Academic literature on the topic 'Температура відпалу'

Create a spot-on reference in APA, MLA, Chicago, Harvard, and other styles

Select a source type:

Consult the lists of relevant articles, books, theses, conference reports, and other scholarly sources on the topic 'Температура відпалу.'

Next to every source in the list of references, there is an 'Add to bibliography' button. Press on it, and we will generate automatically the bibliographic reference to the chosen work in the citation style you need: APA, MLA, Harvard, Chicago, Vancouver, etc.

You can also download the full text of the academic publication as pdf and read online its abstract whenever available in the metadata.

Journal articles on the topic "Температура відпалу"

1

Сліпченко, К. В., М. Ю. Вербицька та Ю. М. Макогон. "ФОРМУВАННЯ ФАЗИ L10 В ПЛІВКАХ СПЛАВУ Fe50Pt50 НА ПІДКЛАДИНКАХ SiO2/Si(001) і Al2O3". Нові матеріали і технології в машинобудуванні (Праці Міжнародної науково-технічної конференції), № 6 (17 березня 2016): 129–30. http://dx.doi.org/10.20535/2519-450x.6.2015.63354.

Full text
Abstract:
Дослідження магнітної анізотропії та магнітних властивостей тонко плівкових магнітних структур важливе, як з наукової так і з практичної точки зору. Дані отримані при вивченні впливу термічної обробки, складу плівкової композиції та типу підкладинки, можуть бути використані для створення нових носіїв інформації з надвисокою щільністю магнітного запису. Плівковий матеріал на основі впорядкованої фази L10-FePt з вираженою текстурою [001], утворений шляхом термічної обробки плівок зі структурою невпорядкованої фази А1-FePt, характеризується значною анізотропією магнітних властивостей, що відкриває перспективи його практичного використання в якості носія магнітного запису [1-2].Плівкові композиції отримано методом магнетронного осадження на монокристалічний Al2O3 та термічно окислений монокристалічний кремній SiO2(100 нм)/Si(001). Термічну обробку зразків проведено в температурному інтервалі 500°С…900°С з 30-ти секундною витримкою, середовище відпалу плівки на кремнієвій підкладинці- вакуумі, для композиції осадженої на монокристалічний сапфір відпал проведено в азоті. Фазовий склад, структуру плівок досліджено методом рентгеноструктурного фазового аналізу. Морфологію поверхні досліджено методом AFM. Магнітні властивості оцінено методами MFM та SQUID.Після осадження в плівках присутня магнітно-м’яка невпорядкована фаза A1-FePt. Фазове перетворення A1 → L10 в композиції осадженій на сапфір починається при 600°С, для плівки на кремнієвій підкладинці температура початку фазового перетворення 700°С, відмінність температур початку фазового перетворення пов’язана з різними умовами термічної обробки. Підвищення температури відпалу призводить до збільшення кількості упорядкованої фази, розміру зерен та шорсткості поверхні (рис.1 а,б)а бРис.1 Залежність розміру зерен FePt (а), середньої шорсткості поверхні (б) плівкових композиціях від температури відпалу Рис.2 Залежність коерцитивної сили в плівкових композиціях від температури відпалуВстановлено, що досліджувані плівкові і з впорядкованою фазою L10-FePt магнітно-тверді. Коерцитивна сила зростає з температурою відпалу і досягає максимальних значень після відпалу вище 800°С – 15,05 кОе у композиціях осаджених на сапфір і 900°С – 16,11 кОе в плівках на кремнієвій підкладинці (рис.2).
APA, Harvard, Vancouver, ISO, and other styles
2

Крайчинський, А. М., М. М. Красько, А. Г. Колосюк та ін. "Механізм відпалу VO дефектів в n-Si при високотемпературному імпульсному електронному опроміненні". Ukrainian Journal of Physics 56, № 9 (2022): 922. http://dx.doi.org/10.15407/ujpe56.9.922.

Full text
Abstract:
Досліджено кінетику накопичення комплексу вакансія–кисень (VO) в n-Si, вирощеному методом Чохральського (Cz), при різних інтенсивностях імпульсного 1 МеВ електронного опромінення при температурах, вищих за температуру початку термічного відпалу VO (T ≥ 300 ºC). Показано, що опромінення електронами при таких температурах приводить до прискореного відпалу VO, створених цим опроміненням. Прискорений відпал VO відбувається у процесі дії імпульсу електронів. Максимальна концентрація VO, яка при цьому утворюється, зростає зі збільшенням інтенсивності опромінення і зменшується при збільшенні температури зразків при опроміненні. Запропоновано модель процесу прискореного відпалу, яка ґрунтується на тому, що при електронному опроміненні збуджуються електрони у високоенергетичну долину. При захопленні VO дефектами таких електронів дефектам передається енергія, яка суттєво зменшує енергію активації їх відпалу. Високотемпературна межа ефекту залежить від інтенсивності опромінення і зростає зі збільшенням інтенсивності.
APA, Harvard, Vancouver, ISO, and other styles
3

КОХАН, Олександр, Мирон РУДИШ, Олександр СМІТЮХ та Олег МАРЧУК. "СИНТЕЗ ТА СТРУКТУРНА ГОМОГЕННІСТЬ ПІРАРГІРИТУ". Проблеми хімії та сталого розвитку, № 3 (26 грудня 2023): 26–31. http://dx.doi.org/10.32782/pcsd-2023-3-4.

Full text
Abstract:
Робота присвячена вивченню особливостей отримання монокристалів сполуки Ag3SbS3 (аналог природнього мінералу піраргіриту), що є перспективним матеріалом для нелінійної оптики, сенсорних технологій та оптоелектроніки. Монокристал сполуки Ag3SbS3 вирощували методом Бріджмена-Стокбаргера у вертикальній двозонній печі опору з програмованим управлінням регулювання температури. Температура зони розплаву складала 783 К, зони відпалу – 663 К. Ріст кристалу відбувався з швидкістю 0,10–0,24 мм/год; градієнт температури у зоні росту складав 4-6 К/мм. Для синтезу використовували попередньо очищену кварцеву ампулу із шихтою, що була вакуумована до залишкового тиску 10–2 Па. Для отримання монокристалу Ag3SbS3 використовували прості речовини (срібло, стибій та сірку) напівпровідникової чистоти. З метою встановлення фазового складу та розрахунку кристалічної структури, для взірця вирощеного монокристалу отримували дифрактограму на рентґенівському апараті ДРОН 4-13 (CuKα-випромінювання; діапазон зйомки 10≤2Θ≤80°; крок зйомки 0,02°; час відліку в точці 15°с). Кристалічну структуру розраховували методом Рітвельда. Для проведення розрахунків використовували пакет програм WinCSD. Кристалічна структура отриманого монокристалу сполуки Ag3SbS3 належить до тригональної сингонії (cтруктурний тип Ag3AsS3 (прустит); просторова група R3c; cимвол Пірсона hR14,161). Розраховані параметри елементарної комірки становлять: a = 1,10402(9) нм, b = 0,8713(1) нм, V = 0,9197(3) нм3. У структурі Ag3SbS3 атоми Ag та S локалізовані в ПСТ 18b, а атоми Sb – в ПСТ 6а. Дослідження кількісного та якісного складу зразків вирощеного монокристалу досліджуваної сполуки проводили методами енергодисперсійної спектроскопії (EDS) та енергодисперсійної рентгенівської спектроскопії (EDX) (скануючий електронний мікроскоп Tescan Vega 3 LMU (SEM)). SЕМ-зображення та результати енергодисперсійного рентгенівського аналізу отримано при напрузі 20–25 кВ в умовах високого вакууму (9,0⋅10-2 Па).
APA, Harvard, Vancouver, ISO, and other styles
4

Боледзюк, В. Б., А. В. Заслонкін, З. Д. Ковалюк та М. М. Пирля. "Електричні властивості інтеркальованих шаруватих кристалів In2Se3". Ukrainian Journal of Physics 56, № 4 (2022): 376. http://dx.doi.org/10.15407/ujpe56.4.376.

Full text
Abstract:
У діапазоні 80–400 К досліджено електричні властивості, анізотропію шаруватих кристалів In2Se3, їх літієвих та водневих інтеркалятів. Встановлено, що зі зростанням температури електропровідність та рухливість вздовж шарів зменшуються, а концентрація вільних електронів практично не змінюється. Отримана температурна залежність рухливості електронів пояснена їх взаємодією з гомополярними оптичними фононами. Зміна електропровідностігідрованих кристалів In2Se3 залежно від часу відпалу пояснюється утворенням нових рівнів у забороненій зоні та впливом впровадженого водню на величину деформаційного потенціалу кристала. Встановлене зменшення анізотропії для інтеркаляту Li1,5In2Se3 порівняно із In2Se3 в діапазоні температур 250–400 К пояснюється переважаючим зменшенням електропровідності перпендикулярно шарам над незначним зменшенням електропровідності вздовж шарів.
APA, Harvard, Vancouver, ISO, and other styles
5

Kukhar, Volodymyr, Oleksandr Spichak, Volodymyr Pashynskyi та Khrystyna Malii. "Випробування емульсолів для холодної прокатки на сажоутворення при відпалі рулонів". Обробка матеріалів тиском, № 1(53) (2 грудня 2024): 116–28. https://doi.org/10.37142/2076-2151/2024-1(53)116.

Full text
Abstract:
Кухар В. В., Спічак О. Ю., Пашинський В. В., Малій Х. В. Випробування емульсолів для холодної прокатки на сажоутворення при відпалі рулонів Холодна прокатка з використанням емульсолів дозволяє зменшити силу прокатки, збільшити обтиски та досягти меншої кінцевої товщини штаби, забезпечити більшу стабільність процесу прокатки та кращу чистоту поверхні після прокатки. Але наступні етапи, пов’язані з операціями відпалу рулонів холодного прокату, можуть піднести неочікувані неприємні “сюрпризи” у вигляді утворення поверхневих дефектів типу “сажа”. Окрім нерівномірності нанесення та поганого змивання емульсолу перед відпалом, значний вплив на сажоутворення надає склад емульсолів (компоненти, що входять в формулу емульсолу) та їх фізико-хімічні властивості. В роботі проаналізовані причини виникнення поверхневих дефектів типу “сажа” після відпалюванні рулонів, які прокатували з емульсолами, та обґрунтована необхідність зменшення сажоутворення та пригару за рахунок формування вимог до фізико-хімічних властивостей мастильно-охолоджуючих рідин. Розроблено методику випробувань схильності емульсолів до сажоутворення після відпалу у рулонах, які являють собою перший етап багатоетапного дослідження. Методика полягала у нанесенні концентрованого емульсолу на зразки-свідки, які відпалювали разом з рулонами в таких самих температурно-часових умовах і пічному середовищі. Проаналізовані фізико-хімічні характеристики мастильно-охолоджувальних рідин та проведено випробування 54-х емульсолів різних марок і виробників при холодній прокатці. Запропоновано бальну систему оцінки інтенсивності сажоутворення за візуальним спостереженням та встановлено величини балів сажоутворення після відпалу дослідних зразків. Отримані розрахункові рівняння регресії, що пов’язують показники утворення сажі та пригару від таких фізико-хімічних властивостей, як густина емульсолу при 20 ºС, в’язкість кінематична при 50 ºС та число омилення. Показана стійка залежність водневого показника рН для 3%-ї водної емульсії, приготованої на жорсткій воді 4,6 мг-екв/дм3, від зазначених фізико-хімічних властивостей емульсолів. За результатами досліджень рекомендовано до використання в умовах ПАТ "ЗАПОРІЖСТАЛЬ" 28 емульсолів та сформульовані вимоги до їх основних фізико-хімічних показників.
APA, Harvard, Vancouver, ISO, and other styles
6

Тульчинська, М. В., та Г. Є. Федоров. "ПІДВИЩЕННЯ ЗНОСОСТІЙКОСТІ СПЛАВІВ ДЛЯ РОБОТИ В ЕКСТРЕМАЛЬНИХ УМОВАХ ТЕРМІЧНИМ ОБРОБЛЕННЯМ". Нові матеріали і технології в машинобудуванні (Праці Міжнародної науково-технічної конференції), № 6 (17 березня 2016): 159. http://dx.doi.org/10.20535/2519-450x.6.2015.63406.

Full text
Abstract:
Дослідженнями механічних та експлуатаційних властивостей базових, мікролегованих і модифікованих чавунів з високим вмістом хрому та марганцю установлено, що такі матеріали можуть бути використаними для виготовлення литих деталей, які здатні працювати тривалий час в умовах інтенсивного абразивного і гідроабразивного зносу. Технологічні властивості цієї групи сплавів досліджено достатньо глибоко для того, щоб їх можна було б використовувати як матеріал для виготовлення деталей будь-яких розмірів і складності литтям. Що ж стосується впливу різних режимів термічного оброблення на оброблюваність виготовлюваних із них деталей на металорізальних верстатах, а також на їх експлуатаційні властивості інформації в технічній літературі обмаль. Отже дослідження щодо впливу термічного оброблення на покращання експлуатаційних властивостей і механічного оброблення таких чавунів є досить актуальними.Метою цієї роботи є дослідження впливу режимів термічного оброблення на покращання оброблюваності виготовлюваних із хромомарганцевих чавунів литих деталей на металорізальних верстатах і підвищення експлуатаційних характеристик. Об’єктом дослідження є процеси термічного оброблення базового та мікролегованих і модифікованих хромомарганцевих зносостійких чавунів. Предметом дослідження є хімічний склад, структура, твердість і зносостійкість чавунів до та після термічного оброблення.Термічне оброблення – одна із найважливіших технологічних операцій у загальному технологічному процесі виготовлення деталей із зносостійких високохромистих чавунів, яка значною мірою визначає можливість їх механічного оброблення та експлуатаційні характеристики деталей. Для виконання операцій механічного оброблення деталі з високохромистих чавунів піддають відпалу для зниження твердості та покращання оброблюваності. На практиці часто після механічного оброблення такі деталі не піддають гартуванню на повітрі для отримання мартенситної структури, а відправляють їх на експлуатацію, що практично втроє знижує потенційну зносостійкість цих сплавів. Очевидно, що деталі із хромомарганцевих сплавів необхідно піддавати гартуванню після механічного оброблення для надання їм високої твердості. Зазначений режим термічного оброблення слід застосовувати і для виливків із цих сплавів, які не піддають механічному обробленню.Досліджено вплив різних режимів відпалу на твердість і структуру шести варіантів хромомарганцевого чавуну базового складу та додатково мікролегованого й модифікованого титаном, ванадієм, бором і РЗМ. Установлено, що твердість литих зразків, виготовлених із різних чавунів, знаходиться в межах 49…56 HRC, причому вона мало залежить від вмісту вуглецю, кремнію, хрому та модифікувальних добавок. Основним елементом, який впливає на твердість зразків у литому стані, є марганець.Після відпалу (нагрівання до температур 840 та 900 °С, витримування протягом години та охолодження разом з піччю) твердість чавунів зменшується несуттєво. Найтехнологічнішим серед досліджених режимів термічного оброблення виявився ступінчастий відпал. Твердість хромомарганцевих чавунів після ступінчастого відпалу знаходиться в межах 39,5…55,0 HRC, причому найнижчу твердість мають зразки з найменшим вмістом марганцю, а найвищу – з максимальним його вмістом. Твердість чавуну різних плавок після термічного оброблення знаходиться практично в прямолінійній залежності від вмісту марганцю і мало залежить від вмісту інших елементів у межах зміни хімічного складу. Із підвищенням вмісту марганцю від 2,5 до 4,4 % твердість термооброблених зразків зростає з 39,5 до 55 HRC.Структура зразків у литому стані складається переважно з первинних дендритів аустеніту та евтектики γ + (Cr, Fe, Mn)7C3. Різницю твердості литих зразків можна пояснити різною кількістю аустеніту внаслідок різного вмісту марганцю, оскільки останній його стабілізує. Аустеніт чавунів з мінімальним вмістом марганцю під час ступінчастого відпалу розпадається повністю на зернистий перліт – м’які продукти розпаду – різної дисперсності, що призводить до зниження твердості до 39…40 HRC. Чавуни з такою твердістю уже можуть задовільно оброблятись на металорізальних верстатах за традиційними технологіями, що підтверджено відповідними випробовуваннями.Отже за даними впливу різних режимів відпалу можна зробити наступні висновки:– для деталей, що потребують механічного оброблення, необхідно застосовувати чавуни із зниженим вмістом марганцю (до 2,5…2,7 %);– для зниження твердості хромомарганцевого чавуну до рівня 40 HRC і нижче його необхідно піддавати відпалу за одним із наступних режимів:1) нагрівання до температури 840 °C (± 20 °), витримування протягом однієї години, охолодження в печі із швидкістю не вищою за 40 °С/год;2) нагрівання до 870 °С, витримування протягом 1 год, охолодження з піччю до 610 °С, витримування протягом 3 год, нагрівання до 690 °С, витримування протягом 2 год і охолодження з піччю (ступінчастий відпал);Для досягнення максимальної твердості та зносостійкості хромомарганцевих чавунів їх необхідно гартувати з температур 900…950 °С на повітрі.Рекомендовані чавуни мають задовільні ливарні властивості. Рiдкотекучiсть цих чавунів задовольняє вимогам щодо заливання форм, навіть під час виробництва тонкостінних та складних за конфiгурацiєю виливків. За температури заливання форм 1400 ºС, чавуни мають рiдкотекучiсть 500...580 мм. Така рiдкотекучiсть перевищує рiдкотекучiсть вуглецевої сталi та трохи поступається рiдкотекучостi сірого чавуну. Лiнiйна усадка рекомендованих чавунів складає 1,72...2,20%, що вище, ніж сірого чавуну, i є приблизно такою, як середньовуглецевих сталей.Отже, за сукупністю ливарних властивостей рекомендовані чавуни є перспективними матеріалами для виготовлення зносостійких деталей, що працюють в екстремальних умовах, методами лиття.
APA, Harvard, Vancouver, ISO, and other styles
7

Т., М. МИРОНОВА. "Вплив попередньої термічної обробки на пластичність білих чавунів". Science and Transport Progress. Bulletin of Dnipropetrovsk National University of Railway Transport, № 6(48) (25 грудня 2013): 88–98. https://doi.org/10.15802/stp2013/19679.

Full text
Abstract:
<strong>Мета.</strong>&nbsp;Розробка режимів термічної обробки білого чавуну для зміни структури їх евтектичної складової, а саме: порушення монолітної будови цементитного каркасу ледебуритних колоній і суцільності евтектичної сітки, а також зміна її розташування на більш сприятливе, з точки зору пластичної деформації.&nbsp;<strong>Методика.</strong>&nbsp;В якості матеріалів використовували доевтектичні білі чавуни з різним вмістом вуглецю (2,92&hellip;3,35 %), а також із додатковим легуванням ванадієм 3,81 %. Сплави піддавали попереднім відпалам та випробовували на гаряче кручення.&nbsp;<strong>Результати.&nbsp;</strong>У результаті досліджень було показано, що роздроблення карбідної сітки за допомогою пластичного деформування сприяє покращенню механічних властивостей білих чавунів, але має труднощі в застосуванні, що обумовлені їх низькою пластичністю. Вивчено вплив різних режимів попередніх відпалів, що включали ізотермічні витримки при різних температурах, а також багаторазові витримки й термоциклювання на структуру та пластичність білих доевтектичних чавунів. Досліджено вплив ступеня евтектичності та попередньої термічної обробки на гарячу пластичність білих чавунів різних складів.&nbsp;<strong>Наукова новизна.</strong>&nbsp;Визначено, що термічна обробка, яка викликає фазову подвійну &alpha;&rarr;&gamma; перекристалізацію при температурах 860 &ndash; 950 &deg;С і перлитизацію при 720 &ndash; 680 &deg;С, сприяє суттєвому підвищенню пластичності як у нелегованих, так і легованих ванадієм білих чавунах. Це відбувається за рахунок розділення матричної карбідної фази в колоніях ледебуриту новими фазовими межами, особливо &ndash; карбідного перетворення при легуванні ванадієм.<strong>&nbsp;Практична значимість.&nbsp;</strong>Використання попереднього відпалу з фазовою перекристалізацією дозволило підвищити пластичність доевтектичних білих чавунів. Отриманий рівень пластичності чавуну відповідає пластичності сталей карбідного класу, що забезпечує&nbsp; успішну деформацію куванням та вальцюванням.
APA, Harvard, Vancouver, ISO, and other styles
8

Автухов, А. К., О. Б. Калюжний, О. С. Борисенко та О. С. Корнєв. "ВПЛИВ ХІМІЧНОГО СКЛАДУ ТА ТЕРМІЧНОЇ ОБРОБКИ НА ЕКСПЛУАТАЦІЙНІ ВЛАСТИВОСТІ ЗАЕВТЕКТОЇДНИХ СТАЛЕЙ, ЩО ПРАЦЮЮТЬ В УМОВАХ ПІДВИЩЕНИХ ЗНАКОЗМІННИХ НАВАНТАЖЕНЬ ТА ТЕМПЕРАТУР". <h1 style="font-size: 40px;margin-top: 0;">Наукові нотатки</h1>, № 81 (4 липня 2025): 92–95. https://doi.org/10.36910/775.24153966.2025.81.14.

Full text
Abstract:
У даній роботі досліджується вплив хімічного складу та режимів термічної обробки заевтектоїдних сталей на основні оціночні критерії працездатності виробів, що експлуатуються в умовах підвищених знакозмінних навантажень та температур. У статті аналізуються мікроструктурні особливості сталей залежно від вмісту вуглецю та впливу термічної обробки (відпал, подвійна та потрійна нормалізація) на їх механічні властивості, такі як межа міцності на розрив та згин, твердість, термічна витривалість та зносостійкість. Зроблено висновок, що для покращення експлуатаційних властивостей заевтектоїдних сталей у важких умовах експлуатації доцільно застосовувати подвійну нормалізацію з відпалом при 600°C, а також використовувати оптимізований хімічний склад для досягнення максимальної ефективності.
APA, Harvard, Vancouver, ISO, and other styles
9

ЛИТВИНЕНКО, В. М. "ОПТИМІЗАЦІЯ ТЕХНОЛОГІЇ ВИГОТОВЛЕННЯ ЕПІТАКСІАЛЬНО-ПЛАНАРНОГО ВАРИКАПА". Вісник Херсонського національного технічного університету, № 4(87) (29 січня 2024): 85–90. http://dx.doi.org/10.35546/kntu2078-4481.2023.4.10.

Full text
Abstract:
Варикап – це напівпровідниковий діод, що використовує при своїй роботі залежність бар’єрної ємності р-n переходу від зворотної напруги. Ця залежність називається вольт-фарадною характеристикою. Варикапи застосовуються в схемах електронної перебудови частоти коливального контуру, в підсилюючих параметричних схемах, в дільниках і помножувачах частоти, в керованих фазообертачах тощо. Однак незважаючи на широке застосування, вартість варикапів залишається порівняно високою із-за низького виходу придатних діодів, що пояснюється високим рівнем зворотного струму приладів. В статті розглянуті причини та механізми деградації зворотних характеристик варикапа. Показано, що причиною низького виходу варикапів являється суттєвий вплив на їх зворотні характеристики структурних дефектів і сторонніх домішок та якості поверхні варикапних структур. Встановлено, що головною причиною низького відсотка виходу придатних досліджуваних варикапів є епітаксіальні та окислювальні дефекти упакування, а також поверхневі ефекти за рахунок домішкових забруднень. Епітаксіальні дефекти упакування утворюються в кремнієвих структурах в процесі нарощування епітаксіальних шарів, окислювальні дефекти упакування – в процесах проведення високотемпературних операцій. З метою запобігання утворенню структурних дефектів необхідно було вибрати ефективний метод гетерування. Оскільки структурні дефекти утворюються починаючи з процесу епітаксії, вочевидь, що область гетера необхідно створювати в підкладках, на які будуть осаджуватись епітаксіальні шари. Проведені дослідження показали, що найбільш ефективним методом запобігання утворенню структурних дефектів в епітаксіальних шарах є створення гетеруючої області на зворотному боці підкладок за допомогою обробки її лазером. В результаті проведених досліджень встановлено, що відпал кремнієвих пластин за температури 1100оС в середовищі аргону після термічного окислення дає можливість суттєво знизити величину сумарного заряду в плівці SiO2. Детально розглянута запропонована технологія виготовлення структур варикапів з використанням гетерування за допомогою обробки зворотної сторони пластин лазером та проведення відпалу пластин в середовиці аргону. Наведено експериментальні результати дослідження впливу на зворотну характеристика варикапа процесу гетерування та відпалу структур в середовищі аргону, а також проаналізовано можливі механізми цього впливу. Показана ефективність запропонованої технології з використанням гетерування та відпалу кремнієвих пластин щодо зниження рівня зворотних струмів і підвищення виходу придатних приладів.
APA, Harvard, Vancouver, ISO, and other styles
10

Литвиненко, В. М. "ОПТИМІЗАЦІЯ ТЕХНОЛОГІЇ ОЧИЩЕННЯ КВАРЦОВИХ РЕАКТОРІВ ДЛЯ ДИФУЗІЇ БОРУ У ВИРОБНИЦТВІ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ ДІОДІВ". Таврійський науковий вісник. Серія: Технічні науки, № 6 (13 березня 2024): 223–29. http://dx.doi.org/10.32782/tnv-tech.2023.6.25.

Full text
Abstract:
Кварцові реактори у складі дифузійних печей широко застосовуються у виробництві напівпровідникових приладів і інтегральних схем для проведення процесів термічного окислення, дифузії домішок, різного високотемпературного відпалу. У виробництві р+-n діодів кварцові реактори використовуються для дифузії бору. В процесі дифузії на внутрішніх стінках кварцових реакторів і в порах в кварці утворюється боросилікатне скло, що є хорошим гетером. При температурах дифузії бору (900–1200оС) боросилікатне скло інтенсивно адсорбує різні домішкові атоми, гази і пари. Так як дифузійні кварцові реактори, лодочки і підкладки при експлуатації сильно насичуються дифузантом і іншими забруднюючими домішками, а високі температури і тривалий контакт з хімічно активними газовими середовищами викликає розскловування і збільшення пористості кварцу, адсорбційна здатність його поверхні безперервно збільшується і оснащення стає неконтрольованим джерелом домішок. Окрім того, поверхня кварцу руйнується і утворена крихта забруднює поверхню напівпровідникових пластин, що обробляються. Показано, що причиною незадовільного очищення кварцових реакторів при їх обробці в кислотних травниках є утворення на внутрішній поверхні реакторів важкорозчинних з′єднань типу Si-B, які зазвичай утворюються на поверхні кварцу при проведені процесів диффузіїї бору. Детально розглянута запропонована технологія очистки кварцевого реактора за допомогою його додаткової обробки водяною парою перед проведенням хімічної обробки. Встановлено, що попередня обробка внутрішньої поверхні реактора водяною парою в діапазоні температур 700–800оС на протязі 15–30 хвилин дає можливість зменшити в’язкість боросилікатного скла, що забезпечує повне його видалення з поверхні та пор в кварці в процесі послідуючої обробки в плавиковій кислоті. Наведено експериментальні результати дослідження впливу розробленої технології очищення кварцового реактора на характеристики діодних структур, що виготовляються при використанні досліджувального реактора, та показана її ефективність щодо зниження рівня зворотних струмів і підвищення виходу придатних діодів.
APA, Harvard, Vancouver, ISO, and other styles
More sources

Dissertations / Theses on the topic "Температура відпалу"

1

Панченко, В. А. "Вплив на фізико-хімічні та механічні властивості конструкційних чавунів". Master's thesis, Сумський державний університет, 2019. http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/75697.

Full text
Abstract:
У роботі було проведено аналіз літературних джерел. На основі аналізу експериментальних даних було зроблене припущення, що перший пік пов'язаний з розпадом пересичного твердого розчину. Другий – з процесами які відбуваються у другій фазі на границях зерен мідної матриці. У ході проведення досліджень і виконання магістерської кваліфікаційної роботи було досліджено процеси дисперсійного твердіння в різних температурно-часових інтервалах. Було визначено, що найбільш впливовими технологічними параметрами є температура відпалу та концентрація легуючих елементів.
APA, Harvard, Vancouver, ISO, and other styles

Reports on the topic "Температура відпалу"

1

Піддубний, Б. А., та Володимир Миколайович Соловйов. Комп’ютерне моделювання радіаційно-стимульованої стабілізації (001) Si поверхні. РВГІЦ КДПУ ім. В. Винниченка, 1999. http://dx.doi.org/10.31812/0564/1025.

Full text
Abstract:
Поверхні, границі розподілу напівпровідників відіграють суттєву роль в процесі формування й функціонування значної кількості приладів та структур сучасної мікроелектроники. Ідеальна поверхня є неврівноваженою структурою, і в залежності від умов її одержання, відпалу, пасівації може трансформуватись в один з більш ніж 300 відомих станів. В сучасних теоретичних дослідженнях важливу роль відіграє комп’ютерне моделювання. Воно дозволяє дослідити атомну структуру, електронні, коливальні й оптичні властивості поверхні. В даній роботі методом молекулярної дннамики з потенціалом Стілінджера-Вебера досліджено особливості релаксації (001) поверхні кремнія при кімнатній температурі за нормальних умов, а також при її опроміненні низькоенергетичними іонами. Поверхня (001) Si була обрана з огляду на те, що вона є найбільш якісною при одержанні її методом молекулярно-променевої епітаксії і для неї ще не одержано в повній мірі переконливих експериментальних і теоретичних даних.
APA, Harvard, Vancouver, ISO, and other styles
We offer discounts on all premium plans for authors whose works are included in thematic literature selections. Contact us to get a unique promo code!