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Dissertations / Theses on the topic 'PVD-Verfahren'

Author: Grafiati
Published: 4 June 2021
Last updated: 1 February 2022

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1

Fuchs, Henning. "Untersuchungen zur ionenstromangepassten Prozessführung und zu Verfahrensvarianten im gepulsten Vakuumbogen-Beschichtungsprozess." [S.l. : s.n.], 2004. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=973155329.

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2

Back, Christoph. "UHV-Cluster-Anlage zur Herstellung von Dünnfilmstrukturen und Transport- und Rauscheigenschaften von YBa2Cu3O7-d-Korngrenzen-SQUIDs." [S.l. : s.n.], 2007. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=984577629.

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3

Kuhn, Marius. "Verschleissschutzkonzepte für Wälzlager mittels PVD-Beschichtungen /." Aachen : Mainz, 2006. http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&doc_number=016032014&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA.

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4

Pütz, Jörg. "Lösungseinflüsse auf die Eigenschaften transparenter leitfähiger Antimon-dotierter Zinndioxid-Schichten nach dem Sol-Gel Prozeß." [S.l. : s.n.], 2002. http://www.bsz-bw.de/cgi-bin/xvms.cgi?SWB10735457.

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5

Kraschinski, Sven. "Chromtelluride Dünnfilm versus "Bulk" ; David gegen Goliath? /." [S.l.] : [s.n.], 2002. http://e-diss.uni-kiel.de/diss_558/d558.pdf.

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6

Kauffmann, Florian. "Mikrostruktur und Eigenschaften von Titannitrid/Siliciumnitrid-Schichten." [S.l. : s.n.], 2003. http://www.bsz-bw.de/cgi-bin/xvms.cgi?SWB10934921.

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7

Maes, Michel. "Gepulste Abscheidung von (Cr, Al)N-PVD-Niedertemperaturschichtsystemen für Hochleistungsbauteile /." Aachen : Shaker, 2007. http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&doc_number=016489155&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA.

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8

Bugiel, Christoph. "Tribologisches Verhalten und Tragfähigkeit PVD-beschichteter Getriebe-Zahnflanken /." Aachen : Apprimus-Verl, 2009. http://d-nb.info/997432144/04.

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9

Momeni, Siavash. "Wear resistant press dies for the production of diamond composites." [Essen] Vulkan-Verl, 2010. http://d-nb.info/1003981003/04.

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10

Wellner, Patrick. "Thermo-mechanical behavior of NiAl thin films." Stuttgart : Max-Planck-Inst. für Metallforschung, 2003. http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?idn=970713428.

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11

Lackner, Kristijan. "Lanthanzirkonat ein innovatives Wärmedämmschichtmaterial für Heissgas beaufschlagte Komponenten von mobilen und stationären Gasturbinen." Aachen Mainz, 2005. http://www.verlag-mainz.de.

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12

Pajkić, Željko. "Atmospheric pressure microwave plasma assisted coating processes for particulate materials /." Aachen : Shaker, 2009. http://d-nb.info/993180701/04.

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13

Bebber, David Theo van. "PVD-Schichten in Verdrängereinheiten zur Verschlei- und Reibungsminimierung bei Betrieb mit synthetischen Estern." Aachen : Shaker, 2003. http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?idn=968616763.

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14

Bouzakis, Emmanouil. "Steigerung der Leistungsfähigkeit PVD-beschichteter Hartmetallwerkzeuge durch Strahlbehandlung /." Aachen : Apprimus-Verl, 2008. http://d-nb.info/989298493/04.

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15

Gottwald, Bernhard. "Grundlegende Ansätze zur Modellierung und Simulation von Beschichtungsprozessen am Beispiel von PVD-Kupfer." [S.l. : s.n.], 2006. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:93-opus-28777.

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16

Lackner, Kristijan. "Lanthanzirkonat : ein innovatives Wärmedämmschichtmaterial für Heißgas beaufschlagte Komponenten von mobilen und stationären Gasturbinen /." Aachen : Mainz, 2006. http://www.verlag-mainz.de.

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17

Allebrandt, Daniel. "Herstellung und Charakterisierung amorpher SiCN-Schichten unter technologischen Aspekten in Hinblick auf tribologische Beanspruchung." Aachen Shaker, 2007. http://d-nb.info/989959066/04.

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18

Kohns, Andreas. "Erosionsschutzschichten für Blisk-Verdichtertrommeln Prozessentwicklung und Eigenschaften." Aachen Shaker, 2009. http://d-nb.info/996812318/04.

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Dietzel, Yvette. "Beschichtung von textilen Flächen mit den PVD-Technologien reaktives Vakuumbogen-Verdampfen und reaktives Magnetron-Sputtern : PVD-Beschichtung von textilen Flächen." Doctoral thesis, Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden, 2004. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:14-1103790814484-00373.

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Abstract:
Gegenstand der wissenschaftlichen Arbeit ist der technologische Nachweis für die Erzeugbarkeit haftfester metallischer und keramischer Schichten auf textilen Flächengebilden mit den PVD-Technologien reaktives Magnetron-Sputtern und reaktives Vakuumbogen-Verdampfen. Basis für die Realisierung der experimentellen Untersuchungen sind sowohl vorhandene industrielle PVD-Beschichtungsanlagen, die im Batchbetrieb arbeiten, als auch Rollcoater als Bindeglied zwischen einer Labor- und einer Industrieanlage. Kern des Vorhabens sind umfangreiche Batchbeschichtungen auf Basis einer breit angelegten Experi
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Ulrich, Lars. "Untersuchung der Abscheidung von Bornitrid auf metallischen Substraten." [S.l. : s.n.], 2004. http://www.bsz-bw.de/cgi-bin/xvms.cgi?SWB11380452.

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Palmen, André. "Untersuchungen zur Leistungssteigerung und Bewertung der Effizienz von hydrostatischen Verdrängereinheiten." Aachen Shaker, 2008. http://d-nb.info/993087566/04.

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Colmenares, de Piñero Carmen Leonor. "Entwicklung nanostrukturierter PVD-Schichtsysteme für Zerspanung und Kaltumformung durch Einsatz der Pulstechnologie." Aachen Shaker, 2007. http://d-nb.info/990866556/04.

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Kabir, Humaun Md. "Beeinflussung und Charakterisierung von Schichteigenschaften metallisierter Textilien." Doctoral thesis, Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden, 2004. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:14-1107163601832-76149.

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Abstract:
Mit dünnen Schichten, die mittels der PVD-Dünnschichttechnik auf Textilien aufgebracht werden, wird eine neue Möglichkeit zur Veredlung von Textilien eröffnet. Die Plasmabehandlung bewirkt eine Veränderung der Substratoberfläche in zwei Richtungen. Einerseits werden die Oberflächenspannung und die Adhäsion beeinflusst und andererseits kommt es zum Aufrauhen der Oberfläche. Die Zunahme der Oberflächenrauheit, hat drei Auswirkungen. Erstens bietet die größere Fläche mehrere molekulare Aufstellungsorte für die Wechselwirkung zwischen dem Adhärens und dem Adhäsiv an. Zweitens wird das mechanische
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Klaas, Helge. "Mechanische Charakterisierung dünner Schichten mit Hilfe von Indenterverfahren und elastisch-plastischer Modellierung /." Aachen : Mainz, 2007. http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&doc_number=016030880&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA.

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Zubacheva, Oxana A. "Plasma sprayed and physically vapor deposited thermal barrier coatings: comparative analysis of thermoelastic behavior based on curvature studies." kostenfrei, 2004. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=972727434.

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Hurevich, Vitalii. "Einfluss einer Verschleissschutzschicht bei Skalierung des Bohrprozesses in den Mikrobereich /." Aachen : Shaker, 2008. http://d-nb.info/989362876/04.

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Spachtholz, Guido. "Erweiterung des Leistungsbereiches von Spindellagern /." Aachen : Apprimus-Verl, 2008. http://d-nb.info/991140974/04.

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Wielage, Bernhard, Thomas Mäder, Daisy Weber, and Herbert Mucha. "Magnetoelastische Sensoren für die Überwachung von mechanischen Verformungen in Verbundwerkstoffen." Universitätsbibliothek Chemnitz, 2013. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-107666.

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Abstract:
Eine ortsauflösende Spannungs- und Dehnungssensortechnik soll durch die Nutzung magnetostriktiver Materialien auf der Oberfläche von Kohlenstoffeinzelfasern (C-Fasern) und Mikrofeinstrukturierung dieser Schichten erzeugt und zur elektronischen Überwachung des Belastungszustandes von sicherheits- oder servicerelevanten Faserverbundbauteilen eingesetzt werden. Eine auf lokaler Gasphasenabscheidung und Mikrostrukturierung mittels der Focused Ion Beam (FIB)-Technik beruhende Sensorfabrikationsmethode wurde gemeinsam mit dem Institut für Mikrotechnologie Hannover (imt) entwickelt. Mehrschichtig mit
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Modes, Thomas. "Struktur und Eigenschaften von TiO2-Schichten, abgeschieden durch reaktive plasmaaktivierte Elektronenstrahl-Bedampfung." Doctoral thesis, Technische Universitaet Bergakademie Freiberg Universitaetsbibliothek "Georgius Agricola&quot, 2009. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:105-0872211.

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Abstract:
Titandioxidschichten wurden mittels reaktiver Elektronenstrahlbedampfung und mit reaktiver plasmaaktivierter Bedampfung bei hohen Beschichtungsraten abgeschieden. Die Plasmaaktivierung erfolgte mittels einer diffusen katodischen Bogenentladung. Die gebildeten Phasen – amorph, Anatas oder Rutil – sind von Substrattemperatur und ratebezogenem Sauerstoffdruck abhängig. Für die Bildung der kristallinen Phasen wird eine Substrattemperatur von mindestens 150 bis 200 °C benötigt. Ohne Plasmaaktivierung abgeschiedene Schichten sind durch eine hohe Porosität und einen Sauerstoffüberschuss gekennzeichne
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Wielage, Bernhard, Thomas Mäder, Daisy Weber, and Herbert Mucha. "Magnetoelastische Sensoren für die Überwachung von mechanischen Verformungen in Verbundwerkstoffen." Technische Universität Chemnitz, 2008. https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A19854.

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Abstract:
Eine ortsauflösende Spannungs- und Dehnungssensortechnik soll durch die Nutzung magnetostriktiver Materialien auf der Oberfläche von Kohlenstoffeinzelfasern (C-Fasern) und Mikrofeinstrukturierung dieser Schichten erzeugt und zur elektronischen Überwachung des Belastungszustandes von sicherheits- oder servicerelevanten Faserverbundbauteilen eingesetzt werden. Eine auf lokaler Gasphasenabscheidung und Mikrostrukturierung mittels der Focused Ion Beam (FIB)-Technik beruhende Sensorfabrikationsmethode wurde gemeinsam mit dem Institut für Mikrotechnologie Hannover (imt) entwickelt. Mehrschichtig mit
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Lorenz, Erik E. "Atomistische Modellierung und Simulation des Filmwachstums bei Gasphasenabscheidungen." Master's thesis, Universitätsbibliothek Chemnitz, 2015. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-159520.

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Abstract:
Gasphasenabscheidungen werden zur Produktion dünner Schichten in der Mikro- und Nanoelektronik benutzt, um eine präzise Kontrolle der Schichtdicke im Sub-Nanometer-Bereich zu erreichen. Elektronische Eigenschaften der Schichten werden dabei von strukturellen Eigenschaften determiniert, deren Bestimmung mit hohem experimentellem Aufwand verbunden ist. Die vorliegende Arbeit erweitert ein hochparalleles Modell zur atomistischen Simulation des Wachstums und der Struktur von Dünnschichten, welches Molekulardynamik (MD) und Kinetic Monte Carlo-Methoden (KMC) kombiniert, um die Beschreibung beliebig
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Baumann, Jens. "Herstellung, Charakterisierung und Bewertung leitfähiger Diffusionsbarrieren auf Basis von Tantal, Titan und Wolfram für die Kupfermetallisierung von Siliciumschaltkreisen." Doctoral thesis, Universitätsbibliothek Chemnitz, 2004. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200400653.

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Abstract:
Summary (english): The thesis investigates the potential of thin films of Ta, Ti and W and their nitrides to suppress copper induced interactions in the contact area to silicon. Possible interactions between Cu and gaseos or solid materials within preparation and lifetime of an integrated circuit are summarized. The degradation mechanisms to be expected are the solution of Cu in Si and the formation of Cu3Si. Thin conductive diffusion barriiers are needed to suppress this mechanisms. The requirements on these barriers are discussed. The most important criterion, their resistivity, is determine
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Lorenz, Erik E. "Atomistische Modellierung und Simulation des Filmwachstums bei Gasphasenabscheidungen." Master's thesis, Fraunhofer ENAS, 2014. https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A20181.

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Abstract:
Gasphasenabscheidungen werden zur Produktion dünner Schichten in der Mikro- und Nanoelektronik benutzt, um eine präzise Kontrolle der Schichtdicke im Sub-Nanometer-Bereich zu erreichen. Elektronische Eigenschaften der Schichten werden dabei von strukturellen Eigenschaften determiniert, deren Bestimmung mit hohem experimentellem Aufwand verbunden ist. Die vorliegende Arbeit erweitert ein hochparalleles Modell zur atomistischen Simulation des Wachstums und der Struktur von Dünnschichten, welches Molekulardynamik (MD) und Kinetic Monte Carlo-Methoden (KMC) kombiniert, um die Beschreibung beliebig
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Zimmermann, Sven. "Entwicklung einer Technologie zur Herstellung eines neuartigen Substrates mit strukturierten vergrabenen Kobaltdisilizidschichten für die gemeinsame Integration bipolarer und unipolarer Bauteile auf einem SOI-Wafer." Doctoral thesis, Universitätsbibliothek Chemnitz, 2007. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200701689.

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Abstract:
Die Arbeit beschreibt die Anfertigung eines speziellen SOI-Substrates, bei dem eine strukturierte Kobaltdisilizidschicht zwischen dem vergrabenen Oxid und der Silizium- Bauelementeschicht angeordnet ist. Dieses soll für die gemeinsame Integration bipolarerer und unipolarerer Bauelemente auf einem SOI-Substrat im Bereich der Höchstfrequenztechnik Anwendung finden. Verschiedene Technologien zur Herstellung von SOI-Substraten sowie deren Eigenschaften werden vorgestellt und in Hinblick auf eine mögliche Anwendung diskutiert. Schließlich wurden die konventionellen Technologien, Bond and
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Baumann, Jens. "Herstellung, Charakterisierung und Bewertung leitfähiger Diffusionsbarrieren auf Basis von Tantal, Titan und Wolfram für die Kupfermetallisierung von Siliciumschaltkreisen." Doctoral thesis, 3-8322-2532-3, 1995. https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A18149.

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Abstract:
Summary (english): The thesis investigates the potential of thin films of Ta, Ti and W and their nitrides to suppress copper induced interactions in the contact area to silicon. Possible interactions between Cu and gaseos or solid materials within preparation and lifetime of an integrated circuit are summarized. The degradation mechanisms to be expected are the solution of Cu in Si and the formation of Cu3Si. Thin conductive diffusion barriiers are needed to suppress this mechanisms. The requirements on these barriers are discussed. The most important criterion, their resistivity, is d
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Baumann, Jens. "Herstellung, Charakterisierung und Bewertung leitfähiger Diffusionsbarrieren auf Basis von Tantal, Titan und Wolfram für die Kupfermetallisierung von Siliciumschaltkreisen." Aachen Shaker, 2004. http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2004/0072.

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Schmitz, Tobias. "Functional coatings by physical vapor deposition (PVD) for biomedical applications." Doctoral thesis, 2016. https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:20-opus-144825.

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Abstract:
Metals are the most used materials for implant devices, especially in orthopedics, but despite their long history of application issues such as material failure through wear and corrosion remain unsolved leading to a certain number of revision surgeries. Apart from the problems associated with insufficient material properties, another serious issue is an implant associated infection due to the formation of a biofilm on the surface of the material after implantation. Thus, improvements in implant technology are demanded, especially since there is a projected rise of implants needed in the futur
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Will, Torsten [Verfasser]. "Untersuchungen zum Einsatz von PVD-Verfahren zur Herstellung katalytischer Schichten für Polymerelektrolytmembran-Brennstoffzellen / Torsten Will." 2003. http://d-nb.info/971628165/34.

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Modes, Thomas. "Struktur und Eigenschaften von TiO2-Schichten, abgeschieden durch reaktive plasmaaktivierte Elektronenstrahl-Bedampfung." Doctoral thesis, 2005. https://tubaf.qucosa.de/id/qucosa%3A22523.

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Abstract:
Titandioxidschichten wurden mittels reaktiver Elektronenstrahlbedampfung und mit reaktiver plasmaaktivierter Bedampfung bei hohen Beschichtungsraten abgeschieden. Die Plasmaaktivierung erfolgte mittels einer diffusen katodischen Bogenentladung. Die gebildeten Phasen – amorph, Anatas oder Rutil – sind von Substrattemperatur und ratebezogenem Sauerstoffdruck abhängig. Für die Bildung der kristallinen Phasen wird eine Substrattemperatur von mindestens 150 bis 200 °C benötigt. Ohne Plasmaaktivierung abgeschiedene Schichten sind durch eine hohe Porosität und einen Sauerstoffüberschuss gekennzeichne
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