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  1. Dissertations / Theses

Academic literature on the topic 'Silizium–Mikromechanik'

Author: Grafiati
Published: 4 June 2021
Last updated: 1 February 2022

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Dissertations / Theses on the topic "Silizium–Mikromechanik"

1

Sasse, Philipp Wilhelm. "Entwurf eines Rotationssensors in dreischichtiger, CMOS-kompatibler Silizium-Oberflächen-Mikromechanik." [S.l. : s.n.], 2002. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=97158141X.

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2

Dauer, Stefan Verfasser], and Stephanus [Akademischer Betreuer] [Büttgenbach. "Nd:YAG-Laserstrukturierung in der Silizium-Mikromechanik / Stefan Dauer ; Betreuer: Stephanus Büttgenbach." Braunschweig : Technische Universität Braunschweig, 2019. http://d-nb.info/1231992697/34.

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3

Nehrig, Oliver. "Entwurf und Realisierung eines Beschleunigungssensorsystems auf der Basis von in Silizium integrierter Mikromechanik für die besonderen Anforderungen bei Schwerlasthandhabungssystemen." [S.l. : s.n.], 2003. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=967968259.

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4

Schröter, Bernd. "Entwurf und Charakterisierung eines mikromechanischen Schrittschaltwerkes mit elektrostatischem Antrieb." Doctoral thesis, Universitätsbibliothek Chemnitz, 2008. http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200800952.

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Abstract:
In der vorliegenden Arbeit wird der Nachweis erbracht, dass ein miniaturisiertes Schrittschaltwerk aus einkristallinem Silizium mittels verfügbarer Mikrotechnologien realisierbar ist. Dazu wird die aus der Feinwerktechnik bekannte mechanische Anordnung so angepasst, dass sie mit den Möglichkeiten der gewählten Technologien herstellbar wird. Eine Besonderheit ist die Verwendung flexibler Gelenke. Dadurch entfallen Montage und Justage, die Struktur ist monolithisch. Auch der Werkstoff und das Aktuationsprinzip unterscheiden sich von denen herkömmlicher Schrittschaltwerke. Wegen seiner ausgezeich
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5

Hasch, Jürgen. "Monolithische Integration von Millimeterwellenbauelementen auf rückseitenstrukturiertem Silizium." kostenfrei, 2007. http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?idn=986772437.

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6

Sasse, Philipp Wilhelm [Verfasser]. "Entwurf eines Rotationssensors in dreischichtiger, CMOS-kompatibler Silizium-Oberflächen-Mikromechanik / von Philipp Wilhelm Sasse." 2002. http://d-nb.info/97158141X/34.

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7

Nehrig, Oliver [Verfasser]. "Entwurf und Realisierung eines Beschleunigungssensorsystems auf der Basis von in Silizium integrierter Mikromechanik für die besonderen Anforderungen bei Schwerlasthandhabungssystemen / von Oliver Nehrig." 2003. http://d-nb.info/967968259/34.

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