. "Caractérisation de réacteurs à plasma basse pression-haute densité : étude de la cinétique des ions par fluorescence induite par laser." Université Joseph Fourier (Grenoble), 1995. http://www.theses.fr/1995GRE10121.

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Abstract:
Les traitements de materiaux par plasma sont actuellement largement utilises dans la plupart des industries bien que les processus physiques qui regissent ces decharges ne soient pas totalement maitrises. Avec l'essor de nouvelles sources optiques, le diagnostic de fluorescence laser, non perturbatif vis a vis du milieu, associe aux diagnostics electriques, permet la caracterisation de sources a plasma basse pression. Grace a cet outil, on peut ainsi comprendre la cinetique des ions (production, excitation, diffusion) et mesurer les parametres critiques influant sur la qualite du traitement (f
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Pires, Fabrice. "Etude de diélectriques à faible permittivité destinés à l'isolation des niveaux d'interconnexions de circuits intégrés de haute densité." Lyon, INSA, 1999. http://www.theses.fr/1999ISAL0072.

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Abstract:
Ce mémoire présente l'étude de matériaux isolants à faible permittivité destinés à être utilisés dans les interconnexions des circuits intégrés. Trois matériaux ont été particulièrement évalués : a) l'oxyde de silicium fluoré (SiOF) déposé par PECVD et HDPCVD, b) le méthyl-silsesquioxane (MSQ) déposé par centrifugation de solution, c) l'hydrogènesilsesquioxane (HSQ) déposé aussi par centrifugation de solution. Dans le cas du SiOF, il a été démontré que la stabilité du matériau augmentait avec la densité et diminuait avec. Le taux en fluor. Ainsi, la stabilité du matériau ne peut être réalisée
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Quéméré, Samuel. "Membrane à haute densité d'énergie et durée de vie optimisée pour des systèmes de stockage électrochimique de l'énergie." Thesis, Rennes 1, 2018. http://www.theses.fr/2018REN1S103.

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Abstract:
Cette thèse a consisté en la fabrication d’électrodes de charbon actif frittées par SPS destinées aux supercondensateurs à double couche électrochimique. L’influence des paramètres de frittage (température, pression, durée du palier isotherme et vitesses de chauffe et de refroidissement) sur les propriétés structurales et microstructurales des pastilles de charbon actif a été évaluée par diffraction des rayons X, microscopie électronique à balayage et en transmission, spectrométrie de photoélectrons X, mesures de surface spécifique et de volume microporeux et détermination des propriétés mécan
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Francou, Mireille. "EEtude de la gravure profonde du silicium dans un réacteur haute-densité micro-onde de type propagatif." Université Joseph Fourier (Grenoble), 1995. http://www.theses.fr/1995GRE10090.

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Abstract:
Dans le domaine des microtechnologies, la realisation de microcapteurs necessite la maitrise de procedes d'usinage en volume du silicium. La gravure humide, couramment utilisee connait aujourd'hui des limitations dues principalement a la difficulte de realisation de geometries particulieres. La gravure par plasma s'avere donc interessante pour outrepasser ces limitations, car elle devrait permettre une plus grande liberte quand aux geometries obtenues. Les recherches entreprises en gravure seche ont porte essentiellement sur l'optimisation de procedes pour des applications micro-electroniques.
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Morgenroth, Laurence. "Étude de la gravure profonde de l'oxyde de silicium dans un réacteur haute-densité micro-onde de type propagatif." Université Joseph Fourier (Grenoble ; 1971-2015), 1994. http://www.theses.fr/1994GRE10079.

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Abstract:
Nous avons etudie l'une des etapes courantes de la fabrication des circuits integres, c'est-a-dire la gravure de l'oxyde de silicium. Afin de controler la temperature du substrat sous plasma, nous avons introduit entre le substrat et l'electrode refroidie a l'azote liquide un systeme de clampage electrostatique. Nous avons etudie differents materiaux et experimente la maniere de les assembler afin que l'ensemble resiste a des variations de temperature de l'ordre de 200 degres. Les connecteurs amenant la haute-tension au travers de l'electrode r. F. Ont ete fiabilises. L'ensemble a ete integre
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Derkaoui, Nadira. "Etude des plasmas micro-ondes à haute densité de puissance en systèmes H₂-CH₄ et H₂-CH₄-B₂H₆." Paris 13, 2012. http://scbd-sto.univ-paris13.fr/intranet/edgalilee_th_2012_derkaoui.pdf.

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Abstract:
Cette thèse porte sur l’étude de plasmas micro-ondes à haute densité de puissance en mélanges H₂/CH₄ et H₂/CH₄/B₂H₆, utilisés pour le dépôt de diamant intrinsèque et de diamant dopé au bore. L’objectif est la compréhension des phénomènes se déroulant dans le plasma et à l’interface plasma/surface dans des conditions de haute puissance et haute pression (haute densité de puissance) afin de dépasser les limites des réacteurs actuels en terme de vitesse de croissance, à qualité (notamment pureté) et surface de dépôt constantes. L’étude repose sur une approche expérimentale et théorique qui permet
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Vérove, Christophe. "Etude des mécanismes de gravure des grilles polysilicium en plasma haute densité pour les technologies CMOS submicroniques : caractérisation des défauts électriques induits sur structures MOS." Lyon, INSA, 1998. http://www.theses.fr/1998ISAL0004.

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Abstract:
Ce travail porte sur l'étude de la gravure des grilles en polysilicium de structures MOS largement submicroniques dans les plasmas réactifs haute densité. Dans une première partie sont étudiés les mécanismes de gravure du polysilicium par des plasmas de HBr et Cl2, générés dans un réacteur Helicon. Nous montrons que le modèle de gravure de Mayer et Barker (1982) relie de façon tout-à fait satisfaisante les flux d'ions et de neutres à la vitesse de gravure, dans une large gamme de pression et de densité ionique, et les résultats expérimentaux mettent clairement en évidence la synergie ion/neutr
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de, Gaufridy de Dortan François. "Etude de l'influence de l'environnement plasma sur les sections efficaces d'excitation collisionnelle électron-ion dans un plasma chaud et dense." Phd thesis, Université Paris Sud - Paris XI, 2003. http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00008508.

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Abstract:
Les sections efficaces d'excitation collisionnelle sont des ingrédients essentiels dans la modélisation des propriétés radiatives d'un plasma hors équilibre thermodynamique. Dans le cas où le système électron-ion peut être considéré comme isolé, diverses méthodes quantiques issues de la théorie de la diffusion existent pour traiter correctement ce problème. Dans un plasma dense, on s'attend à ce que les particules voisines perturbent considérablement ces transitions. La modélisation du plasma par l'intermédiaire d'un potentiel perturbateur purement radial à déjà été effectuée, mais elle n'est
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Godbert, Laurence. "Contribution au développement de méthodes de diagnostics et de simulation pour les plasmas de haute énergie." Aix-Marseille 1, 1994. http://www.theses.fr/1994AIX11055.

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Abstract:
L'etude des plasmas chauds et denses necessite la mesure in situ de la densite electronique. Cette these presente une methode de diagnostic basee sur l'analyse des profils de raies issues d'ions multicharges a un ou plusieurs electrons. Les calculs algebriques complexes qui accompagnent la modelisation des raies spectrales resultant de transitions entre niveaux de nombre quantique eleve ont ete facilites par l'utilisation d'une methode de calcul rapide le modele de fluctuation de frequence (mff). Celui-ci prend en compte l'effet des fluctuations du champ ionique (effet de dynamique des ions) e
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Botha, Roelene. "Dépôt de couches minces par plasma haute densité à basse press influence de l'injection de silane sur la cinétique du dépôt et le propriétés de la silice." Phd thesis, Ecole Polytechnique X, 2008. http://pastel.archives-ouvertes.fr/pastel-00004404.

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Abstract:
Il s'agit de dépôt de silice utilisant le silane et l'oxygène dans un système plasma haute densité. L'influence des paramètres du procédé et du système d'injection du silane sur les propriétés des matériaux sont étudiés par ellipsométrie spectroscopique, spectroscopie infrarouge à transformée de Fourier, spectroscopie de transmission et microscopie à force atomique. On étudie la phase gazeuse par spectroscopie d'émission optique et spectrométrie de masse quadripolaire avec pompage différentiel. La création de l'eau dans le système et son incorporation dans les couches pendant le dépôt sont étu
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Delmotte, Franck. "Dépôts de films minces SiNx assistés par plasma de haute densité. Etudes corrélées de la phase gazeuse, de l'interface SiNx/InP et de la passivation du transistor bipolaire à hétérojonction InP." Phd thesis, Université Paris Sud - Paris XI, 1998. http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00430327.

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Abstract:
L'objet de cette étude est le dépôt de films minces SiNx à basse température assisté par plasma de haute densité de type DECR (Distributed Electron Cyclotron Resonance) et leur application à la passivation des dispositifs optoélectroniques à base d'InP, tel que le transistor bipolaire à hétérojonction. Dans un premier temps, nous comparons les différentes sources de plasma de haute densité qui sont utilisées pour le dépôt de nitrure de silicium et nous présentons un bilan des diverses méthodes de désoxydation des matériaux semiconducteurs utilisés dans les dispositifs optoélectroniques à base
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Botha, Roelene. "Dépôt de couches minces par plasma haute densité à basse pression : influence de l'injection de silane sur la cinétique du dépôt et les propriétés de la silice." Palaiseau, Ecole polytechnique, 2008. http://www.theses.fr/2008EPXX0019.

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Abstract:
Il s’agit de dépôt de silice utilisant le silane et l’oxygène dans un système plasma haute densité. L’influence des paramètres du procédé et du système d’injection du silane sur les propriétés des matériaux sont étudiés par ellipsométrie spectroscopique, spectroscopie infrarouge à transformée de Fourier, spectroscopie de transmission et microscopie à force atomique. On étudie la phase gazeuse par spectroscopie d’émission optique et spectrométrie de masse quadripolaire avec pompage différentiel. La création de l’eau dans le système et son incorporation dans les couches pendant le dépôt sont étu
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Fenzi, Christel. "Etude des fluctuations de densité dans les plasmas du tokamak Tore Supra : asymétries haut-bas et effet du limiteur sur la turbulence." Aix-Marseille 1, 1999. http://www.theses.fr/1999AIX11043.

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Abstract:
Dans une machine a fusion par confinement magnetique, l'optimisation du depot de puissance sur les composants face au plasma est cruciale. Celui-ci est controle par la diffusivite de la chaleur le long des lignes de champ, elle meme controlee par la turbulence de bord. L'observation d'asymetries spatiales de la turbulence de bord releve donc, dans ce contexte, d'un grand interet. Ce travail concerne les asymetries haut-bas des fluctuations de densite observees dans tore supra par diffusion thomson coherente. Il est montre qu'elles sont etroitement correlees a la configuration geometrique du pl
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Dizière, Alexandra. "Astrophysique de laboratoire avec les lasers de haute énergie et de haute puissance : des chocs radiatifs aux jets d'étoiles jeunes." Phd thesis, Ecole Polytechnique X, 2012. http://pastel.archives-ouvertes.fr/pastel-00681798.

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Abstract:
L'astrophysique de laboratoire est un domaine de la Physique des Hautes Densités d'Énergie en plein essor. Elle vise à recréer en laboratoire des processus physiques difficilement accessibles avec les diagnostics astronomiques. Nous aborderons, dans cette thèse, trois sujets majeurs: 1) les jets issus d'étoiles jeunes caractérisés par une collimation importante et se terminant par un choc d'étrave; 2) les chocs radiatifs pour lesquels le rayonnement propre du choc joue une rôle prépondérant dans sa structure et 3) les chocs d'accrétion dans le cas des variables cataclysmiques magnétiques dont
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BELL, FERDINAND. "Developpement et caracterisation des procedes de gravure de la grille en polysilicium dans une source plasma haute densite." Nantes, 1996. http://www.theses.fr/1996NANT2018.

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Abstract:
Ce travail montre que l'utilisation d'un masque dur d'oxyde plutot qu'un masque organique en resine augmente considerablement la robustesse des procedes de gravure de la grille en polysilicium et permet la gravure de la grille sur des oxydes minces de 45 a sans creation de defauts structuraux dans les zones actives. La generation de defauts structuraux observes dans le silicium massif du substrat sous l'oxyde de grille est attribuee au trenching induit en bord de grille par le pas de gravure principal du plasma et transfere dans l'oxyde de grille pendant la transition entre l'etape de gravure
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Piron, Robin. "Atome moyen variationnel dans les plasmas quantiques." Phd thesis, Palaiseau, Ecole polytechnique, 2009. http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00446558.

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Abstract:
Le calcul des propriétés radiatives des plasmas denses fait en général appel au concept d'atome dans un plasma. Parmi les modèles qui définissent un tel concept, les modèles d'atome moyen représentent souvent un point de départ indispensable avant des approches statistiques plus sophistiquées. En outre, ils permettent de calculer les propriétés thermodynamiques ainsi que certains coefficients de transport. Depuis l'application du modèle quasiclassique de Thomas-Fermi aux plasmas denses par Feynman, Metropolis et Teller, toutes ses généralisations quantiques ont conduit à des modèles qui présen
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Hardy, Lise. "Identification de nouveaux acteurs du métabolisme des HDL : impact sur les maladies cardiovasculaires Critical role of the human ATP-binding cassette G1 transporter in cardiometabolic diseases A Genome Wide Association Study on plasma FV levels identified PLXDC2 as a new modifier of the coagulation process." Thesis, Sorbonne université, 2019. http://www.theses.fr/2019SORUS546.

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Abstract:
De faibles concentrations de cholestérol associé aux HDL (HDL-C) est un facteur de risque indépendant des maladies cardiovasculaires (MCV). Les HDL sont capables de réaliser de l’efflux de lipides des tissus périphériques pour assurer son retour vers le foie, et ont des rôles athéroprotecteurs. Le travail mené ici vise à identifier de nouveaux acteurs impliqués dans la détermination des fonctions des HDL. Le transporteur ABCG1 réalise de l’efflux de cholestérol, de phospholipides (PL), ou encore de vitamines à partir des macrophages périphériques vers les HDL. Nous avons montré que la stimulat
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Douysset, Guilhem. "Mesures des densites ioniques dans un plasma de source d'ions a resonance cyclotronique electronique par spectroscopie x haute resolution." Paris 6, 1998. http://www.theses.fr/1998PA066473.

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Abstract:
Les source d'ions a resonance cyclotronique electronique (rce) representent actuellement le meilleur compromis pour la fourniture de faisceaux intenses d'ions positifs fortement charges. Leurs performances ont, au cours de ces dernieres annees, constamment evolue. Neanmoins aujourd'hui leur amelioration passe par une meilleure comprehension des mecanismes regissant la production et le confinement des ions dans ces machines. Ce travail avait pour objet de mesurer les densites d'ions multicharges au sein d'un plasma rce par spectroscopie d'emission x. La distribution des densites obtenue a pu, p
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Syeda, Farisa. "Capacité du plasma à promouvoir l'efflux du cholestérol cellulaire en période postprandiale chez l'homme normolipidémique sous régimes contrôlés : rôle des acides gras alimentaires, des enzymes de transfert des lipides et des lipoprotéines plasmatiques." Paris 11, 2001. http://www.theses.fr/2001PA112339.

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Abstract:
Les maladies cardiovasculaires représentent une des principales causes de morbidité et de mortalité dans les pays industrialisés. La nutrition peut largement influencer certaines de ces facteurs de risques. Dans le cadre d'études de mesures de prévention des maladies cardiovasculaires nous avons étudié chez les sujets sains, normalipidémiques,le rôle des acides gras alimentaires dans l'évolution des facteurs de risque plasmatiques à l'état à jeun et en période postprandiale. En parallèle, la capacité d'épuration du cholestérol cellulaire par les lipoprotéines plasmatiques a été évaluée. Les ré
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Del, Sorbo Dario. "An entropic approach to magnetized nonlocal transport and other kinetic phenomena in high-energy-density plasmas." Thesis, Bordeaux, 2015. http://www.theses.fr/2015BORD0336/document.

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Abstract:
Les simulations hydrodynamiques pour la physique de haute densité d'énergie ainsi que pour la fusion par confinement inertiel exigent une description détaillée de flux d'énergie. Le mécanisme principal est le transport électronique, qui peut être un phénoméne non local qui doit être décrit avec des modèles de Fokker-Planck, stationnaires et simplifiés dans les codes hydrodynamiques à grande échelle. Mon travail thèse est consacré au développement d'un nouveau modèle de transport non local basé sur l'utilisation d'une méthode de fermeture entropique pour la résolution des premiers moments de l'
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Homsy, Rania. "Isolement et caracterisation d'une metalloprotease du serum humain associee aux lipoproteines de haute densite (hdl), role de cette enzyme dans le catabolisme de l'apolipoproteine a-i." Paris 6, 1987. http://www.theses.fr/1987PA066433.

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Abstract:
Mise en evidence d'une activite metalloproteasique vehiculee par les lipoproteines de haute densite (hdl) dans le serum humain. Cette activite est caracterisee par sa specificite sur le substrat synthetique (le suc (ala) 3na) et son profil d'inhibition. L'hydrolyse de ce substrat par cette protease necessite l'action simultanee de deux activites enzymatiques (endopeptidase, et aminopeptidase). Apres une prepurification du serum humain normal ou d'un plasma de patient atteint de la maladie de tangier par deux chromatographies successives, ces deux activites enzymatiques ont pu etre separees par
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Riquier, Raphaël. "Magnetic field in laser plasmas : non-local electron transport and reconnection." Thesis, Université Paris-Saclay (ComUE), 2016. http://www.theses.fr/2016SACLX004/document.

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Abstract:
Dans le cadre de la fusion par confinement inertiel, une capsule contenant le combustible de deutérium-tritium est implosée soit par irradiation laser (attaque directe, interaction laser – cible de numéro atomique faible), soit par un rayonnement de corps noir émis par une cavité convertissant le rayonnement laser (attaque indirecte, interaction laser – cible de numéro atomique élevé).Dans les deux cas, une modélisation correcte du transport électronique est cruciale pour avoir des simulations hydro-radiatives prédictives. Cependant, il a été montré très tôt que les hypothèses d'un mécanisme d
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Singh, Raj Laxmi. "Strong radiative shocks relevant for stellar environments : experimental study and numerical approach." Thesis, Paris 6, 2017. http://www.theses.fr/2017PA066092/document.

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Abstract:
Les chocs forts sont présents dans des phénomènes astrophysiques variés. De tels chocs sont fortement influencés par le rayonnement par son couplage avec l’hydrodynamique. Par suite, leur topologie et leur dynamique sont assez complexes. Générer de tels chocs hypersoniques en laboratoire, dans des conditions contrôlées, est ainsi un outil pertinent pour étudier l’influence du rayonnement et pour comparer aux résultats des simulations numériques. Ces chocs sont générés par des lasers intenses et par des moyens électromagnétiques. La première partie du texte est consacré à l’étude numérique et e
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Guyot, Julien. "Particle acceleration in colliding laser-produced plasmas." Thesis, Sorbonne université, 2019. http://www.theses.fr/2019SORUS616.

Full text
Abstract:
Les particules chargées énergétiques sont omniprésentes dans l'Univers et sont accélérées par des sources galactiques et extragalactiques. Comprendre l'origine de ces "rayons cosmiques" est crucial en astrophysique et dans le cadre de l'astrophysique de laboratoire à haute densité d'énergie, nous avons développé une nouvelle plate-forme sur les installations laser LULI pour étudier l'accélération de particules. Dans les expériences, la collision de deux plasmas contre-propageant produits par laser génère une distribution non thermique de particules allant jusqu'à 1 MeV d'énergie. L'objectif de
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Irzyk, Michaël. "Généralisation de faisceaux d'ions à partir de plasmas à haute densité : simulations numériques par code PIC de l'extraction, de la mise en forme du faisceau et de l'usure des grilles, développement de sources radio-fréquences à forte densité de courant (Ar, Xe) et à fort taux de dissociation (O2, N2)." Orléans, 2001. http://www.theses.fr/2001ORLE2036.

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Abstract:
Cette thèse concerne le développement de sources s'ions à fort courant de faisceau (>1mA/cm2) dans la gamme d'énergie du keV à partir de gaz rares (Ar, Xe) et de gaz réactifs (O2, N2). Deux études complémentaires abordant les aspects numériques et expérimentaux ont été menées en parallèle. Dans une première étude, plusieurs codes ont été écrits et parallélisés. Ces codes simulent l'extraction induit par le phénomène d'échange de charges et la mise en forme du faisceau résultant de la somme des micro-faisceaux. Des travaux de validation de ces codes ont été effectués et les résultats expériment
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Delmotte, Franck. "Depots de films minces sin#x assistes par plasma de haute densite. Etudes correlees de la phase gazeuse, de l'interface sin#x/inp et de la passivation du transistor bipolaire a heterojonction inp." Paris 11, 1998. http://www.theses.fr/1998PA112171.

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Abstract:
L'objet de cette etude est le depot de films minces sin#x a basse temperature assiste par plasma de haute densite de type decr (distributed electron cyclotron resonance) et leur application a la passivation des dispositifs optoelectroniques a base d'inp, tel que le transistor bipolaire a heterojonction. Dans un premier temps, nous comparons les differentes sources de plasma de haute densite qui sont utilisees pour le depot de nitrure de silicium et nous presentons un bilan des diverses methodes de desoxydation des materiaux semiconducteurs utilises dans les dispositifs optoelectroniques a base
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Férin, Guillaume. "Optimisation de Réseaux Ultrasonores Haute Densité." Tours, 2006. http://www.theses.fr/2006TOUR3313.

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Belharet, Djaffar. "Etude et validation de boucles d’asservissement permettant le contrôle avancé des procédés en microélectronique : application à l’étape d’isolation par tranchées peu profondes en technologie CMOS." Saint-Etienne, EMSE, 2009. http://www.theses.fr/2009EMSE515M.

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Abstract:
Ces travaux de cette thèse s'inscrivent dans la thématique du développement de techniques de contrôle avancé des procédés dans l'industrie de la microélectronique. Leur but est la mise en place de boucles d'asservissement permettant d'ajuster les paramètres d'un procédé de fabrication en temps réel. Ces techniques ont été appliquées sur le bloc isolation des circuits de la technologie CMOS. L'utilisation de tranchées d'isolation peu profondes est la solution pour les technologies <0,25µm. L'influence de la morphologie du STI sur la génération des contraintes mécaniques est montrée. Des étud
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Medard, Nicolas. "Elaboration par la technique des plasmas froids de nouveaux catalyseurs métallocène supportés par un film polymère." Phd thesis, Université du Maine, 2000. http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00009643.

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Abstract:
Le travail présenté dans ce mémoire concerne la fixation d'un catalyseur métallocène sur un film de polyéthylène haute densité (PEhd) exposé à un plasma froid de dioxyde de carbone. Il s'inscrit dans le cadre de recherches menées au sein du Laboratoire depuis plusieurs années et qui visent à élaborer des matériaux polymères présentant des propriétés superficielles spécifiques. Pour atteindre ce but, notre démarche a consisté d'une part, en l'étude des modifications superficielles ainsi que des mécanismes réactionnels se produisant à l'interface plasma-polymère et d'autre part, en l'exploitatio
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Dubois, David. "Etude de la chimie de la haute et basse atmosphère de Titan : approche expérimentale." Thesis, Université Paris-Saclay (ComUE), 2018. http://www.theses.fr/2018SACLV049/document.

Full text
Abstract:
Je présente ici mes travaux de thèseque j’ai réalisé ces trois dernières années au seindu Laboratoire ATMosphères et Observations Spa-tiales (LATMOS) de l’Université de Versailles St-Quentin-en-Yvelines (UVSQ) et du Jet PropulsionLaboratory (JPL), California Institute of Technol-ogy. Pendant ces 3 ans je me suis intéressé à la réac-tivité chimique des composés organiques en phasegaz et solide, en utilisant des expériences de labo-ratoire simulant les conditions de l’ionosphère et dela basse atmosphère de Titan, le plus gros satellitede Saturne. Titan est la seule lune du Système So-laire qui p
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Belharet, Djaffar. "Etude et validation de boucles d'asservissement permettant le contrôle avancé des procédés en microélectronique : Application à l'étape d'isolation par tranchées peu profondes en technologie CMOS." Phd thesis, Ecole Nationale Supérieure des Mines de Saint-Etienne, 2009. http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00467446.

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Abstract:
Ces travaux de cette thèse s'inscrivent dans la thématique du développement de techniques de contrôle avancé des procédés dans l'industrie de la microélectronique. Leur but est la mise en place de boucles d'asservissement permettant d'ajuster les paramètres d'un procédé de fabrication en temps réel. Ces techniques ont été appliquées sur le bloc isolation des circuits de la technologie CMOS. L'utilisation de tranchées d'isolation peu profondes est la solution pour les technologies <0,25µm. L'influence de la morphologie du STI sur la génération des contraintes mécaniques est montrée. Des études
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Beuf, Guillaume. "Contributions à l'étude des interactions fortes à haute énergie et haute densité." Paris 6, 2009. http://www.theses.fr/2009PA066137.

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Abstract:
En Chromodynamique Quantique dans la limite de haute énergie, des hadrons entrant en collision contiennent de plus en plus de gluons mous, ce qui conduit à un système dense avec une dynamique non-linéaire de saturation. Les solutions de cette évolution pour les amplitudes de diffusion convergent rapidement vers une solution universelle. On introduit le formalisme du Condensat de Verre de Couleur, décrivant ces phénomènes nonlinéaires. On analyse ensuite l'universalité des solutions à l'ordre des logarithmes dominants et au delà, incluant l'effet des ordres supérieurs, du couplage mobile et des
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Jani, Imed. "Test et caractérisation des interconnexions 3D haute densité." Thesis, Université Grenoble Alpes (ComUE), 2019. http://www.theses.fr/2019GREAT094.

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Abstract:
L'intégration de plusieurs puces dans un empilement 3D constitue un autre moyen d'avancer dans le domaine « More-than-Moore ». L’intégration 3D consiste à interconnecter les circuits intégrés en trois dimensions à l'aide des interconnexions inter-puces (µ-bumps ou Cu-Cu interconnexions) et les TSVs (Through Silicon Vias). Ce passage d'une interconnexion horizontale à une interconnexion verticale est très prometteur en termes de rapidité et de performances globales (délai RC, consommation et facteur de forme). D'autre part, pour le développement technologique de l’intégration 3D avant la produc
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Guilbault, Pascal. "Contribution à l'étude d'une technologie d'interconnexion haute densité." Bordeaux 1, 2003. http://www.theses.fr/2003BOR12719.

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Abstract:
L'objectif de cette étude, qui s'intègre dans le cadre du projet européen HEIDI, est de contribuer à l'étude d'une technologie d'interconnexion haute densité, en s'attachant à ses aspects électriques et mécaniques. Les deux technologies build-up développées dans le projet HEIDI servent de base à l'étude : l'une correspond à l'utilisation d'un perçage laser dans des couches de cuivre recouvertes de résine, l'autre fait appel à un diélectrique photosensible. La caractérisation électrique est réalisée en conduisant des simulations et des mesures électriques sur des véhicules de test spécifiques.
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Mimouni, Salim. "Enregistrement de disques optiques haute densité en champ proche." Phd thesis, Université Joseph Fourier (Grenoble), 2007. http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00493016.

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Abstract:
Nos besoins en stockage de données sont explosifs ; générés par des contenus multimédia dont la taille croît coontinuellement, ce qui conduit à une course effrénée à la performance des disques optiques. Cependant, des limites physiques sont rapidement atteintes. Parmi celles-ci, le phénomène de diffraction des ondes lumineuses a limité la capacité du Compact Disc (CD), du DVD et dictera encore celle du « Blu-ray ». Cette thèse se propose de franchir cette barrière à travers une étude approfondie d'une tête optique en champ proche. En effet le système actuel de lecture des disques utilisant l'i
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Lannelongue, Pierre. "Oxydes polycationiques pour supercondensateurs à haute densité d'énergie volumique." Thesis, Montpellier, 2018. http://www.theses.fr/2018MONTS146/document.

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Abstract:
Les supercondensateurs sont des dispositifs de stockage électrochimique de l’énergie très intéressants lorsque des pics de puissance sont mis en jeu. Toutefois, leur densité d’énergie volumique est la principale limite pour leur intégration, en particulier, dans des systèmes de transport terrestre. L’utilisation de matériaux d’électrode ayant un comportement pseudocapacitif et des masses volumiques élevées permettrait d’améliorer la densité d’énergie volumique des supercondensateurs. Avec cet objectif, des dispositifs à base des matériaux de la famille Ba0,5Sr0,5CoxFe1-xO3-δ, nommés BSCFs, ont
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Watson, Guillaume. "Masse volumique et viscosité dynamique sous haute pression de mélanges alcool+hydrocarbures et mise au point d'un conductimètre électrique haute pression." Pau, 2007. http://www.theses.fr/2007PAUU3010.

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Abstract:
Ce travail porte sur l'étude sous haute pression de la masse volumique et de la viscosité dynamique des mélanges alcool + hydrocarbure, et sur le développement d'un conductimètre électrique haute pression. La masse volumique des 3 binaires éthanol + n-heptane, (n-butanol ou n-propanol) + toluène, a été mesurée en fonction de la pression (jusqu'à 65 MPa), de la température (de 293 à 353 K) et de la composition (5 corps purs et 7 mélanges par binaire), soit 2638 points expérimentaux. Avec les données supplémentaires de la littérature sur les 2 binaires éthanol + (méthylcyclohexane ou toluène), i
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Escamilla, Núñez Héctor. "Contribution au guidage des avions en trafic à haute densité." Thesis, Toulouse 3, 2018. http://www.theses.fr/2018TOU30074/document.

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Abstract:
Ce travail est développé dans le contexte des projets SESAR et Next-Gen, où de nouvelles applications de la gestion du trafic aérien (ATM) comme le concept de gestion d'opérations en 4D, se sont focalisées sur les opérations basées sur la trajectoire (TBO - Trajectory Based Operations). Ces opérations sont en relation avec l'extension de la flexibilité de la séparation entre avions, et par conséquence, avec l'augmentation de la capacité du trafic aérien. En sachant qu'une évolution des routes fixes et autorisations émises par le contrôle du trafic aérien (ATC - Air Traffic Control) vers des tr
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Laureaux, Chantal. "Enrichissement en alpha-tocophérol des lipoprotéines de haute densité (1,063." Paris 5, 1996. http://www.theses.fr/1996PA05P614.

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Bianchi, Christophe. "Génération fonctionnelle du test de circuits a haute densité d’intégration." Lyon, INSA, 1990. http://www.theses.fr/1990ISAL0053.

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Abstract:
Ce mémoire de thèse présente une approche innovante dans le domaine de la génération du test de circuits à haute densité d'intégration. Dans le cadre d'un outil de conception de type compilateur de silicium, une méthodologie fonctionnelle de génération du test a été définie, mise en œuvre et validée. Les résultats obtenus prouvent la pertinence de cette méthodologie qui permet d'obtenir des tests efficaces et très adaptés à la validation fonctionnelle de prototypes<br>This document describes an innovative approach in the field of test generation for high density integrated circuits. In the fra
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Faugeras, Clément. "Etude magnéto-optique de systèmes électroniques bidimensionnels de haute densité." Université Joseph Fourier (Grenoble), 2003. http://www.theses.fr/2003GRE10160.

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Fortin, Blanchette Hugo. "Conception d'une alimentation triphasée, à haute densité et à pollution minimale." Mémoire, École de technologie supérieure, 2000. http://espace.etsmtl.ca/858/1/FORTIN_BLANCHETTE_Hugo.pdf.

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Abstract:
Ce travail vise à concevoir une alimentation triphasée CA-CC, à facteur de puissance unitaire, à faible taux de distorsion harmonique et à haute densité de puissance. Le cahier des charges fournit les spécifications nécessaires. Il s'agit donc, par le biais de simulations et d'expérimentations, de valider une topologie choisie à la suite d'une recherche bibliographique. Dans ce rapport sont présentés les résultats de simulations effectuées dans Powerlib et dans Pspice, et les résultats pratiques obtenus sur un prototype de 2kW.
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Piccolboni, Giuseppe. "Etude et intégration de mémoires résistives 3D pour application haute densité." Thesis, Université Grenoble Alpes (ComUE), 2016. http://www.theses.fr/2016GREAT062/document.

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Abstract:
Le but de cette thèse était de caractériser et d’aider au développement des premières mémoires résistives verticales (VRRAM) fabriquées au LETI. Parmi les mémoires émergentes, les mémoires résistives (ReRAM) semblent prometteuses en termes de miniaturisation, de vitesse de commutation, de coût et de simplicité d’intégration. Comme pour les mémoires FLASH, qui ont déjà atteint leur limite physique en terme de miniaturisation, les mémoires résistives ont déjà été étudiées dans une géométrie verticale pour proposer des solutions qui maximisent la densité. Au début de ce travail on a étudié des éc
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Diallo, Devy. "Protéomique des lipoprotéines de haute densité (HDL) : biomarqueurs et applications thérapeutiques." Sorbonne Paris Cité, 2015. http://www.theses.fr/2015USPCC131.

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Abstract:
Au cours de cette thèse, nous nous sommes attachés à identifier des biomarqueurs et en particulier des modifications des lipoprotéines de haute densité (HDL) en situation d'agression : protéolytique, oxydative et bactérienne. Dans un premier temps, nous nous sommes intéressés aux marqueurs solubles issus de la protéolyse de l'hémoglobine dans l'athérothrombose carotidienne et dans l'anévrysme de l'aorte abdominale (AAA). Nous avons identifié un peptide de 3327 Da issu de la protéolyse de la chaine alpha de l'hémoglobine par l'élastase leucocytaire, localisé majoritairement dans la couche lumin
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Martin-Nizard, Françoise. "Homéostasie des lipides cérébraux : rôle des lipoprotéines de haute densité (HDL)." Lille 1, 1989. http://www.theses.fr/1989LIL10054.

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Abstract:
Le transport des lipides au niveau du système nerveux central met en jeu des mécanismes encore méconnus. La barrière hématoencéphalique est le siège d'une très faible endocytose et présente des jonctions sériées entre les cellules endothéliales. L'utilisation d'une sonde lipidique fluorescente "in vivo" chez le rat nous a permis de mettre en évidence le rôle des lipoprotéines de haute densité ou HDL 3 dans l'approvisionnement lipidique cérébral. Une étude du rôle HDL dans les échanges lipidiques entre le sang et le cerveau a été également entreprise dans le cadre d'un dysfonctionnement de la x
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Asbahi, Mohamed. "Enregistrement magnétique ultra-haute densité sur médias discrets à aimantation perpendiculaire." Grenoble 1, 2007. https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00410755.

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Abstract:
Les médias discrets sont une nouvelle technologie potentielle pour augmenter la densité d'enregistrement dans les dispositifs de stockage magnétiques vers 1 Tbitlin2 et au delà. Les médias discrets permettent de vaincre la limite supraparamagnétique, qui est attendue pour apparaître dans les médias d'enregistrement magnétiques conventionnels i des densités de l'ordre de 300 Gb/in2. L'implémentation des médias discrets exige la fabrication de nanostructures sub-50nm sur de larges surfaces à haut rendemant et à bas coût. Dans notre approche, appelée les médias pré-gravés, des pistes de plots sub
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